Kina Silikonkarbidbeläggning Tillverkare, leverantör, fabrik

VeTek Semiconductor specialiserar sig på produktion av ultrarena Silicon Carbide Coating-produkter, dessa beläggningar är designade för att appliceras på renad grafit, keramik och eldfasta metallkomponenter.

Våra beläggningar med hög renhet är främst avsedda för användning inom halvledar- och elektronikindustrin. De fungerar som ett skyddande lager för waferbärare, susceptorer och värmeelement, och skyddar dem från korrosiva och reaktiva miljöer som påträffas i processer som MOCVD och EPI. Dessa processer är integrerade i waferbearbetning och tillverkning av enheter. Dessutom är våra beläggningar väl lämpade för tillämpningar i vakuumugnar och provuppvärmning, där högvakuum, reaktiva och syremiljöer förekommer.

På VeTek Semiconductor erbjuder vi en heltäckande lösning med våra avancerade maskinverkstadsmöjligheter. Detta gör det möjligt för oss att tillverka baskomponenterna med grafit, keramik eller eldfasta metaller och applicera SiC- eller TaC-keramiska beläggningar internt. Vi tillhandahåller också beläggningstjänster för kundlevererade delar, vilket säkerställer flexibilitet för att möta olika behov.

Våra kiselkarbidbeläggningsprodukter används ofta i Si-epitaxi, SiC-epitaxi, MOCVD-system, RTP/RTA-process, etsningsprocess, ICP/PSS-etsningsprocess, process av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup UV LED mm, som är anpassad till utrustning från LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI och så vidare.

Reaktordelar vi kan göra:

Kiselkarbidbeläggning flera unika fördelar:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter:

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning
Egendom	Typiskt värde
Kristallstruktur	FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad
Densitet	3,21 g/cm³
Hårdhet	2500 Vickers hårdhet (500 g belastning)
kornstorlek	2~10μm
Kemisk renhet	99,99995 %
Värmekapacitet	640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Böjningsstyrka	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt böj, 1300℃
Värmeledningsförmåga	300W·m-1·K-1
Termisk expansion (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

SiC-belagd satellitkåpa för MOCVD

Som en ledande tillverkare och leverantör av SIC-belagda satellitskydd för MOCVD-produkter i Kina har Vetek halvledare SIC-belagda satellitskydd för MOCVD-produkter extremt temperaturresistens, utmärkt oxidationsbeständighet och utmärkt korrosionsbeständighet, och spelar en oväntad roll för att säkerställa högkvalitativ epitaxial tillväxt på skivor. Välkommen med dina ytterligare förfrågningar.

Läs mer Skicka förfrågan

Solid SiC skivformad duschmunstycke

Vetek Semiconductor är en ledande tillverkare av halvledarutrustning i Kina och en professionell tillverkare och leverantör av fast SIC-skivformat duschhuvud. Vårt duschhuvud för skivform används allmänt i tunnfilm deponeringsproduktion såsom CVD -process för att säkerställa enhetlig fördelning av reaktionsgas och är en av kärnkomponenterna i CVD -ugnen.

Läs mer Skicka förfrågan

CVD SiC Coated Wafer Barrel Holder

CVD SiC-belagd wafer Fathållare är nyckelkomponenten i epitaxiella tillväxtugnar, som ofta används i MOCVD epitaxiella tillväxtugnar. VeTek Semiconductor förser dig med mycket anpassade produkter. Oavsett vilka behov du har för CVD SiC-belagd wafer Barrel-hållare, välkommen att rådfråga oss.

Läs mer Skicka förfrågan

CVD SiC beläggning fat susceptor

VeTek Semiconductor CVD SiC-beläggningsfatsusceptor är kärnkomponenten i den epitaxiella ugnen av fattyp. Med hjälp av CVD SiC-beläggningsfatsusceptorn förbättras kvantiteten och kvaliteten på epitaxiell tillväxt avsevärt.VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare och leverantör av SiC Coated Barrel Susceptor, och är på den ledande nivån i Kina och till och med i världen.VeTek Semiconductor ser fram emot att etablera ett nära samarbete med dig inom halvledarindustrin.

Läs mer Skicka förfrågan

CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor

VeTek Semiconductor CVD SiC-beläggningsskiva Epi-susceptor är en oumbärlig komponent för tillväxt av SiC-epitax, som erbjuder överlägsen värmehantering, kemisk beständighet och dimensionsstabilitet. Genom att välja VeTek Semiconductors CVD SiC-beläggningsskiva Epi-susceptor förbättrar du prestandan för dina MOCVD-processer, vilket leder till produkter av högre kvalitet och större effektivitet i din tillverkning av halvledaroperationer. Välkommen med dina ytterligare förfrågningar.

Läs mer Skicka förfrågan

CVD SIC -beläggningsgrafit Susceptor

VeTek Semiconductor CVD SiC-beläggningsgrafitsusceptor är en av de viktiga komponenterna i halvledarindustrin såsom epitaxiell tillväxt och waferbearbetning. Den används i MOCVD och annan utrustning för att stödja bearbetning och hantering av wafers och andra högprecisionsmaterial. VeTek Semiconductor har Kinas ledande SiC-belagda grafitsusceptor och TaC Coated Graphite Susceptor produktions- och tillverkningskapacitet, och ser fram emot din konsultation.

Läs mer Skicka förfrågan

<1 2 3 4 5...15 >

Som en professionell Silikonkarbidbeläggning tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att möta de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerade och hållbara Silikonkarbidbeläggning tillverkade i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.