Keramisk beläggning av kiselkarbid

Vetek Semiconductor Keramisk beläggning av kiselkarbidär en högpresterande skyddsbeläggning gjord av extremt hårt och slitstarkt kiselkarbidmaterial (SiC), som ger utmärkt kemisk korrosionsbeständighet och hög temperaturstabilitet. Dessa egenskaper är avgörande i halvledarproduktion, så Silicon Carbide Ceramic Coating används i stor utsträckning på nyckelkomponenter i halvledartillverkningsutrustning.

Den specifika roll som Vetek Semiconductor Silicon Carbide Ceramic Coating spelar i halvledarproduktion ärenligt följande:

Förbättra utrustningens hållbarhet: Silicon Carbide Ceramic Coating ger utmärkt ytskydd för halvledartillverkningsutrustning med sin extremt höga hårdhet och slitstyrka. Speciellt i högtemperatur, mycket korrosiva processmiljöer, såsom kemisk ångavsättning (CVD) och plasmaetsning, kan keramisk beläggning av kiselkarbid effektivt förhindra skador på utrustningens yta på grund av kemisk erosion eller fysiskt slitage, vilket avsevärt förlänger livslängden för utrustningen och minska stilleståndstiden orsakad av frekventa utbyten och underhåll.

Förbättra processrenheten: I halvledartillverkningsprocessen kan alla små föroreningar orsaka produktdefekter. Den kemiska trögheten hos kiselkarbidkeramisk beläggning gör att den förblir stabil under extrema förhållanden, förhindrar materialet från att släppa partiklar eller föroreningar och säkerställer renheten i miljön under processen. Detta är särskilt viktigt för tillverkningssteg som kräver hög precision och hög renhet, såsom PECVD och jonimplantation.

Optimera värmehanteringen: I högtemperaturhalvledarbearbetning, såsom snabb termisk bearbetning (RTP) och oxidationsprocesser, möjliggör den höga värmeledningsförmågan hos Silicon Carbide Ceramic Coating en enhetlig temperaturfördelning inuti utrustningen. Detta hjälper till att minska termisk stress och materialdeformation orsakad av temperaturfluktuationer, och förbättrar därigenom produktens tillverkningsnoggrannhet och konsistens.

Stöd komplex processmiljö: I processer som kräver komplex atmosfärskontroll, såsom ICP-etsnings- och PSS-etsningsprocesser, säkerställer stabiliteten och oxidationsbeständigheten hos den keramiska beläggningsvärmaren av kiselkarbid utrustningens stabila prestanda under långvarig drift, vilket minskar risken för materialnedbrytning eller utrustning skador på grund av miljöförändringar.

Vetek Semiconductorfokuserar på att tillverka och leverera högpresterandeKeramisk beläggning av kiselkarbid, och har åtagit sig att tillhandahålla avancerad teknologi och produktlösningar för halvledarindustrin.Vi hoppas verkligen att vara din långsiktiga partner i Kina.

Grundläggande fysikaliska egenskaper hosKeramisk beläggning av kiselkarbid:

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Ceramic Coating butiker:

Översikt över halvledarchipets epitaxiindustrikedja: