VeTek semiconductor är en ledande tillverkare av tantalkarbidbeläggningsmaterial för halvledarindustrin. Våra huvudsakliga produkterbjudanden inkluderar CVD-tantalkarbidbeläggningsdelar, sintrade TaC-beläggningsdelar för SiC-kristalltillväxt eller halvledarepitaxiprocess. Godkänt ISO9001, VeTek Semiconductor har bra kontroll på kvaliteten. VeTek Semiconductor är dedikerade till att bli innovatör inom tantalkarbidbeläggningsindustrin genom pågående forskning och utveckling av iterativ teknologi.
Huvudprodukterna ärTantalkarbidbeläggningsdefektring, TaC-belagd avledningsring, TaC-belagda halvmånedelar, Tantalkarbidbelagd planetrotationsskiva (Aixtron G10), TaC-belagd degel; TaC-belagda ringar; TaC-belagd porös grafit; Tantalkarbidbeläggning grafitsusceptor; TaC-belagd styrring; TaC Tantalkarbidbelagd platta; TaC-belagd wafer-susceptor; TaC beläggningsring; TaC Coating Grafit Cover; TaC Coated Chunketc., renheten är under 5 ppm, kan uppfylla kundernas krav.
TaC-beläggningsgrafit skapas genom att belägga ytan på ett högrent grafitsubstrat med ett fint lager av tantalkarbid genom en patenterad process för kemisk ångavsättning (CVD). Fördelen visas på bilden nedan:
Tantalkarbidbeläggningen (TaC) har fått uppmärksamhet på grund av sin höga smältpunkt på upp till 3880°C, utmärkt mekanisk hållfasthet, hårdhet och motståndskraft mot termiska stötar, vilket gör den till ett attraktivt alternativ till sammansatta halvledarepitaxiprocesser med högre temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system och LPE SiC epitaxiprocess. Den har också en bred tillämpning i PVT-metoden SiC kristalltillväxtprocess.
●Temperaturstabilitet
●Ultrahög renhet
●Motstånd mot H2, NH3, SiH4,Si
●Motstånd mot termiskt material
●Stark vidhäftning till grafit
●Konform beläggningstäckning
● Storlek upp till 750 mm diameter (den enda tillverkaren i Kina når denna storlek)
● Induktiv värmemottagare
● Resistivt värmeelement
● Värmesköld
Fysiska egenskaper hos TaC-beläggning | |
Densitet | 14,3 (g/cm³) |
Specifik emissionsförmåga | 0.3 |
Termisk expansionskoefficient | 6,3 10-6/K |
Hårdhet (HK) | 2000 HK |
Motstånd | 1×10-5Ohm*cm |
Termisk stabilitet | <2500℃ |
Grafitstorleken ändras | -10~-20um |
Beläggningstjocklek | ≥20um typiskt värde (35um±10um) |
Element | Atomprocent | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Genomsnitt | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductors CVD TaC-beläggningsring är en mycket fördelaktig komponent utformad för att möta de krävande kraven för kiselkarbid (SiC) kristalltillväxtprocesser. CVD TaC-beläggningsringen ger enastående motståndskraft mot hög temperatur och kemisk tröghet, vilket gör den till ett idealiskt val för miljöer som kännetecknas av förhöjda temperaturer och korrosiva förhållanden. Vi är fast beslutna att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser och ser fram emot att vara din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganLPE SiC Epi Halfmoon av VeTek Semiconductor, en revolutionerande produkt designad för att höja LPE-reaktorns SiC-epitaxiprocesser. Denna banbrytande lösning har flera nyckelfunktioner som säkerställer överlägsen prestanda och effektivitet genom hela din tillverkningsverksamhet. Ser fram emot att etablera ett långsiktigt samarbete med dig.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är en ledande leverantör av TaC-beläggningar och SiC-beläggningsgrafitdelar. Vi är specialiserade på produktion av banbrytande LED EPI-susceptorer, väsentliga för LED-epitaxiprocesser. Med stort fokus på innovation och kvalitet erbjuder vi tillförlitliga lösningar som möter LED-industrins högt ställda krav. Kontakta oss idag för att diskutera dina frågor och upptäcka hur våra produkter kan förbättra dina tillverkningsprocesser.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är en heltäckande leverantör involverad i forskning, utveckling, produktion, design och försäljning av TaC-beläggningar och SiC-beläggningsdelar. Vår expertis ligger i produktionen av toppmodern MOCVD-susceptor med TaC-beläggning, som spelar en viktig roll i LED-epitaxiprocessen. Välkommen att diskutera med oss frågor och ytterligare information.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är en integrerad leverantör som är engagerad i forskning och utveckling, produktion, design och försäljning av TaC-beläggningar. Vi är specialiserade på tillverkning av kantskärande TaC-belagda UV LED-susceptorer, som är avgörande komponenter i LED-epitaxiprocessen. Vår TaC Coated Deep UV LED Susceptor erbjuder hög värmeledningsförmåga, hög mekanisk hållfasthet, förbättrad produktionseffektivitet och epitaxiellt waferskydd. Välkommen att fråga oss.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är den ledande tillverkaren och leverantören i Kina för Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, vi specialiserade oss på FoU och produktion, kan kontrollera kvaliteten väl och erbjuda ett konkurrenskraftigt pris. Du är välkommen att besöka vår fabrik för vidare diskussion om ett långsiktigt samarbete.
Läs merSkicka förfrågan