Grafitroterande mottagare

Roterande susceptor med hög renhet av grafit spelar en viktig roll i den epitaxiella tillväxten av galliumnitrid (MOCVD-processen). VeTek Semiconductor är en ledande grafitroterande susceptortillverkare och leverantör i Kina. Vi har utvecklat många högrena grafitprodukter baserade på högrena grafitmaterial, som helt uppfyller kraven från halvledarindustrin. VeTek Semiconductor ser fram emot att bli din partner inom Rotating Graphite susceptor.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Schematic diagram of the working process of High purity graphite rotating susceptor

Högren grafit roterande susceptorer används i materialbearbetningsutrustning under hög temperatur och högt vakuum. I den epitaxiella tillväxten av galliumnitrid (MOCVD-processen) spelar de en stödjande roll i rotationen av substratet. VeTekSemis roterande grafitsusceptor har följande fördelar:

● Hög renhet: Föroreningshalten i roterande susceptorer med hög renhet av grafit är under 5 ppm. Denna renhetsgrad av grafit kan undvika frigöring av föroreningar vid höga temperaturer för att säkerställa renheten i avsättningsprocessen. Därför krävs ingen beläggning för att uppfylla arbetskraven.

Grafit med hög renhet

● Utmärkta termiska egenskaper: Högren grafit har utmärkt värmeledningsförmåga, och dess värmeledningsförmåga är mycket högre än andra material. Den termiska expansionskoefficienten är liten och kan bibehålla stabil prestanda vid temperaturförändringar.

● Bra mekaniska egenskaper: Högren grafit har god slitstyrka och seghet, vilket kan uppfylla de komplexa kraven för CVD-processen.

● Utmärkt konduktivitet: Konduktiviteten är hundra gånger högre än den för allmänna icke-metalliska mineraler.

● Kemisk stabilitet: Det kan motstå korrosion från syror, alkalier och organiska lösningsmedel

Dessutom, som en ledande tillverkare och leverantör av roterande susceptor i hög renhet av grafit i Kina, levererar VeTek Semiconductor också högkvalitativaSiC-belagd grafitsusceptor för MOCVD, SiC Coated Barrel Susceptor, TaC-belagd grafitmottagareochMOCVD SiC-beläggningssusceptor.VeTek Semiconductorhar åtagit sig att tillhandahålla avancerad teknologi och produktlösningar för halvledarindustrin, och stöder även skräddarsydda tjänster. Vi ser verkligen fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

VeTek SemiconductorGrafit Roterande Susceptor produktbutiker:

Graphite Susceptor Vetek Semiconductor Graphite Rotating Susceptor test Semiconductor ceramics technology