> Produkter > Kiselkarbidkeramik > Oxidations- och diffusionsugn

Nya produkter

Kina Oxidations- och diffusionsugn Tillverkare, leverantör, fabrik

Oxidations- och diffusionsugnar används inom olika områden såsom halvledarenheter, diskreta enheter, optoelektroniska enheter, kraftelektroniska enheter, solceller och storskalig tillverkning av integrerade kretsar. De används för processer inklusive diffusion, oxidation, glödgning, legering och sintring av wafers.

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare som specialiserat sig på tillverkning av högren grafit, kiselkarbid och kvartskomponenter i oxidations- och diffusionsugnar. Vi är engagerade i att tillhandahålla högkvalitativa ugnskomponenter för halvledar- och solcellsindustrin och ligger i framkant av ytbeläggningsteknik, såsom CVD-SiC, CVD-TaC, pyrocarbon, etc.

Fördelarna med VeTek Semiconductor kiselkarbidkomponenter:

Hög temperaturbeständighet (upp till 1600 ℃)

Utmärkt värmeledningsförmåga och värmestabilitet

God kemisk korrosionsbeständighet

Låg termisk expansionskoefficient

Hög hållfasthet och hårdhet

Lång livslängd

I oxidations- och diffusionsugnar kräver många komponenter på grund av närvaron av höga temperaturer och korrosiva gaser användning av högtemperatur- och korrosionsbeständiga material, bland vilka kiselkarbid (SiC) är ett vanligt val. Följande är vanliga kiselkarbidkomponenter som finns i oxidationsugnar och diffusionsugnar:

Wafer båt

Kiselkarbidwafer boat är en behållare som används för att bära kiselwafers, som tål höga temperaturer och inte reagerar med kiselwafers.

Ugnsrör

Ugnsröret är kärnkomponenten i diffusionsugnen, som används för att rymma kiselskivor och styra reaktionsmiljön. Kiselkarbidugnsrör har utmärkt prestanda vid hög temperatur och korrosionsbeständighet.

Baffelplatta

Används för att reglera luftflödet och temperaturfördelningen inuti ugnen

Termoelement skyddsrör

Används för att skydda temperaturmätande termoelement från direktkontakt med frätande gaser.

Fribärande paddel

Fribärande paddlar av kiselkarbid är resistenta mot hög temperatur och korrosion och används för att transportera kiselbåtar eller kvartsbåtar som bär kiselskivor in i diffusionsugnens rör.

Gasinjektor

Används för att införa reaktionsgas i ugnen, den måste vara resistent mot hög temperatur och korrosion.

Båtbärare

Kiselkarbid wafer båthållare används för att fixera och stödja kisel wafers, som har fördelar som hög hållfasthet, korrosionsbeständighet och god strukturell stabilitet.

Ugnsdörr

Kiselkarbidbeläggningar eller komponenter kan också användas på insidan av ugnsdörren.

Värmeelement

Kiselkarbidvärmeelement är lämpliga för höga temperaturer, hög effekt och kan snabbt höja temperaturen till över 1000 ℃.

SiC Liner

Används för att skydda innerväggen i ugnsrören, den kan hjälpa till att minska förlusten av värmeenergi och motstå tuffa miljöer som hög temperatur och högt tryck.

View as

Hög renhet SiC Cantilever paddel

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare och innovatör av High Purity SiC Cantilever Paddle i Kina. High Purity SiC Cantilever-paddlar används vanligtvis i halvledardiffusionsugnar som waferöverförings- eller lastplattformar. VeTek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla avancerad teknologi och produktlösningar för halvledarindustrin. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

Vertikal Column Wafer Boat & Piedestal

Som en professionell tillverkare och leverantör av Vertical Column Wafer Boat & Pedestal i Kina är Vetek Semiconductors Vertical Column Wafer Boat & Pedestal tillverkad av högrent kvarts- eller silikonkolkeramiska (SiC) material, med utmärkt högtemperaturbeständighet, kemisk stabilitet och mekanisk styrka , och är en oumbärlig kärnkomponent i halvledartillverkningsprocessen. Välkommen till din vidare konsultation.

Läs mer Skicka förfrågan

Sammanhängande Wafer Boat

Vetek Semiconductor Contiguous Wafer Boat är en avancerad utrustning för halvledarbearbetning. Produktstrukturen hos Contiguous Wafer Boat är noggrant utformad för att säkerställa effektiv bearbetning och produktion av precisionswafers. Vetek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla utmärkt teknik och produktlösningar för halvledarindustrin. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

Horisontell SiC Wafer Carrier

VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare och leverantör av TaC-belagd styrring, horisontell SiC-waferbärare och SiC-belagda susceptorer i Kina. Vi är fast beslutna att tillhandahålla perfekt teknisk support och ultimata produktlösningar för halvledarindustrin. Välkommen att kontakta oss.

Läs mer Skicka förfrågan

SiC Wafer Boat

VeTek Semiconductors SiC Wafer Boat är en mycket högpresterande produkt. Vår SiC Wafer Boat används vanligtvis i halvledaroxidationsdiffusionsugnar för att säkerställa att temperaturen är jämnt fördelad på wafern och förbättra kiselwaferns bearbetningskvalitet. SiC-materialens höga temperaturstabilitet och höga värmeledningsförmåga säkerställer effektiv och pålitlig halvledarbearbetning. Vi är fast beslutna att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser och ser fram emot att vara din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

SiC Process Tube

VeTek Semiconductor tillhandahåller högpresterande SiC Process Tubes för halvledartillverkning. Våra SiC-processrör utmärker sig i oxidations- och diffusionsprocesser. Med överlägsen kvalitet och hantverk erbjuder dessa rör högtemperaturstabilitet och värmeledningsförmåga för effektiv halvledarbearbetning. Vi erbjuder konkurrenskraftiga priser och strävar efter att vara din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

<1 2 >

Som en professionell Oxidations- och diffusionsugn tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att möta de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerade och hållbara Oxidations- och diffusionsugn tillverkade i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.