Kiselkarbid Wafer Chuck

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck använder de utmärkta egenskaperna hos Silicon Carbide-material för att möta de stränga kraven för halvledarproduktion, särskilt inom halvledarbearbetning som kräver extremt hög precision och tillförlitlighet.

I halvledarbearbetningsprocessen,Kiselkarbidhar utmärkt högtemperaturbeständighet (kan arbeta stabilt vid upp till 1400°C), låg konduktivitet (SiC har en relativt låg konduktivitet, vanligtvis 10^^-3S/m) och låg termisk expansionskoefficient (cirka 4,0 × 10^^-6/°C), vilket är ett oumbärligt och viktigt material, speciellt lämpligt för tillverkning av kiselkarbidwaferchuck.

Underepitaxiell tillväxtprocess, ett tunt lager av halvledarmaterial avsätts på ett substrat, vilket kräver absolut stabilitet från skivan för att säkerställa enhetliga och högkvalitativa filmavsättningsskikt. SiC Vacuum Chuck uppnår detta genom att skapa ett stadigt, konsekvent vakuumgrepp för att förhindra rörelse eller deformation av wafern.

Kiselkarbid Wafer Chuck erbjuder också utmärkt motståndskraft mot termisk chock. Snabba temperaturförändringar är vanliga vid halvledartillverkning, och material som inte tål dessa fluktuationer kan spricka, böjas eller gå sönder. Kiselkarbid har en låg termisk expansionskoefficient och kan bibehålla sin form och funktion även under drastiska temperaturförändringar, vilket säkerställer att wafern förblir säker under epitaxiprocessen utan rörelse eller felinriktning.

Dessutomepitaxiprocessinvolverar ofta reaktiva gaser och andra frätande kemikalier. Den kemiska trögheten hos SiC Wafer Chuck säkerställer att den inte påverkas av dessa tuffa miljöer, bibehåller dess prestanda och förlänger dess livslängd. Denna kemiska hållbarhet minskar inte bara frekvensen av byte av waferchuck, utan säkerställer också konsekvent produktprestanda över flera produktionscykler, vilket hjälper till att förbättra den övergripande effektiviteten och kostnadseffektiviteten för halvledartillverkningsprocessen.

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare och leverantör av Silicon Carbide Wafer Chuck-produkter i Kina. Vi kan tillhandahålla olika typer av Chuck-produkter som t.exPorös SiC keramisk chuck, Porös SiC vakuumchuck, Porös keramisk vakuumchuckochTaC-belagd chuck, etc. VeTek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla avancerad teknologi och produktlösningar för halvledarindustrin. Vi hoppas verkligen att bli din långsiktiga partner i Kina.

SEM DATA FÖR CVDSIC FILM KRISTALSTRUKTUR：

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck Butiker：