> Produkter > Tantalkarbidbeläggning

Nya produkter

Kina Tantalkarbidbeläggning Tillverkare, leverantör, fabrik

VeTek semiconductor är en ledande tillverkare av tantalkarbidbeläggningsmaterial för halvledarindustrin. Våra huvudsakliga produkterbjudanden inkluderar CVD-tantalkarbidbeläggningsdelar, sintrade TaC-beläggningsdelar för SiC-kristalltillväxt eller halvledarepitaxiprocess. Godkänt ISO9001, VeTek Semiconductor har bra kontroll på kvaliteten. VeTek Semiconductor är dedikerade till att bli innovatör inom tantalkarbidbeläggningsindustrin genom pågående forskning och utveckling av iterativ teknologi.

Huvudprodukterna ärTantalkarbidbeläggningsdefektring, TaC-belagd avledningsring, TaC-belagda halvmånedelar, Tantalkarbidbelagd planetrotationsskiva (Aixtron G10), TaC-belagd degel; TaC-belagda ringar; TaC-belagd porös grafit; Tantalkarbidbeläggning grafitsusceptor; TaC-belagd styrring; TaC Tantalkarbidbelagd platta; TaC-belagd wafer-susceptor; TaC beläggningsring; TaC Coating Grafit Cover; TaC Coated Chunketc., renheten är under 5 ppm, kan uppfylla kundernas krav.

TaC-beläggningsgrafit skapas genom att belägga ytan på ett högrent grafitsubstrat med ett fint lager av tantalkarbid genom en patenterad process för kemisk ångavsättning (CVD). Fördelen visas på bilden nedan:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Tantalkarbidbeläggningen (TaC) har fått uppmärksamhet på grund av sin höga smältpunkt på upp till 3880°C, utmärkta mekaniska hållfasthet, hårdhet och motståndskraft mot termiska stötar, vilket gör den till ett attraktivt alternativ till sammansatta halvledarepitaxiprocesser med högre temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system och LPE SiC epitaxiprocess. Den har också en bred tillämpning i PVT-metoden SiC kristalltillväxtprocess.

Nyckelfunktioner:

Temperaturstabilitet

Ultrahög renhet

Motstånd mot H2, NH3, SiH4,Si

Motstånd mot termiskt material

Stark vidhäftning till grafit

Konform beläggningstäckning

Storlek upp till 750 mm diameter (den enda tillverkaren i Kina når denna storlek)

Ansökningar:

Waferbärare

Induktiv värmemottagare

Resistivt värmeelement

Satellitskiva

Duschhuvud

Styrring

LED Epi-mottagare

Insprutningsmunstycke

Maskeringsring

Värmesköld

Tantalkarbid (TaC) beläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parameter för VeTek Semiconductor Tantalkarbidbeläggning:

Fysiska egenskaper hos TaC-beläggning
Densitet	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsförmåga	0.3
Termisk expansionskoefficient	6,3 10^-6/K
Hårdhet (HK)	2000 HK
Motstånd	1×10^-5Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstorleken ändras	-10~-20um
Beläggningens tjocklek	≥20um typiskt värde (35um±10um)

TaC-beläggning EDX-data：

TaC coating EDX data

TaC beläggning kristallstruktur data

Element	Atomprocent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Genomsnitt
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk TaC belagd platta TaC Beläggning Rotationsplatta TaC-beläggningssusceptor CVD TaC-beläggningsskydd CVD TaC beläggningsring TaC beläggningsplatta

View as

Tantalkarbidbelagd ring

Som en professionell innovatör och ledare för tantalkarbidbelagda ringprodukter i Kina, spelar VeTek halvledartantalkarbidbelagda ring en oersättlig roll i SiC-kristalltillväxt med sin utmärkta högtemperaturbeständighet, slitstyrka och utmärkta värmeledningsförmåga. Välkommen med din fortsatta konsultation.

Läs mer Skicka förfrågan

Porös tantalkarbid

VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare och ledare av porösa tantalkarbidprodukter i Kina. Porös tantalkarbid tillverkas vanligtvis med kemisk ångdeponering (CVD) metod, vilket säkerställer exakt kontroll av dess porstorlek och distribution, och är ett materialverktyg dedikerat till extrema miljöer med hög temperatur. Välkommen med din fortsatta konsultation.

Läs mer Skicka förfrågan

Tantalkarbidring

Som en avancerad tillverkare och tillverkare av tantalkarbidringprodukter i Kina har VeTek Semiconductor Tantalkarbidring extremt hög hårdhet, slitstyrka, hög temperaturbeständighet och kemisk stabilitet, och används ofta inom halvledartillverkning. Speciellt i CVD, PVD, jonimplantationsprocess, etsningsprocess och waferbearbetning och transport, är det en oumbärlig produkt för halvledarbearbetning och tillverkning. Ser fram emot din fortsatta konsultation.

Läs mer Skicka förfrågan

Stöd för beläggning av tantalkarbid

Som en professionell tillverkare av tantalkarbidbeläggningsstöd och fabrik i Kina, används VeTek Semiconductor tantalkarbidbeläggningsstöd vanligtvis för ytbeläggning av strukturella komponenter eller stödkomponenter i halvledarutrustning, speciellt för ytskydd av viktiga utrustningskomponenter i halvledartillverkningsprocesser som t.ex. CVD och PVD. Välkommen med din fortsatta konsultation.

Läs mer Skicka förfrågan

Styrring av tantalkarbid

VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare och ledare av Tantalkarbid Guide Ring-produkter i Kina. Vår tantalkarbid (TaC) styrring är en högpresterande ringkomponent gjord av tantalkarbid, som vanligtvis används i halvledarbearbetningsutrustning, särskilt i högtemperatur- och mycket korrosiva miljöer som CVD, PVD, etsning och diffusion. VeTek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla avancerad teknologi och produktlösningar för halvledarindustrin och välkomnar dina ytterligare förfrågningar.

Läs mer Skicka förfrågan

TaC Coating Rotations Susceptor

Som en professionell tillverkare, innovatör och ledare för TaC Coating Rotation Susceptor-produkter i Kina. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor installeras vanligtvis i utrustning för kemisk ångdeposition (CVD) och molekylär strålepitaxi (MBE) för att stödja och rotera wafers för att säkerställa enhetlig materialavsättning och effektiv reaktion. Det är en nyckelkomponent i halvledarbearbetning. Välkommen med din fortsatta konsultation.

Läs mer Skicka förfrågan

<1 2 3 4 5...7 >

Som en professionell Tantalkarbidbeläggning tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att möta de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerade och hållbara Tantalkarbidbeläggning tillverkade i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.