> Produkter > Tantalkarbidbeläggning

Nya produkter

Kina Tantalkarbidbeläggning Tillverkare, leverantör, fabrik

VeTek semiconductor är en ledande tillverkare av tantalkarbidbeläggningsmaterial för halvledarindustrin. Våra huvudsakliga produkterbjudanden inkluderar CVD-tantalkarbidbeläggningsdelar, sintrade TaC-beläggningsdelar för SiC-kristalltillväxt eller halvledarepitaxiprocess. Godkänt ISO9001, VeTek Semiconductor har bra kontroll på kvaliteten. VeTek Semiconductor är dedikerade till att bli innovatör inom tantalkarbidbeläggningsindustrin genom pågående forskning och utveckling av iterativ teknologi.

Huvudprodukterna ärTantalkarbidbeläggningsdefektring, TaC-belagd avledningsring, TaC-belagda halvmånedelar, Tantalkarbidbelagd planetrotationsskiva (Aixtron G10), TaC-belagd degel; TaC-belagda ringar; TaC-belagd porös grafit; Tantalkarbidbeläggning grafitsusceptor; TaC-belagd styrring; TaC Tantalkarbidbelagd platta; TaC-belagd wafer-susceptor; TaC beläggningsring; TaC Coating Grafit Cover; TaC Coated Chunketc., renheten är under 5 ppm, kan uppfylla kundernas krav.

TaC-beläggningsgrafit skapas genom att belägga ytan på ett högrent grafitsubstrat med ett fint lager av tantalkarbid genom en patenterad process för kemisk ångavsättning (CVD). Fördelen visas på bilden nedan:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Tantalkarbidbeläggningen (TaC) har fått uppmärksamhet på grund av sin höga smältpunkt på upp till 3880°C, utmärkta mekaniska hållfasthet, hårdhet och motståndskraft mot termiska stötar, vilket gör den till ett attraktivt alternativ till sammansatta halvledarepitaxiprocesser med högre temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system och LPE SiC epitaxiprocess. Den har också en bred tillämpning i PVT-metoden SiC kristalltillväxtprocess.

Nyckelfunktioner:

Temperaturstabilitet

Ultrahög renhet

Motstånd mot H2, NH3, SiH4,Si

Motstånd mot termiskt material

Stark vidhäftning till grafit

Konform beläggningstäckning

Storlek upp till 750 mm diameter (den enda tillverkaren i Kina når denna storlek)

Ansökningar:

Waferbärare

Induktiv värmemottagare

Resistivt värmeelement

Satellitskiva

Duschhuvud

Styrring

LED Epi-mottagare

Insprutningsmunstycke

Maskeringsring

Värmesköld

Tantalkarbid (TaC) beläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parameter för VeTek Semiconductor Tantalkarbidbeläggning:

Fysiska egenskaper hos TaC-beläggning
Densitet	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsförmåga	0.3
Termisk expansionskoefficient	6,3 10^-6/K
Hårdhet (HK)	2000 HK
Motstånd	1×10^-5Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstorleken ändras	-10~-20um
Beläggningens tjocklek	≥20um typiskt värde (35um±10um)

TaC-beläggning EDX-data：

TaC coating EDX data

TaC beläggning kristallstruktur data

Element	Atomprocent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Genomsnitt
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk TaC belagd platta TaC Beläggning Rotationsplatta TaC-beläggningssusceptor CVD TaC-beläggningsskydd CVD TaC beläggningsring TaC beläggningsplatta

View as

Tantalkarbidbelagt rör för kristalltillväxt

VeTek Semiconductor är ett ledande tantalkarbidbelagt rör för Crystal Growth-tillverkare och innovatör i Kina. Vi har varit specialiserade på keramisk beläggning i många år. Våra produkter har en hög renhet och hög temperaturbeständighet. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

TaC-belagd ring för SiC epitaxialreaktor

VeTek Semiconductor är en storskalig TaC-belagd ring för SiC Epitaxial Reactor-tillverkare och innovatör i Kina. Vi har varit specialiserade på TaC-beläggning i många år. Våra produkter har hög renhet, hög stabilitet, utmärkt korrosionsbeständighet, hög bindningsstyrka. fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

Tantalkarbidbelagd halvmånedel för LPE

VeTek Semiconductor är en storskalig tantalkarbidbelagd Halfmoon Part för LPE-tillverkare och innovatör i Kina. Vi har varit specialiserade på TaC-beläggning i många år. Våra produkter tål temperaturer över 2000 grader Celsius, förlänger livslängden för förbrukningsvaror. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

TaC-belagd styrring

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare och innovatör av TaC-belagda styrringar i Kina. Vi har varit specialiserade på keramisk beläggning i många år. TaC-belagda styrringar används främst för att styra och kontrollera luftflödet, vilket ökar utbytet av enkristalltillväxt. Välkommen att fråga oss för mer information.

Läs mer Skicka förfrågan

Tantalkarbidbelagd planetrotationsskiva

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare och innovatör av tantalkarbidbelagda planetariska rotationsskivor i Kina. Vi har varit specialiserade på keramisk beläggning i många år. Våra produkter har en hög renhet och hög temperaturbeständighet. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner inom Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

TaC Coated Graphite Wafer Carrier

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare av TaC Coated Graphite Wafer Carrier och innovatör i Kina. Vi har varit specialiserade på SiC- och TaC-beläggning i många år. Vår TaC-belagda grafitwafer-bärare har högre temperaturbeständighet och slitstark. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

<...3 4 5 6 7 >

Som en professionell Tantalkarbidbeläggning tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att möta de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerade och hållbara Tantalkarbidbeläggning tillverkade i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.