VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare och innovatör av tantalkarbidbelagda planetariska rotationsskivor i Kina. Vi har varit specialiserade på keramisk beläggning i många år. Våra produkter har en hög renhet och hög temperaturbeständighet. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner inom Kina.
Tantalkarbidbelagd planetrotationsskiva av hög kvalitet erbjuds av den kinesiska tillverkaren VeTek Semiconductor. KöpaTantalkarbidbelagdPlanetary Rotation Disk som är av hög kvalitet direkt till lågt pris.
Den tantalkarbidbelagda planetrotationsskivan är ett tillbehör designat för AIXTRON G10 MOCVD-systemet, som syftar till att förbättra effektiviteten och kvaliteten vid halvledartillverkning. Tillverkad av högkvalitativa material och tillverkad med precision, erbjuder den tantalkarbidbelagda planetrotationsskivan enastående prestanda och tillförlitlighet förMetall-organisk kemisk ångavsättning (MOCVD) processer.
Planetskivan är konstruerad med ett grafitsubstrat belagt medCVD TaCger utmärkt termisk stabilitet, hög renhet och motståndskraft mot höga temperaturer.
Planetary Disk är anpassningsbar för att passa olika storlekar på halvledarskivor och passar för olika produktionskrav. Dess robusta konstruktion är speciellt utformad för att motstå de krävande driftsförhållandena för MOCVD-systemet, vilket säkerställer långvarig prestanda och minimerar stillestånds- och underhållskostnader förknippade med waferbärare och susceptorer.
Med Planetary Disk, denAIXTRON G10 MOCVD-systemkan uppnå högre effektivitet och överlägsna resultat vid halvledartillverkning. Dess exceptionella termiska stabilitet, kompatibilitet med olika waferstorlekar och pålitliga prestanda gör den till ett viktigt verktyg för att optimera produktionseffektiviteten och uppnå enastående resultat i den utmanande MOCVD-miljön.
Fysiska egenskaper hos TaC-beläggning | |
Densitet | 14,3 (g/cm³) |
Specifik emissionsförmåga | 0.3 |
Termisk expansionskoefficient | 6,3*10-6/K |
Hårdhet (HK) | 2000 HK |
Motstånd | 1×10-5Ohm*cm |
Termisk stabilitet | <2500℃ |
Grafitstorleken ändras | -10~-20um |
Beläggningens tjocklek | ≥20um typiskt värde (35um±10um) |