SiC-belagd kiselkarbid-waferbåt

VeTek Semiconductor är en kinesisk tillverkare och leverantör som huvudsakligen tillverkar SiC Coated Silicon Carbide Wafer Boat med många års erfarenhet. Hoppas kunna bygga affärsrelationer med dig. SiC-belagd kiselkarbidskivabåt används i halvledardiffusionsugnar för att bära skivorna för olika högtemperaturprocesser såsom jonimplantation, diffusion och glödgning. Det kan ge en stabil miljö för wafers, vilket säkerställer temperaturjämnhet och konsistens under bearbetningen.

SiC-belagda kiselkarbidwaferbåtar har högre värmebeständighet och kemisk stabilitet, vilket gör att de kan arbeta vid högre temperaturer och ge längre livslängder. Dessutom har de lägre materialavdunstningshastigheter och gasadsorptionshastigheter, vilket hjälper till att minska påverkan av föroreningar på waferbearbetning.

Vi kan tillverka olika typer av waferbåtar av kiselkarbid såsom horisontell waferbåt, vertikal waferbåt och andra skräddarsydda båtar.

Fördelar med vår kiselkarbid med hög renhet:

1. Stabilitet vid hög temperatur

2.Kemisk tröghet

3.Lågt innehåll av föroreningar

4. Värmeledningsförmåga

Fysikaliska egenskaper hos omkristalliserad kiselkarbid

VeTek Semiconductor Production Shop