Kina Kiselnitrid Tillverkare, leverantör, fabrik

VeTek Semiconductor fokuserar på tillverkning av Silicon Nitride och har ett forsknings- och utvecklingsteam bestående av seniora experter och topp tekniska talanger. Kiselnitridkeramik har fördelarna med hårdhet, värmebeständighet, slitstyrka och korrosionsbeständighet hos allmänna keramiska material och har fördelarna med god termisk chockbeständighet, krypbeständighet vid hög temperatur, god självsmörjning och god kemisk stabilitet, och är allmänt används inom ny energi, kemisk industri, flyg- och halvledarområden.

Silicon Nitride-materialen från VeTek Semiconductor har följande framträdande fördelar:

1. Utmärkt kemisk stabilitet

Kiselnitridkeramik har utmärkt kemisk stabilitet och tål en mängd olika starka syror, alkalier och frätande gaser. I halvledartillverkningsprocessen måste ofta ta itu med frätande kemikalier, kiselnitridkeramik kan ge en långsiktig stabil prestandagaranti.

2. Utmärkta mekaniska egenskaper

Kiselnitridkeramik har hög hårdhet, utmärkt tryckhållfasthet och slitstyrka, kan motstå mekanisk stress och ytslitage, inte lätt att deformeras eller brista. Denna mekaniska egenskap gör den mycket lämplig som material för struktur- och processdelar i halvledarutrustning.

3. Stabilitet vid hög temperatur

Kiselnitridkeramik kan bibehålla stabilitet i högtemperaturmiljöer, inte lätt att mjukgöra eller smälta, och tål högtemperaturbearbetning och hantering i halvledartillverkningsprocessen. Detta gör att den kan användas vid tillverkning av högtemperaturprocessutrustnings nyckelkomponenter, såsom gripdon, reaktionskammarkomponenter och så vidare.

4. Utmärkta isoleringsegenskaper

Isolerande egenskaper är avgörande vid tillverkning av halvledarenheter. Kiselnitridkeramik har goda isolerande egenskaper, som effektivt kan isolera och skydda kretskomponenter från strömläckage eller elektromagnetiska störningar, vilket hjälper till att förbättra enhetens stabilitet och tillförlitlighet.

5. Värmeledningsförmåga och värmeledningsförmåga

Kiselnitridkeramik har en hög värmeledningsförmåga, kan effektivt leda och avleda värmen som genereras av enheten, vilket hjälper till att upprätthålla enhetens temperaturstabilitet under driftprocessen. Detta är avgörande för högpresterande drift av halvledarenheter.

Tillämpningarna av VeTek Semiconductors Silicon Nitride-material inom sol- och halvledarindustrin inkluderar huvudsakligen:

1. Elektrostatiska chuckar och etsningskammarkomponenter

Kiselnitridkeramik används ofta som material för elektrostatiska chuckar och etsningskammarkomponenter i halvledartillverkning på grund av deras utmärkta kemiska stabilitet och höga temperaturbeständighet. Elektrostatiska chuckar används för att fixera och stabilisera wafers eller substrat, medan etsningskammarkomponenter används för att motstå korrosiva gaser och miljöer med hög temperatur.

2. gasfördelningsplattor och reflektorer

Kiselnitridkeramik används också vid tillverkning av halvledarutrustning i gasfördelningsplattor och reflektorer. Gasfördelningsplattor används för att jämnt fördela reaktiva eller skyddande gaser in i reaktionskammaren, medan reflektorer används för att optimera fördelningen och reflektionen av ljus i reaktionskammaren för att förbättra reaktionseffektiviteten och enhetligheten.

3. Hållare och termiska komponenter

Kiselnitridkeramik används ofta som hållare och värmeledningskomponenter i halvledartillverkningsutrustning. Dessa komponenter måste ha god mekanisk hållfasthet, slitstyrka och värmeledningsförmåga för att säkerställa stabil utrustningsdrift och enhetsbehandlingsnoggrannhet.

4. Kemisk mekanisk polering (CMP) kuddar

Kiselnitridkeramik används i stor utsträckning som kuddmaterial i den kemiska mekaniska poleringsprocessen (CMP). Den har utmärkt planhet och slitstyrka och kan ge stabilt stöd under poleringsprocessen för att säkerställa planheten och precisionen hos halvledarskivans yta.