MOCVD-susceptor med TaC-beläggning

VeTek Semiconductor är en ledande kinesisk tillverkare, leverantör och exportör som specialiserat sig på MOCVD-susceptor med TaC-beläggning. Du är välkommen att komma till vår fabrik för att köpa de senaste säljande, låga priserna och högkvalitativa MOCVD-susceptorerna med TaC-beläggning. Vi ser fram emot att samarbeta med dig.

LED-epitaxi står inför utmaningar som kristallkvalitetskontroll, materialval och matchning, strukturell design och optimering, processkontroll och konsistens samt ljusextraktionseffektivitet. Att välja rätt bärmaterial för epitaxiwafer är avgörande, och beläggning av den med tantalkarbid (TaC) tunnfilm (TaC-beläggning) ger ytterligare fördelar.

När du väljer ett bärmaterial för epitaxiskivor måste flera nyckelfaktorer beaktas:

Temperaturtolerans och kemisk stabilitet: LED-epitaxiprocesser involverar höga temperaturer och kan involvera användning av kemikalier. Därför är det nödvändigt att välja material med god temperaturtolerans och kemisk stabilitet för att säkerställa bärarens stabilitet i hög temperatur och kemiska miljöer.

Ytans planhet och slitstyrka: Ytan på epitaxiskivans bärare bör ha god planhet för att säkerställa jämn kontakt och stabil tillväxt av epitaxiskivan. Dessutom är slitstyrka viktigt för att förhindra ytskador och nötning.

Värmeledningsförmåga: Att välja ett material med god värmeledningsförmåga hjälper till att avleda värme effektivt, bibehålla en stabil tillväxttemperatur för epitaxiskiktet och förbättra processstabilitet och konsistens.

I detta avseende erbjuder beläggning av epitaxiskivans bärare med TaC följande fördelar:

Högtemperaturstabilitet: TaC-beläggning uppvisar utmärkt högtemperaturstabilitet, vilket gör att den kan behålla sin struktur och prestanda under epitaxiprocesser vid hög temperatur och ger överlägsen temperaturtolerans.

Kemisk stabilitet: TaC-beläggning är resistent mot korrosion från vanliga kemikalier och atmosfärer, skyddar bäraren från kemisk nedbrytning och förbättrar dess hållbarhet.

Hårdhet och slitstyrka: TaC-beläggning har hög hårdhet och slitstyrka, vilket stärker ytan på epitaxiwaferbäraren, minskar skador och slitage och förlänger dess livslängd.

Värmeledningsförmåga: TaC-beläggning visar god värmeledningsförmåga, hjälper till med värmeavledning, upprätthåller en stabil tillväxttemperatur för epitaxiskiktet och förbättrar processstabilitet och konsistens.

Att därför välja en epitaxiwaferbärare med en TaC-beläggning hjälper till att möta utmaningarna med LED-epitaxi, vilket uppfyller kraven i högtemperatur- och kemiska miljöer. Denna beläggning erbjuder fördelar som högtemperaturstabilitet, kemisk stabilitet, hårdhet och slitstyrka samt värmeledningsförmåga, vilket bidrar till förbättrad prestanda, livslängd och produktionseffektivitet för epitaxiwaferbäraren.

Grundläggande fysikaliska egenskaper för TaC-beläggning:

VeTek Semiconductor Production Shop

Översikt över halvledarchipets epitaxiindustrikedja: