Silicon Carbide Wafer Boat för horisontell ugn

VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare och leverantör i Kina för waferbåt av kiselkarbid för horisontell ugn, med många års erfarenhet av FoU och produktion, kan kontrollera kvaliteten väl och erbjuda ett konkurrenskraftigt pris. Du kan vara säker på att köpa kiselkarbidskivan för horisontell ugn av oss.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Högkvalitativ silikonkarbidskiva för horisontell ugn erbjuds av den kinesiska tillverkaren VeTek Semiconductor. Köp Kiselkarbid wafer båt för horisontell ugn som är av hög kvalitet direkt från fabrik till lågt pris. Kiselkarbid wafer båt för horisontell ugn används i ugnsrör för lastning och överföring av wafers vid högtemperaturbehandlingar. På grund av de utmärkta egenskaperna hos kiselkarbidmaterial såsom hög temperaturbeständighet, kemisk korrosionsbeständighet och termisk stabilitet, används de i stor utsträckning i olika värmebehandlingsprocesser såsom diffusion, oxidation, CVD och glödgning.

Kiselkarbidwaferbåt för horisontell ugn är gjord av kiselkarbidmaterial och har följande egenskaper:

1. Hög hårdhet och slitstyrka: Kiselkarbid har en hårdhet som är näst efter diamant, vilket gör den mycket slitstark. Detta gör att kiselkarbidbåtar tål upprepade mekaniska stötar och friktion, vilket förlänger deras livslängd.

2. Högtemperaturbeständighet: Kiselkarbid har en smältpunkt på 2730°C, vilket gör båtar av kiselkarbid lämpliga för högtemperaturmiljöer och olika tillverkningsprocesser för halvledartillverkning, såsom högtemperaturoxidation och diffusion.

3. Låg termisk expansionskoefficient: Kiselkarbid har en låg termisk expansionskoefficient, vilket hjälper till att bibehålla dimensionsstabilitet vid höga temperaturer, förhindrar deformation av båten och påverkar bearbetningsnoggrannheten.

4. Bra kemisk stabilitet: Kiselkarbid är resistent mot de flesta kemikalier och reagerar inte med vanliga sura och alkaliska lösningar, vilket säkerställer säkerheten och renheten hos wafers.

Vi kan tillverka olika typer av waferbåtar av kiselkarbid såsom horisontell waferbåt, vertikal waferbåt och andra skräddarsydda båtar.

Vi använder omkristalliserad kiselkarbid med hög renhet med följande parametrar:

Fysikaliska egenskaper hos omkristalliserad kiselkarbid
Fast egendom	Typiskt värde
Arbetstemperatur (°C)	1600°C (med syre), 1700°C (reducerande miljö)
SiC-innehåll	> 99,96 %
Gratis Si-innehåll	< 0,1 %
Bulkdensitet	2,60-2,70 g/cm3
Synbar porositet	< 16 %
Kompressionsstyrka	> 600 MPa
Kallböjhållfasthet	80-90 MPa (20°C)
Varmböjhållfasthet	90-100 MPa (1400°C)
Termisk expansion @1500°C	4,70 10-6/°C
Värmeledningsförmåga @1200°C	23 W/m•K
Elasticitetsmodul	240 GPa
Motståndskraft mot termisk stöt	Extremt bra

Ansökningar

Kiselkarbidskiva för horisontella ugnar hittar breda tillämpningar inom halvledar- och solcellsindustrin:

Rengöring och etsning av rån

Diffusion och oxidation

Galvanisering och etsning

Kemisk mekanisk polering (CMP)

Värmebehandling

Waferöverföring och lagring

VeTek Semiconductor Production Shop

Hot Tags: Silicon Carbide Wafer Boat för horisontell ugn, Kina, tillverkare, leverantör, fabrik, kundanpassad, köp, avancerad, hållbar, tillverkad i Kina