SiC-belagd stöd för LPE PE2061S

VeTek Semiconductor är en ledande SiC-belagd stöd för LPE PE2061S-tillverkare och innovatör i Kina. Vi har varit specialiserade på SiC-beläggningsmaterial i många år. Vi erbjuder ett SiC-belagt stöd för LPE PE2061S designat specifikt för LPE-kiselepitaxiereaktorer. Detta SiC-belagda stöd för LPE PE2061S är botten av trumman. Det tål 1600 grader Celsius hög temperatur, förlänger produktens livslängd för grafitreservdelar. Välkommen att skicka oss en förfrågan.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Högkvalitativt SiC-belagt stöd för LPE PE2061S erbjuds av den kinesiska tillverkaren VeTek Semiconductor. Köp SiC Coated Support för LPE PE2061S som är av hög kvalitet direkt till lågt pris.

VeTeK Semiconductor SiC-belagd stöd för LPE PE2061S i kiselepitaxiutrustning, som används i kombination med en susceptor av cylindertyp för att stödja och hålla de epitaxiella skivorna (eller substraten) under den epitaxiella tillväxtprocessen.

Bottenplattan används huvudsakligen med tunnepitaxialugnen, tunnepitaxialugnen har en större reaktionskammare och en högre produktionseffektivitet än den platta epitaxiella susceptorn.

Stödet har en design med runda hål och används främst för avgasutlopp inuti reaktorn.

VeTeK Semiconductor SiC Coated Support för LPE PE2061S är för Liquid Phase Epitaxy (LPE) reaktorsystem, med hög renhet, enhetlig beläggning, hög temperaturstabilitet, korrosionsbeständighet, hög hårdhet, utmärkt värmeledningsförmåga, låg värmeutvidgningskoefficient och kemisk tröghet .

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning:

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning
Fast egendom	Typiskt värde
Kristallstruktur	FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad
Densitet	3,21 g/cm³
Hårdhet	2500 Vickers hårdhet（500g belastning）
Kornstorlek	2~10μm
Kemisk renhet	99,99995 %
Värmekapacitet	640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Böjhållfasthet	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt böj, 1300℃
Värmeledningsförmåga	300W·m-1·K-1
Termisk expansion (CTE)	4,5×10-6K-1