Susceptor för snabb termisk glödgning

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare av snabb termisk glödgningssusceptor och innovatör i Kina. Vi har varit specialiserade på SiC-beläggningsmaterial i många år. Vi erbjuder snabb termisk glödgningssusceptor med hög kvalitet, hög temperaturbeständighet, supertunn. Vi välkomnar dig att besöka vår fabrik i Kina.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

VeTek Semiconductor Rapid Thermal Annealing Susceptor är med hög kvalitet och lång livslängd, välkommen att fråga oss.

Rapid Thermal Anneal (RTA) är en avgörande delmängd av Rapid Thermal Processing som används vid tillverkning av halvledarenheter. Det involverar uppvärmning av enskilda wafers för att modifiera deras elektriska egenskaper genom olika riktade värmebehandlingar. RTA-processen möjliggör aktivering av dopämnen, förändring av film-till-film eller film-till-wafer-substratgränssnitt, förtätning av avsatta filmer, modifiering av växtfilmstillstånd, reparation av jonimplantationsskada, dopmedelsrörelse och drivande av dopämnen mellan filmer eller in i wafersubstratet.

VeTek Semiconductor-produkt, Rapid Thermal Annealing Susceptor, spelar en viktig roll i RTP-processen. Den är konstruerad av högrent grafitmaterial med en skyddande beläggning av inert kiselkarbid (SiC). Det SiC-belagda silikonsubstratet tål temperaturer upp till 1100°C, vilket säkerställer pålitlig prestanda även under extrema förhållanden. SiC-beläggningen ger utmärkt skydd mot gasläckage och partikelavgivning, vilket säkerställer produktens livslängd.

För att upprätthålla exakt temperaturkontroll är chipet inkapslat mellan två högrena grafitkomponenter belagda med SiC. Noggranna temperaturmätningar kan erhållas genom integrerade högtemperaturgivare eller termoelement i kontakt med substratet.

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning:

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning
Fast egendom	Typiskt värde
Kristallstruktur	FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad
Densitet	3,21 g/cm³
Hårdhet	2500 Vickers hårdhet（500g belastning）
Kornstorlek	2~10μm
Kemisk renhet	99,99995 %
Värmekapacitet	640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Böjhållfasthet	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt böj, 1300℃
Värmeledningsförmåga	300W·m-1·K-1
Termisk expansion (CTE)	4,5×10-6K-1