Tantalkarbidbelagd chuck

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare av tantalkarbidbelagda chuckar och innovatör i Kina. Vi har varit specialiserade på TaC-beläggning i många år. Våra produkter har en hög renhet och hög temperaturbeständighet upp till 2000 ℃. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

VeTek Semiconductor levererar högkvalitativ tantalkarbidbelagd chuck, SiC-beläggningsdelar till konkurrenskraftiga priser. Välkommen att fråga oss.VeTek Semiconductor tantalkarbidbelagd chuck, speciellt designad för AIXTRON G10 MOCVD-systemet. Detta tillbehör förbättrar effektiviteten och kvaliteten i halvledartillverkning, vilket ger enastående prestanda och tillförlitlighet.

Tillverkad av högkvalitativa material och tillverkad med precision, har chucken ett grafitsubstrat belagt med CVD-tantalkarbid (TaC). Denna beläggning ger utmärkt termisk stabilitet, hög renhet och motståndskraft mot höga temperaturer. Det säkerställer tillförlitlig prestanda under krävande förhållanden för MOCVD-processer.

Chucken är anpassningsbar för att rymma olika storlekar på halvledarskivor, vilket gör den lämplig för olika produktionskrav. Dess robusta konstruktion minimerar driftstopp och underhållskostnader förknippade med waferbärare och susceptorer.

Med VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Chuck, uppnår AIXTRON G10 MOCVD-systemet högre effektivitet och överlägsna resultat vid halvledartillverkning. Dess exceptionella termiska stabilitet, kompatibilitet med olika waferstorlekar och pålitliga prestanda gör den till ett viktigt verktyg för att optimera produktionseffektiviteten och uppnå enastående resultat i den utmanande MOCVD-miljön.

Produktparameter för tantalkarbidbelagd chuck

Fysiska egenskaper hos TaC-beläggning
Densitet	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsförmåga	0.3
Termisk expansionskoefficient	6,3 10-6/K
Hårdhet (HK)	2000 HK
Motstånd	1×10-5 Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstorleken ändras	-10~-20um
Beläggningstjocklek	≥20um typiskt värde (35um±10um)