värmare med keramisk beläggning av kiselkarbid

VeTek SemiconductorSilicon Carbide Ceramic Coating Heater är en värmare designad för höga temperaturer och tuffa miljöer. Den belägger ett lager av kiselkolkeramisk beläggning (SiC) på ytan av värmeelementet för att ge utrustningen utmärkt värmebeständighet, korrosionsbeständighet och värmeledningsförmåga. 

Keramisk beläggningsvärmare av kiselkarbidanvänds huvudsakligen i vakuumbeläggningsutrustning (avdunstning). De vanligaste metoderna är PCD (Plasma Chemical Drying) och PVD (Physical vapor deposition), som används i stor utsträckning inom halvledartillverkning och andra industriella tillämpningar med hög efterfrågan.

Kombinerat med den högpresterande beläggningsdesignen hos Silicon Carbide Ceramic Coating Heater,det kan ge en utmärkt uppvärmningslösning för processer med hög temperatur.

Utmärkt värmeledningsförmåga: SiC-material har utmärkt värmeledningsförmåga, vilket säkerställer att värmaren kan uppnå jämn värmefördelning i arbetsområdet och minska temperaturgradienter.

Ge jämn värmefördelning: Keramisk beläggningsvärmare av kiselkarbid använder SiC-materialets höga värmeledningsförmåga för att uppnå en jämn temperaturfördelning i hela uppvärmningsområdet. Detta är avgörande för att säkerställa enhetlig värmebehandling av halvledarskivor i olika högtemperaturprocesser såsom snabb termisk bearbetning (RTP), diffusion och oxidation, för att undvika produktdefekter orsakade av lokal överhettning eller ojämn temperatur.

Hög temperaturtolerans: SiC-beläggning gör att värmaren tål extremt höga temperaturer, vanligtvis upp till 1600°C, lämplig för olika högtemperaturprocesser.

Förbättra värmebeständigheten: Eftersom beläggningen tål extremt höga temperaturer, fungerar den bra i processer som kräver långvarig drift vid hög temperatur. Till exempel, i processer för kemisk ångavsättning (CVD) kan Silicon Carbide Ceramic Coating Heater säkerställa långtidsstabil drift av utrustningen vid höga temperaturer och bibehålla konsekvent uppvärmningsprestanda, vilket förbättrar processens repeterbarhet och tillförlitlighet.

Kemisk korrosionsbeständighet: SiC-beläggning har extremt hög motståndskraft mot syra, alkali och korrosiva gaser och kan förbli stabil under lång tid i en komplex kemisk atmosfär, vilket förlänger utrustningens livslängd. 

Förlänger utrustningens livslängd: SiC-beläggning har utmärkt oxidationsbeständighet och korrosionsbeständighet, och kan effektivt motstå kemisk erosion och oxidation vid höga temperaturer. Detta är mycket kritiskt i halvledartillverkningsprocessen, särskilt i en miljö som hanterar korrosiva gaser och kemikalier. Beläggningens skyddande effekt kan avsevärt förlänga värmarens livslängd och minska frekvensen av utbyte av utrustning och underhållskostnader.

Grundläggande fysikaliska egenskaper hos kiselkarbidkeramisk beläggningsvärmare:

VeTek Semiconductor kiselkarbid keramiska värmare butiker:

Översikt över VeTek halvledarchips epitaxiindustrikedja: