Hem > Produkter > Silikonkarbidbeläggning

Kina Silikonkarbidbeläggning Tillverkare, leverantör, fabrik

VeTek Semiconductor specialiserar sig på produktion av ultrarena Silicon Carbide Coating-produkter, dessa beläggningar är designade för att appliceras på renad grafit, keramik och eldfasta metallkomponenter.

Våra beläggningar med hög renhet är främst avsedda för användning inom halvledar- och elektronikindustrin. De fungerar som ett skyddande lager för waferbärare, susceptorer och värmeelement, och skyddar dem från korrosiva och reaktiva miljöer som påträffas i processer som MOCVD och EPI. Dessa processer är integrerade i waferbearbetning och tillverkning av enheter. Dessutom är våra beläggningar väl lämpade för tillämpningar i vakuumugnar och provuppvärmning, där högvakuum, reaktiva och syremiljöer förekommer.

På VeTek Semiconductor erbjuder vi en heltäckande lösning med våra avancerade maskinverkstadsmöjligheter. Detta gör det möjligt för oss att tillverka baskomponenterna med grafit, keramik eller eldfasta metaller och applicera SiC- eller TaC-keramiska beläggningar internt. Vi tillhandahåller också beläggningstjänster för kundlevererade delar, vilket säkerställer flexibilitet för att möta olika behov.

Våra kiselkarbidbeläggningsprodukter används ofta i Si-epitaxi, SiC-epitaxi, MOCVD-system, RTP/RTA-process, etsningsprocess, ICP/PSS-etsningsprocess, process av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup UV LED mm, som är anpassad till utrustning från LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI och så vidare.


Reaktordelar vi kan göra:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Kiselkarbidbeläggning flera unika fördelar:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter:

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning
Egendom Typiskt värde
Kristallstruktur FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad
Densitet 3,21 g/cm³
Hårdhet 2500 Vickers hårdhet (500 g belastning)
kornstorlek 2~10μm
Kemisk renhet 99,99995 %
Värmekapacitet 640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur 2700 ℃
Böjningsstyrka 415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul 430 Gpa 4pt böj, 1300℃
Värmeledningsförmåga 300W·m-1·K-1
Termisk expansion (CTE) 4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
CVD SiC beläggning Värmeelement

CVD SiC beläggning Värmeelement

CVD SiC-beläggning Värmeelement spelar en central roll i uppvärmningsmaterial i PVD-ugnar (evaporation Deposition). VeTek Semiconductor är en ledande CVD SiC-belagd tillverkare av värmeelement i Kina. Vi har avancerade CVD-beläggningsmöjligheter och kan förse dig med anpassade CVD SiC-beläggningsprodukter. VeTek Semiconductor ser fram emot att bli din partner inom SiC-belagda värmeelement.

Läs merSkicka förfrågan
Grafitroterande mottagare

Grafitroterande mottagare

Roterande susceptor med hög renhet av grafit spelar en viktig roll i den epitaxiella tillväxten av galliumnitrid (MOCVD-processen). VeTek Semiconductor är en ledande grafitroterande susceptortillverkare och leverantör i Kina. Vi har utvecklat många högrena grafitprodukter baserade på högrena grafitmaterial, som helt uppfyller kraven från halvledarindustrin. VeTek Semiconductor ser fram emot att bli din partner inom Rotating Graphite susceptor.

Läs merSkicka förfrågan
Grafitring med hög renhet

Grafitring med hög renhet

Grafitring med hög renhet är lämplig för GaN epitaxiella tillväxtprocesser. Deras utmärkta stabilitet och överlägsna prestanda har gjort dem flitigt använda. VeTek Semiconductor producerar och tillverkar världsledande grafitring med hög renhet för att hjälpa GaN-epitaxiindustrin att fortsätta utvecklas. VeTekSemi ser fram emot att bli din partner i Kina.

Läs merSkicka förfrågan
CVD SIC Pancake Susceptor

CVD SIC Pancake Susceptor

Som en ledande tillverkare och innovatör av CVD SiC Pancake Susceptor-produkter i Kina. VeTek Semiconductor CVD SiC Pancake Susceptor, som en skivformad komponent designad för halvledarutrustning, är ett nyckelelement för att stödja tunna halvledarskivor under epitaxiell avsättning vid hög temperatur. VeTek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla högkvalitativa SiC Pancake Susceptor-produkter och att bli din långsiktiga partner i Kina till konkurrenskraftiga priser.

Läs merSkicka förfrågan
SiC-belagd grafitsusceptor för MOCVD

SiC-belagd grafitsusceptor för MOCVD

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare och leverantör av SiC Coated Graphite Susceptor för MOCVD i Kina, specialiserad på SiC-beläggningstillämpningar och epitaxiella halvledarprodukter för halvledarindustrin. Våra MOCVD SiC-belagda grafitsusceptorer erbjuder konkurrenskraftig kvalitet och prissättning och betjänar marknader över hela Europa och Amerika. Vi är fast beslutna att bli din långsiktiga, pålitliga partner för att utveckla halvledartillverkningen.

Läs merSkicka förfrågan
CVD SiC-beläggning Epitaxisusceptor

CVD SiC-beläggning Epitaxisusceptor

VeTek Semiconductors CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor är ett precisionskonstruerat verktyg designat för hantering och bearbetning av halvledarskivor. Denna SiC Coating Epitaxy Susceptor spelar en viktig roll för att främja tillväxten av tunna filmer, epilager och andra beläggningar, och kan exakt kontrollera temperatur och materialegenskaper. Välkommen med dina ytterligare förfrågningar.

Läs merSkicka förfrågan
Som en professionell Silikonkarbidbeläggning tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att möta de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerade och hållbara Silikonkarbidbeläggning tillverkade i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept