TaC-belagd ring med tre kronblad

VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare och leverantör av TaC-belagda trebladiga ringar i Kina. Den TaC-belagda ringen med tre kronblad används i Aixtron G10-deponeringssystem för sammansatta halvledare, G10-GaN 150/200 mm epitaxi med hög genomströmning för GaN-kraft och RF applikationer.

VeTek Semiconductor TaC-beläggning är en ny generation av högtemperaturbeständigt material, med bättre högtemperaturstabilitet än SiC, som en korrosionsbeständig beläggning, oxidationsbeständig beläggning, slitstark beläggning, kan användas i miljöer över 2000 ℃, ofta används i Aerospace ultrahög temperatur varma änden delar, den tredje generationen av halvledare enkristall tillväxt och andra områden.

Produktfunktioner:

1. Hög renhet, föroreningshalt < 5 ppm

2. Hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, hög densitet, hög densitet

3. Det är kemiskt inert mot ammoniak, väte, silan och kisel vid hög temperatur och har god termisk stabilitet.

4. Termisk stötbeständighet, kan påskynda driftcykeln

5. Stark grafitvidhäftning säkerställer lång livslängd och ingen delaminering av beläggningen.

6. Strikta dimensionstoleranser.

Huvudapplikationer:

1. Epitaxiell tillväxt

2. Enkristalltillväxt

3. Korrosionsavledning vid hög temperatur

4. Hög temperatur och oxidationsbeständigt munstycke

5. Gasturbinblad

Produktparameter för den TaC-belagda ringen med tre kronblad

VeTek Semiconductor Production Shop