VeTek Semiconductor specialiserar sig på produktion av ultrarena Silicon Carbide Coating-produkter, dessa beläggningar är designade för att appliceras på renad grafit, keramik och eldfasta metallkomponenter.
Våra beläggningar med hög renhet är främst avsedda för användning inom halvledar- och elektronikindustrin. De fungerar som ett skyddande lager för waferbärare, susceptorer och värmeelement, och skyddar dem från korrosiva och reaktiva miljöer som påträffas i processer som MOCVD och EPI. Dessa processer är integrerade i waferbearbetning och tillverkning av enheter. Dessutom är våra beläggningar väl lämpade för tillämpningar i vakuumugnar och provuppvärmning, där högvakuum, reaktiva och syremiljöer förekommer.
På VeTek Semiconductor erbjuder vi en heltäckande lösning med våra avancerade maskinverkstadsmöjligheter. Detta gör det möjligt för oss att tillverka baskomponenterna med grafit, keramik eller eldfasta metaller och applicera SiC- eller TaC-keramiska beläggningar internt. Vi tillhandahåller också beläggningstjänster för kundlevererade delar, vilket säkerställer flexibilitet för att möta olika behov.
Våra kiselkarbidbeläggningsprodukter används ofta i Si-epitaxi, SiC-epitaxi, MOCVD-system, RTP/RTA-process, etsningsprocess, ICP/PSS-etsningsprocess, process av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup UV LED mm, som är anpassad till utrustning från LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI och så vidare.
Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning | |
Egendom | Typiskt värde |
Kristallstruktur | FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad |
Densitet | 3,21 g/cm³ |
Hårdhet | 2500 Vickers hårdhet (500 g belastning) |
kornstorlek | 2~10μm |
Kemisk renhet | 99,99995 % |
Värmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
Böjningsstyrka | 415 MPa RT 4-punkts |
Youngs modul | 430 Gpa 4pt böj, 1300℃ |
Värmeledningsförmåga | 300W·m-1·K-1 |
Termisk expansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
CVD SiC-beläggning Värmeelement spelar en central roll i uppvärmningsmaterial i PVD-ugnar (evaporation Deposition). VeTek Semiconductor är en ledande CVD SiC-belagd tillverkare av värmeelement i Kina. Vi har avancerade CVD-beläggningsmöjligheter och kan förse dig med anpassade CVD SiC-beläggningsprodukter. VeTek Semiconductor ser fram emot att bli din partner inom SiC-belagda värmeelement.
Läs merSkicka förfråganRoterande susceptor med hög renhet av grafit spelar en viktig roll i den epitaxiella tillväxten av galliumnitrid (MOCVD-processen). VeTek Semiconductor är en ledande grafitroterande susceptortillverkare och leverantör i Kina. Vi har utvecklat många högrena grafitprodukter baserade på högrena grafitmaterial, som helt uppfyller kraven från halvledarindustrin. VeTek Semiconductor ser fram emot att bli din partner inom Rotating Graphite susceptor.
Läs merSkicka förfråganGrafitring med hög renhet är lämplig för GaN epitaxiella tillväxtprocesser. Deras utmärkta stabilitet och överlägsna prestanda har gjort dem flitigt använda. VeTek Semiconductor producerar och tillverkar världsledande grafitring med hög renhet för att hjälpa GaN-epitaxiindustrin att fortsätta utvecklas. VeTekSemi ser fram emot att bli din partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSom en ledande tillverkare och innovatör av CVD SiC Pancake Susceptor-produkter i Kina. VeTek Semiconductor CVD SiC Pancake Susceptor, som en skivformad komponent designad för halvledarutrustning, är ett nyckelelement för att stödja tunna halvledarskivor under epitaxiell avsättning vid hög temperatur. VeTek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla högkvalitativa SiC Pancake Susceptor-produkter och att bli din långsiktiga partner i Kina till konkurrenskraftiga priser.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är en ledande tillverkare och leverantör av SiC Coated Graphite Susceptor för MOCVD i Kina, specialiserad på SiC-beläggningstillämpningar och epitaxiella halvledarprodukter för halvledarindustrin. Våra MOCVD SiC-belagda grafitsusceptorer erbjuder konkurrenskraftig kvalitet och prissättning och betjänar marknader över hela Europa och Amerika. Vi är fast beslutna att bli din långsiktiga, pålitliga partner för att utveckla halvledartillverkningen.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductors CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor är ett precisionskonstruerat verktyg designat för hantering och bearbetning av halvledarskivor. Denna SiC Coating Epitaxy Susceptor spelar en viktig roll för att främja tillväxten av tunna filmer, epilager och andra beläggningar, och kan exakt kontrollera temperatur och materialegenskaper. Välkommen med dina ytterligare förfrågningar.
Läs merSkicka förfrågan