> Produkter > Kiselkarbidkeramik > Oxidations- och diffusionsugn

Nya produkter

Kina Oxidations- och diffusionsugn Tillverkare, leverantör, fabrik

Oxidations- och diffusionsugnar används inom olika områden såsom halvledarenheter, diskreta enheter, optoelektroniska enheter, kraftelektroniska enheter, solceller och storskalig tillverkning av integrerade kretsar. De används för processer inklusive diffusion, oxidation, glödgning, legering och sintring av wafers.

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare som specialiserat sig på tillverkning av högren grafit, kiselkarbid och kvartskomponenter i oxidations- och diffusionsugnar. Vi är engagerade i att tillhandahålla högkvalitativa ugnskomponenter för halvledar- och solcellsindustrin och ligger i framkant av ytbeläggningsteknik, såsom CVD-SiC, CVD-TaC, pyrocarbon, etc.

Fördelarna med VeTek Semiconductor kiselkarbidkomponenter:

Hög temperaturbeständighet (upp till 1600 ℃)

Utmärkt värmeledningsförmåga och värmestabilitet

God kemisk korrosionsbeständighet

Låg termisk expansionskoefficient

Hög hållfasthet och hårdhet

Lång livslängd

I oxidations- och diffusionsugnar kräver många komponenter på grund av närvaron av höga temperaturer och korrosiva gaser användning av högtemperatur- och korrosionsbeständiga material, bland vilka kiselkarbid (SiC) är ett vanligt val. Följande är vanliga kiselkarbidkomponenter som finns i oxidationsugnar och diffusionsugnar:

Wafer båt

Kiselkarbidwafer boat är en behållare som används för att bära kiselwafers, som tål höga temperaturer och inte reagerar med kiselwafers.

Ugnsrör

Ugnsröret är kärnkomponenten i diffusionsugnen, som används för att rymma kiselskivor och styra reaktionsmiljön. Kiselkarbidugnsrör har utmärkt prestanda vid hög temperatur och korrosionsbeständighet.

Baffelplatta

Används för att reglera luftflödet och temperaturfördelningen inuti ugnen

Termoelement skyddsrör

Används för att skydda temperaturmätande termoelement från direktkontakt med frätande gaser.

Fribärande paddel

Fribärande paddlar av kiselkarbid är resistenta mot hög temperatur och korrosion och används för att transportera kiselbåtar eller kvartsbåtar som bär kiselskivor in i diffusionsugnens rör.

Gasinjektor

Används för att införa reaktionsgas i ugnen, den måste vara resistent mot hög temperatur och korrosion.

Båtbärare

Kiselkarbid wafer båthållare används för att fixera och stödja kisel wafers, som har fördelar som hög hållfasthet, korrosionsbeständighet och god strukturell stabilitet.

Ugnsdörr

Kiselkarbidbeläggningar eller komponenter kan också användas på insidan av ugnsdörren.

Värmeelement

Kiselkarbidvärmeelement är lämpliga för höga temperaturer, hög effekt och kan snabbt höja temperaturen till över 1000 ℃.

SiC Liner

Används för att skydda innerväggen i ugnsrören, den kan hjälpa till att minska förlusten av värmeenergi och motstå tuffa miljöer som hög temperatur och högt tryck.

View as

SiC Cantilever paddel

VeTek Semiconductors SiC Cantilever Paddle är en mycket högpresterande produkt. Vår SiC Cantilever Paddle används vanligtvis i värmebehandlingsugnar för att hantera och stödja kiselwafers, kemisk ångavsättning (CVD) och andra processer i halvledartillverkningsprocesser. SiC-materialets höga temperaturstabilitet och höga värmeledningsförmåga säkerställer hög effektivitet och tillförlitlighet i halvledarbearbetningsprocessen. Vi är fast beslutna att tillhandahålla högkvalitativa produkter till konkurrenskraftiga priser och ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

Silicon Carbide Wafer Boat för horisontell ugn

VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare och leverantör i Kina för waferbåt av kiselkarbid för horisontell ugn, med många års erfarenhet av FoU och produktion, kan kontrollera kvaliteten väl och erbjuda ett konkurrenskraftigt pris. Du kan vara säker på att köpa kiselkarbidskivan för horisontell ugn av oss.

Läs mer Skicka förfrågan

SiC-belagd kiselkarbid-waferbåt

VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare och leverantör i Kina för SiC-belagd kiselkarbid-waferbåt, med många års erfarenhet av FoU och produktion, kan kontrollera kvaliteten väl och erbjuda ett konkurrenskraftigt pris. Välkommen för att besöka vår fabrik och ha ytterligare diskussion om samarbete.

Läs mer Skicka förfrågan

Fribärande paddel av kiselkarbid

VeTek Semiconductors fribärande kiselkarbidpaddel är en viktig komponent i halvledartillverkningsprocessen, speciellt lämplig för diffusionsugnar eller LPCVD-ugnar i högtemperaturprocesser som diffusion och RTP. Vår kiselkarbid fribärande paddel är noggrant designad och tillverkad med utmärkt högtemperaturbeständighet och mekanisk styrka, och kan säkert och tillförlitligt transportera wafers till processröret under hårda processförhållanden för olika högtemperaturprocesser som diffusion och RTP. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

Hög ren kiselkarbid Wafer Carrier

VeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier är viktiga komponenter i halvledarbearbetning, designade för att säkert hålla och transportera ömtåliga kiselwafers, och spelar en nyckelroll i alla steg av tillverkningen. VeTek Semiconductors High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier är noggrant designade och tillverkade för att säkerställa utmärkt prestanda och tillförlitlighet. VeTek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, och vi ser fram emot att vara din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

Silicon Carbide Wafer Båt

VeTek Semiconductors högrenhet Silicon Carbide Wafer Boat är tillverkad av extremt rent kiselkarbidmaterial med utmärkt termisk stabilitet, mekanisk styrka och kemisk beständighet. Silicon Carbide Wafer Boat med hög renhet används i varma zonapplikationer inom halvledartillverkning, särskilt i högtemperaturmiljöer, och spelar en viktig roll för att skydda wafers, transportera material och upprätthålla stabila processer. VeTek Semiconductor kommer att fortsätta arbeta hårt för att förnya och förbättra prestandan hos högren kiselkarbidskiva för att möta de växande behoven av halvledartillverkning. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

<1 2 >

Som en professionell Oxidations- och diffusionsugn tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att möta de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerade och hållbara Oxidations- och diffusionsugn tillverkade i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.