> Produkter > Tantalkarbidbeläggning

Nya produkter

Kina Tantalkarbidbeläggning Tillverkare, leverantör, fabrik

VeTek semiconductor är en ledande tillverkare av tantalkarbidbeläggningsmaterial för halvledarindustrin. Våra huvudsakliga produkterbjudanden inkluderar CVD-tantalkarbidbeläggningsdelar, sintrade TaC-beläggningsdelar för SiC-kristalltillväxt eller halvledarepitaxiprocess. Godkänt ISO9001, VeTek Semiconductor har bra kontroll på kvaliteten. VeTek Semiconductor är dedikerade till att bli innovatör inom tantalkarbidbeläggningsindustrin genom pågående forskning och utveckling av iterativ teknologi.

Huvudprodukterna ärTantalkarbidbeläggningsdefektring, TaC-belagd avledningsring, TaC-belagda halvmånedelar, Tantalkarbidbelagd planetrotationsskiva (Aixtron G10), TaC-belagd degel; TaC-belagda ringar; TaC-belagd porös grafit; Tantalkarbidbeläggning grafitsusceptor; TaC-belagd styrring; TaC Tantalkarbidbelagd platta; TaC-belagd wafer-susceptor; TaC beläggningsring; TaC Coating Grafit Cover; TaC Coated Chunketc., renheten är under 5 ppm, kan uppfylla kundernas krav.

TaC-beläggningsgrafit skapas genom att belägga ytan på ett högrent grafitsubstrat med ett fint lager av tantalkarbid genom en patenterad process för kemisk ångavsättning (CVD). Fördelen visas på bilden nedan:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantalkarbidbeläggningen (TaC) har fått uppmärksamhet på grund av sin höga smältpunkt på upp till 3880°C, utmärkt mekanisk hållfasthet, hårdhet och motståndskraft mot termiska stötar, vilket gör den till ett attraktivt alternativ till sammansatta halvledarepitaxiprocesser med högre temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system och LPE SiC epitaxiprocess. Den har också en bred tillämpning i PVT-metoden SiC kristalltillväxtprocess.

Nyckelfunktioner:

●Temperaturstabilitet

●Ultrahög renhet

●Motstånd mot H2, NH3, SiH4,Si

●Motstånd mot termiskt material

●Stark vidhäftning till grafit

●Konform beläggningstäckning

● Storlek upp till 750 mm diameter (den enda tillverkaren i Kina når denna storlek)

Ansökningar:

●Waferbärare

● Induktiv värmemottagare

● Resistivt värmeelement

●Satellitskiva

●Duschhuvud

●Styrring

●LED Epi-mottagare

●Insprutningsmunstycke

●Maskeringsring

● Värmesköld

Tantalkarbid (TaC) beläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter för VeTek Semiconductor Tantalkarbidbeläggning:

Fysiska egenskaper hos TaC-beläggning
Densitet	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsförmåga	0.3
Termisk expansionskoefficient	6,3 10^-6/K
Hårdhet (HK)	2000 HK
Motstånd	1×10^-5Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstorleken ändras	-10~-20um
Beläggningstjocklek	≥20um typiskt värde (35um±10um)

TaC-beläggning EDX-data：

EDX data of TaC coating

TaC beläggning kristallstruktur data:

Element	Atomprocent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Genomsnitt
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk TaC belagd platta TaC Beläggning Rotationsplatta TaC-beläggningsmottagare CVD TaC-beläggningsskydd CVD TaC beläggningsring TaC beläggningsplatta

View as

TaC belagd ring

Som en ledande tillverkare och leverantör av TaC-belagda ringprodukter i Kina har VeTek Semiconductor fokuserat på FoU och produktion av olika TaC-beläggningsprodukter. Som huvudkunder av TaC Coating-produkter har europeiska och amerikanska tillverkare gett stort beröm till våra beläggningsprodukter. Välkommen till din vidare konsultation.

Läs mer Skicka förfrågan

GaN epitaximottagare

VeTek Semiconductor är ett kinesiskt företag som är en tillverkare och leverantör i världsklass av GaN Epitaxy susceptor. Vi har arbetat inom halvledarindustrin som kiselkarbidbeläggningar och GaN Epitaxy susceptor under lång tid. Vi kan förse dig med utmärkta produkter och förmånliga priser. VeTek Semiconductor ser fram emot att bli din långsiktiga partner.

Läs mer Skicka förfrågan

TaC-belagd wafer-susceptor

eTek Semiconductor TaC Coated Wafer Susceptor är en grafitbricka belagd med tantalkarbid för epitaxiell tillväxt av kiselkarbid för att förbättra waferns kvalitet och prestanda. VeTek är utvald på grund av sin avancerade beläggningsteknologi och hållbara lösningar för att säkerställa utmärkta SiC-epitaxresultat och förlängd susceptorlivslängd, välkomna dina ytterligare förfrågningar.

Läs mer Skicka förfrågan

TaC Coating Guide Rings

Som en ledande tillverkare av TaC Coating Guide Rings-produkter i Kina är VeTek Semiconductor TaC-belagda styrringar viktiga komponenter i MOCVD-utrustning, vilket säkerställer exakt och stabil gasleverans under epitaxiell tillväxt och är ett oumbärligt material i halvledarepitaxial tillväxt. Välkommen att rådfråga oss.

Läs mer Skicka förfrågan

Tantalkarbidbelagd ring

Som en professionell innovatör och ledare för tantalkarbidbelagda ringprodukter i Kina, spelar VeTek halvledartantalkarbidbelagda ring en oersättlig roll i SiC-kristalltillväxt med sin utmärkta högtemperaturbeständighet, slitstyrka och utmärkta värmeledningsförmåga. Välkommen med din fortsatta konsultation.

Läs mer Skicka förfrågan

Porös tantalkarbid

VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare och ledare av porösa tantalkarbidprodukter i Kina. Porös tantalkarbid tillverkas vanligtvis med kemisk ångdeponering (CVD) metod, vilket säkerställer exakt kontroll av dess porstorlek och distribution, och är ett materialverktyg dedikerat till extrema miljöer med hög temperatur. Välkommen med din fortsatta konsultation.

Läs mer Skicka förfrågan

<1 2 3 4 5...8 >

Som en professionell Tantalkarbidbeläggning tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att möta de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerade och hållbara Tantalkarbidbeläggning tillverkade i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.