Oxidations- och diffusionsugnar används inom olika områden såsom halvledarenheter, diskreta enheter, optoelektroniska enheter, kraftelektroniska enheter, solceller och storskalig tillverkning av integrerade kretsar. De används för processer inklusive diffusion, oxidation, glödgning, legering och sintring av wafers.
VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare som specialiserat sig på tillverkning av högren grafit, kiselkarbid och kvartskomponenter i oxidations- och diffusionsugnar. Vi är engagerade i att tillhandahålla högkvalitativa ugnskomponenter för halvledar- och solcellsindustrin och ligger i framkant av ytbeläggningsteknik, såsom CVD-SiC, CVD-TaC, pyrocarbon, etc.
Hög temperaturbeständighet (upp till 1600 ℃)
Utmärkt värmeledningsförmåga och värmestabilitet
God kemisk korrosionsbeständighet
Låg termisk expansionskoefficient
Hög hållfasthet och hårdhet
Lång livslängd
I oxidations- och diffusionsugnar kräver många komponenter på grund av närvaron av höga temperaturer och korrosiva gaser användning av högtemperatur- och korrosionsbeständiga material, bland vilka kiselkarbid (SiC) är ett vanligt val. Följande är vanliga kiselkarbidkomponenter som finns i oxidationsugnar och diffusionsugnar:
Wafer båt
Kiselkarbidwafer boat är en behållare som används för att bära kiselwafers, som tål höga temperaturer och inte reagerar med kiselwafers.
Ugnsrör
Ugnsröret är kärnkomponenten i diffusionsugnen, som används för att rymma kiselskivor och styra reaktionsmiljön. Kiselkarbidugnsrör har utmärkt prestanda vid hög temperatur och korrosionsbeständighet.
Baffelplatta
Används för att reglera luftflödet och temperaturfördelningen inuti ugnen
Termoelement skyddsrör
Används för att skydda temperaturmätande termoelement från direktkontakt med frätande gaser.
Fribärande paddel
Fribärande paddlar av kiselkarbid är resistenta mot hög temperatur och korrosion och används för att transportera kiselbåtar eller kvartsbåtar som bär kiselskivor in i diffusionsugnens rör.
Gasinjektor
Används för att införa reaktionsgas i ugnen, den måste vara resistent mot hög temperatur och korrosion.
Båtbärare
Kiselkarbid wafer båthållare används för att fixera och stödja kisel wafers, som har fördelar som hög hållfasthet, korrosionsbeständighet och god strukturell stabilitet.
Ugnsdörr
Kiselkarbidbeläggningar eller komponenter kan också användas på insidan av ugnsdörren.
Värmeelement
Kiselkarbidvärmeelement är lämpliga för höga temperaturer, hög effekt och kan snabbt höja temperaturen till över 1000 ℃.
SiC Liner
Används för att skydda innerväggen i ugnsrören, den kan hjälpa till att minska förlusten av värmeenergi och motstå tuffa miljöer som hög temperatur och högt tryck.
Som en storskalig fabrik och leverantör av SiC Ceramic Seal Ring-produkter i Kina, har VeTek Semiconductor SiC Ceramic Seal Ring ett brett utbud av applikationer inom det industriella området på grund av sin utmärkta värmeledningsförmåga, enastående kemiska och korrosionsbeständighet, och höga hållfasthet och styvhet. Välkommen med dina ytterligare förfrågningar.
Läs merSkicka förfråganSom en ledande tillverkare och leverantör av diffusionsugnsutrustning i Kina har VeTek Semiconductor SiC Diffusion Furnace Tube avsevärt hög böjhållfasthet, utmärkt motståndskraft mot oxidation, korrosionsbeständighet, hög slitstyrka och utmärkta mekaniska egenskaper vid hög temperatur. Gör det till ett oumbärligt utrustningsmaterial i diffusionsugnsapplikationer. VeTek Semiconductor har åtagit sig att tillverka och leverera högkvalitativt SiC Diffusion Furnace Tube och välkomnar dina ytterligare förfrågningar.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor erbjuder skräddarsydd högrenhet SiC wafer båthållare. Tillverkad av kiselkarbid med hög renhet och har slitsar för att hålla skivan på plats, vilket förhindrar att den glider under bearbetningen. CVD SiC-beläggning finns också tillgänglig vid behov. Som en professionell och stark halvledartillverkare och leverantör är VeTek Semiconductors High purity SiC wafer boat carrier priskonkurrenskraftig och hög kvalitet. VeTek Semiconductor ser fram emot att vara din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är en ledande tillverkare och innovatör av High Purity SiC Cantilever Paddle i Kina. High Purity SiC Cantilever-paddlar används vanligtvis i halvledardiffusionsugnar som waferöverförings- eller lastplattformar. VeTek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla avancerad teknologi och produktlösningar för halvledarindustrin. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSom en professionell tillverkare och leverantör av Vertical Column Wafer Boat & Pedestal i Kina är Vetek Semiconductors Vertical Column Wafer Boat & Pedestal tillverkad av högrent kvarts- eller silikonkolkeramiska (SiC) material, med utmärkt högtemperaturbeständighet, kemisk stabilitet och mekanisk styrka , och är en oumbärlig kärnkomponent i halvledartillverkningsprocessen. Välkommen till din vidare konsultation.
Läs merSkicka förfråganVetek Semiconductor Contiguous Wafer Boat är en avancerad utrustning för halvledarbearbetning. Produktstrukturen hos Contiguous Wafer Boat är noggrant utformad för att säkerställa effektiv bearbetning och produktion av precisionswafers. Vetek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla utmärkt teknik och produktlösningar för halvledarindustrin. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfrågan