TaC Coating Guide Ring

VeTek Semiconductors TaC Coating Guide Ring skapas genom att applicera tantalkarbidbeläggning på grafitdelar med hjälp av en mycket avancerad teknik som kallas kemisk ångavsättning (CVD). Denna metod är väletablerad och erbjuder exceptionella beläggningsegenskaper. Genom att använda TaC Coating Guide Ring kan livslängden för grafitkomponenter avsevärt förlängas, rörelsen av grafitföroreningar kan undertryckas och SiC- och AIN-enkristallkvaliteten kan bibehållas tillförlitligt. Välkommen att fråga oss.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

VeTek Semiconductor är en professionell Kina TaC Coating Guide Ring, TaC coating Crucible, fröhållare tillverkare och leverantör.

TaC-beläggning Degel, fröhållare och TaC-beläggningsguidering i SiC- och AIN-enkristallugn odlades med PVT-metoden.

När den fysiska ångtransportmetoden (PVT) används för att framställa SiC, är frökristallen i området med relativt låg temperatur, och SiC-råmaterialet är i området med relativt hög temperatur (över 2400 ℃). Råmaterialnedbrytningen producerar SiXCy (främst inklusive Si, SiC₂, Si₂C, etc.). Ångfasmaterialet transporteras från högtemperaturområdet till groddkristallen i lågtemperaturområdet och kärnar och växer. Att bilda en enda kristall. De termiska fältmaterial som används i denna process, såsom degel, flödesstyrring, frökristallhållare, bör vara resistenta mot höga temperaturer och kommer inte att förorena SiC-råmaterial och SiC-enkristaller. På liknande sätt måste värmeelementen i tillväxten av AlN-enkristaller vara resistenta mot Al-ånga, N2-korrosion och måste ha en hög eutektisk temperatur (och AlN) för att förkorta kristallberedningsperioden.

Det visade sig att SiC och AlN som framställts av TaC-belagda grafittermiska fältmaterial var renare, nästan inget kol (syre, kväve) och andra föroreningar, färre kantdefekter, mindre resistivitet i varje region och mikropordensiteten och etsgropdensiteten var reducerades avsevärt (efter KOH-etsning), och kristallkvaliteten förbättrades avsevärt. Dessutom är viktminskningshastigheten för TaC-degeln nästan noll, utseendet är oförstörande, kan återvinnas (livslängd upp till 200 timmar), kan förbättra hållbarheten och effektiviteten hos en sådan enkristallberedning.

Produktparameter för TaC Coating Guide Ring:

Fysiska egenskaper hos TaC-beläggning
Densitet	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsförmåga	0.3
Termisk expansionskoefficient	6,3 10-6/K
Hårdhet (HK)	2000 HK
Motstånd	1×10-5 Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstorleken ändras	-10~-20um
Beläggningstjocklek	≥20um typiskt värde (35um±10um)