Tantalkarbidbelagd halvmånedel för LPE

VeTek Semiconductor är en storskalig tantalkarbidbelagd Halfmoon Part för LPE-tillverkare och innovatör i Kina. Vi har varit specialiserade på TaC-beläggning i många år. Våra produkter tål temperaturer över 2000 grader Celsius, förlänger livslängden för förbrukningsvaror. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Som professionell tillverkare vill VeTek Semiconductor ge dig högkvalitativ tantalkarbidbelagd halvmånedel för LPE.

VeTek Semiconductor är en professionell ledare i Kina SiC, TaC-beläggning, solid SiC-tillverkare med hög kvalitet och rimligt pris. Vår tantalkarbidbelagda halvmånedel för LPE används i reaktionskammaren för horisontell och vertikal epitaxiutrustning för att bära substrat, temperaturkontroll, värme bevarande, ventilation, skydd och andra funktioner, för att gemensamt kontrollera tjockleken, dopningen, defekterna och andra materialegenskaper hos SiC-epitaxskiktets tillväxt inuti reaktionskammaren.

VeTek Semiconductor-relaterade produkter: övre halvmåne, nedre halvmåne, skyddskåpa, isoleringshölje, gränssnitt för avledning av processluft. Vårt företag har åtagit sig att förse kunderna med ett komplett utbud av reaktionskammare SiC-belagda och TaC-belagda komponentlösningar.

Produktparameter för den tantalkarbidbelagda halvmåndelen för LPE

Fysiska egenskaper hos TaC-beläggning
Densitet	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsförmåga	0.3
Termisk expansionskoefficient	6,3 10-6/K
Hårdhet (HK)	2000 HK
Motstånd	1×10-5 Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstorleken ändras	-10~-20um
Beläggningstjocklek	≥20um typiskt värde (35um±10um)