MOCVD-acceptor

Som tillverkare av CVD SiC-beläggning vill VeTek Semiconductor ge dig Aixtron G5 MOCVD-susceptorer som är gjorda av grafit med hög renhet och CVD SiC-beläggning (under 5 ppm).

Välkommen att fråga oss.

Micro LED-tekniken stör det befintliga LED-ekosystemet med metoder och tillvägagångssätt som hittills bara har setts inom LCD- eller halvledarindustrin, och Aixtron G5 MOCVD-systemet stöder perfekt dessa stränga utbyggnadskrav. Aixtron G5 är en kraftfull MOCVD-reaktor designad främst för kiselbaserad GaN-epitaxväxt.

Det är viktigt att alla epitaxiella wafers som produceras har en mycket snäv våglängdsfördelning och mycket låga nivåer av ytdefekter, vilket kräver innovativ MOCVD-teknik.

Aixtron G5 är ett horisontellt epitaxisystem för planetskivor, huvudsakligen planetskiva, MOCVD-susceptor, täckring, tak, stödring, täckskiva, avgassamlare, stiftbricka, kollektorinloppsring, etc., Huvudproduktmaterialen är CVD SiC-beläggning+ högrenhetsgrafit, halvledarkvarts, CVD TaC-beläggning + högrenhetsgrafit, styv filt och andra material.

MOCVD Susceptor-funktioner är följande:

Skydd av basmaterial: CVD SiC-beläggning fungerar som ett skyddande skikt i den epitaxiella processen, vilket effektivt kan förhindra erosion och skada av den yttre miljön på basmaterialet, tillhandahålla tillförlitliga skyddsåtgärder och förlänga utrustningens livslängd.

Utmärkt värmeledningsförmåga: CVD SiC-beläggningen har utmärkt värmeledningsförmåga och kan snabbt överföra värme från basmaterialet till beläggningsytan, vilket förbättrar värmehanteringseffektiviteten under epitaxi och säkerställer att utrustningen fungerar inom lämpligt temperaturområde.

Förbättra filmkvaliteten: CVD SiC-beläggning kan ge en platt, enhetlig yta, vilket ger en bra grund för filmtillväxt. Det kan minska defekterna som orsakas av gallerfelanpassning, förbättra filmens kristallinitet och kvalitet och därmed förbättra prestandan och tillförlitligheten hos den epitaxiella filmen.

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning:

Industriell kedja:

Produktionsbutik