> Produkter > Tantalkarbidbeläggning

Nya produkter

Kina Tantalkarbidbeläggning Tillverkare, leverantör, fabrik

VeTek semiconductor är en ledande tillverkare av tantalkarbidbeläggningsmaterial för halvledarindustrin. Våra huvudsakliga produkterbjudanden inkluderar CVD-tantalkarbidbeläggningsdelar, sintrade TaC-beläggningsdelar för SiC-kristalltillväxt eller halvledarepitaxiprocess. Godkänt ISO9001, VeTek Semiconductor har bra kontroll på kvaliteten. VeTek Semiconductor är dedikerade till att bli innovatör inom tantalkarbidbeläggningsindustrin genom pågående forskning och utveckling av iterativ teknologi.

Huvudprodukterna ärTantalkarbidbeläggningsdefektring, TaC-belagd avledningsring, TaC-belagda halvmånedelar, Tantalkarbidbelagd planetrotationsskiva (Aixtron G10), TaC-belagd degel; TaC-belagda ringar; TaC-belagd porös grafit; Tantalkarbidbeläggning grafitsusceptor; TaC-belagd styrring; TaC Tantalkarbidbelagd platta; TaC-belagd wafer-susceptor; TaC beläggningsring; TaC Coating Grafit Cover; TaC Coated Chunketc., renheten är under 5 ppm, kan uppfylla kundernas krav.

TaC-beläggningsgrafit skapas genom att belägga ytan på ett högrent grafitsubstrat med ett fint lager av tantalkarbid genom en patenterad process för kemisk ångavsättning (CVD). Fördelen visas på bilden nedan:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Tantalkarbidbeläggningen (TaC) har fått uppmärksamhet på grund av sin höga smältpunkt på upp till 3880°C, utmärkta mekaniska hållfasthet, hårdhet och motståndskraft mot termiska stötar, vilket gör den till ett attraktivt alternativ till sammansatta halvledarepitaxiprocesser med högre temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system och LPE SiC epitaxiprocess. Den har också en bred tillämpning i PVT-metoden SiC kristalltillväxtprocess.

Nyckelfunktioner:

Temperaturstabilitet

Ultrahög renhet

Motstånd mot H2, NH3, SiH4,Si

Motstånd mot termiskt material

Stark vidhäftning till grafit

Konform beläggningstäckning

Storlek upp till 750 mm diameter (den enda tillverkaren i Kina når denna storlek)

Ansökningar:

Waferbärare

Induktiv värmemottagare

Resistivt värmeelement

Satellitskiva

Duschhuvud

Styrring

LED Epi-mottagare

Insprutningsmunstycke

Maskeringsring

Värmesköld

Tantalkarbid (TaC) beläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parameter för VeTek Semiconductor Tantalkarbidbeläggning:

Fysiska egenskaper hos TaC-beläggning
Densitet	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsförmåga	0.3
Termisk expansionskoefficient	6,3 10^-6/K
Hårdhet (HK)	2000 HK
Motstånd	1×10^-5Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstorleken ändras	-10~-20um
Beläggningens tjocklek	≥20um typiskt värde (35um±10um)

TaC-beläggning EDX-data：

TaC coating EDX data

TaC beläggning kristallstruktur data

Element	Atomprocent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Genomsnitt
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk TaC belagd platta TaC Beläggning Rotationsplatta TaC-beläggningssusceptor CVD TaC-beläggningsskydd CVD TaC beläggningsring TaC beläggningsplatta

View as

TaC Beläggning Rotationsplatta

VeTek Semiconductors TaC Coating Rotation Plate har en enastående TaC-beläggning, med sin exceptionella TaC-beläggning, TaC Coating Rotation Plate har en anmärkningsvärd hög temperaturbeständighet och kemisk tröghet, som skiljer den från traditionella lösningar. Vi är angelägna om att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga produkter priser och ser fram emot att vara din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

TaC beläggningsplatta

VeTek Semiconductors TaC Coating Plate är en anmärkningsvärd produkt som erbjuder exceptionella egenskaper och fördelar. Designad med precision och konstruerad till perfektion, vår TaC Coating Plate är speciellt skräddarsydd för olika applikationer i kiselkarbid (SiC) enkristalltillväxtprocesser. TaC Coating Plates exakta dimensioner och robusta konstruktion gör den lätt att integrera i befintliga system, vilket säkerställer sömlös kompatibilitet och effektiv drift. Dess pålitliga prestanda och högkvalitativa beläggning bidrar till konsekventa och enhetliga resultat i SiC-kristalltillväxttillämpningar. Vi är fast beslutna att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser och ser fram emot att vara din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

CVD TaC beläggningsskydd

CVD TaC-beläggningsskydd som tillhandahålls av VeTek Semiconductor är en mycket specialiserad komponent designad speciellt för krävande applikationer. Med sina avancerade funktioner och exceptionella prestanda erbjuder vårt CVD TaC-beläggningsskydd flera viktiga fördelar. Vårt CVD TaC-beläggningsskydd ger det nödvändiga skyddet och den prestanda som krävs för framgång. Vi ser fram emot att utforska potentiellt samarbete med dig!

Läs mer Skicka förfrågan

TaC Beläggning Planetär Susceptor

VeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor är en exceptionell produkt för Aixtrons epitaxiutrustning. Den robusta TaC-beläggningen ger utmärkt högtemperaturbeständighet och kemisk tröghet. Denna unika kombination säkerställer pålitlig prestanda och lång livslängd, även i krävande miljöer. VeTek har åtagit sig att tillhandahålla högkvalitativa produkter och fungera som en långsiktig partner på den kinesiska marknaden med konkurrenskraftiga priser.

Läs mer Skicka förfrågan

TaC Coating Piedestal Stödplatta

VeTek Semiconductors TaC Coating Piedestal Support Plate är en högprecisionsprodukt designad för att möta de specifika kraven för halvledarepitaxiprocesser. Med sin TaC-beläggning, hög temperaturbeständighet och kemiska tröghet ger vår produkt dig möjlighet att producera högkvalitativa EPI-lager med hög kvalitet. Vi är fast beslutna att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser och ser fram emot att vara din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

TaC Coating Chuck

VeTek Semiconductors TaC Coating Chuck har en högkvalitativ TaC-beläggning, känd för sin enastående högtemperaturbeständighet och kemiska tröghet, särskilt i kiselkarbid (SiC) epitaxi (EPI) processer. Med sina exceptionella egenskaper och överlägsna prestanda erbjuder vår TaC Coating Chuck flera viktiga fördelar. Vi är fast beslutna att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser och ser fram emot att vara din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

<...2 3 4 5 6...7 >

Som en professionell Tantalkarbidbeläggning tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att möta de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerade och hållbara Tantalkarbidbeläggning tillverkade i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.