TaC beläggningsplatta

Du kan vara säker på att köpa TaC Coating Plate från vår fabrik. Vår TaC Coating Plate fungerar som en nyckeldel i Semiconductor Epitaxy-reaktorn, vilket hjälper till med utmärkt epitaxiallagerutbyte och tillväxteffektivitet. Förbättra produktkvaliteten.

För produktion av nya halvledare med hårdare och tuffare beredningsmiljöer, såsom beredning av den tredje huvudgruppen nitridepitaxiella plåten (GaN) genom metall-organisk kemisk ångavsättning (MOCVD), och beredning av SiC epitaxiella tillväxtfilmer med kemisk ånga deposition (CVD) eroderas av gaser som H2 och NH3 i högtemperaturmiljöer. SiC- och BN-skyddsskikten på ytan av befintliga tillväxtbärare eller gaskanaler kan misslyckas på grund av deras inblandning i kemiska reaktioner, vilket negativt påverkar kvaliteten på produkter som kristaller och halvledare. Därför är det nödvändigt att hitta ett material med bättre kemisk stabilitet och korrosionsbeständighet som ett skyddande lager för att förbättra kvaliteten på kristaller, halvledare och andra produkter. Tantalkarbid har utmärkta fysikaliska och kemiska egenskaper, på grund av rollen av starka kemiska bindningar, dess kemiska stabilitet vid höga temperaturer och korrosionsbeständighet är mycket högre än SiC, BN, etc., är en stor applikationsutsikt för korrosionsbeständighet, termisk stabilitet enastående beläggning .

VeTek Semiconductor har avancerad produktionsutrustning och perfekt kvalitetsledningssystem, strikt processkontroll för att säkerställa TaC-beläggningen i partier av prestandakonsistens, företaget har storskalig produktionskapacitet, för att möta kundernas behov i stora mängder utbud, perfekt kvalitetsövervakning mekanism för att säkerställa kvaliteten på varje produkt stabil och pålitlig.

Produktparameter för TaC-beläggningsplattan:

Industriell kedja:

Produktionsbutik