VeTek Semiconductors fribärande kiselkarbidpaddel är en viktig komponent i halvledartillverkningsprocessen, speciellt lämplig för diffusionsugnar eller LPCVD-ugnar i högtemperaturprocesser som diffusion och RTP. Vår kiselkarbid fribärande paddel är noggrant designad och tillverkad med utmärkt högtemperaturbeständighet och mekanisk styrka, och kan säkert och tillförlitligt transportera wafers till processröret under hårda processförhållanden för olika högtemperaturprocesser som diffusion och RTP. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Du kan vara säker på att köpa skräddarsydd kiselkarbid Cantilever Paddle från VeTek Semiconducto. Vi ser fram emot att samarbeta med dig, om du vill veta mer kan du rådfråga oss nu, vi kommer att svara dig i tid!
VeTek Semiconductors fribärande kiselkarbidpaddel är gjord av kiselkarbid med hög renhet och har utmärkt högtemperaturbeständighet och mekanisk styrka. Det är en oumbärlig nyckelkomponent i halvledartillverkningsprocessen, speciellt i diffusions- eller LPCVD-ugnar och RTP-processer. Den exakta designen och tillverkningen av kiselkarbidspaddeln säkerställer säker placering och överföring av wafers för att möta processkraven med hög precision.
VeTek Semiconductors fribärande kiselkarbidpaddel är gjord av kiselkarbid som huvudmaterial. Kiselkarbid har egenskaperna hög hållfasthet och god termisk stabilitet, så den kan motstå svåra förhållanden i högtemperaturprocessmiljön i halvledarugnar. En av anledningarna till att välja kiselkarbid är att den kan anpassa sig till högtemperaturmiljön i halvledarugnar.
Utformningen av kiselkarbidspaddeln gör att den kan sträcka sig in i processröret i ugnen och fästas ordentligt i ena änden utanför röret. Denna design säkerställer att wafern som bearbetas förblir stabil och stöds under processen och minimerar interferens med den termiska miljön i ugnen.
VeTek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla högkvalitativa SiC fribärande paddlarprodukter. Våra produkter är noggrant designade och tillverkade för att möta de stränga kraven i halvledartillverkningsprocessen. Den utmärkta prestandan och tillförlitligheten hos kiselkarbidspaddeln gör den till en oumbärlig nyckelkomponent i halvledarindustrin. VeTek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, och vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Fysikaliska egenskaper hos omkristalliserad kiselkarbid | |
Fast egendom | Typiskt värde |
Arbetstemperatur (°C) | 1600°C (med syre), 1700°C (reducerande miljö) |
SiC-innehåll | > 99,96 % |
Gratis Si-innehåll | < 0,1 % |
Bulkdensitet | 2,60-2,70 g/cm3 |
Synbar porositet | < 16 % |
Kompressionsstyrka | > 600 MPa |
Kallböjhållfasthet | 80-90 MPa (20°C) |
Varmböjhållfasthet | 90-100 MPa (1400°C) |
Termisk expansion @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Värmeledningsförmåga @1200°C | 23 W/m•K |
Elasticitetsmodul | 240 GPa |
Motståndskraft mot termisk stöt | Extremt bra |