> Produkter > Tantalkarbidbeläggning

Nya produkter

Kina Tantalkarbidbeläggning Tillverkare, leverantör, fabrik

VeTek semiconductor är en ledande tillverkare av tantalkarbidbeläggningsmaterial för halvledarindustrin. Våra huvudsakliga produkterbjudanden inkluderar CVD-tantalkarbidbeläggningsdelar, sintrade TaC-beläggningsdelar för SiC-kristalltillväxt eller halvledarepitaxiprocess. Godkänt ISO9001, VeTek Semiconductor har bra kontroll på kvaliteten. VeTek Semiconductor är dedikerade till att bli innovatör inom tantalkarbidbeläggningsindustrin genom pågående forskning och utveckling av iterativ teknologi.

Huvudprodukterna ärTantalkarbidbeläggningsdefektring, TaC-belagd avledningsring, TaC-belagda halvmånedelar, Tantalkarbidbelagd planetrotationsskiva (Aixtron G10), TaC-belagd degel; TaC-belagda ringar; TaC-belagd porös grafit; Tantalkarbidbeläggning grafitsusceptor; TaC-belagd styrring; TaC Tantalkarbidbelagd platta; TaC-belagd wafer-susceptor; TaC beläggningsring; TaC Coating Grafit Cover; TaC Coated Chunketc., renheten är under 5 ppm, kan uppfylla kundernas krav.

TaC-beläggningsgrafit skapas genom att belägga ytan på ett högrent grafitsubstrat med ett fint lager av tantalkarbid genom en patenterad process för kemisk ångavsättning (CVD). Fördelen visas på bilden nedan:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Tantalkarbidbeläggningen (TaC) har fått uppmärksamhet på grund av sin höga smältpunkt på upp till 3880°C, utmärkta mekaniska hållfasthet, hårdhet och motståndskraft mot termiska stötar, vilket gör den till ett attraktivt alternativ till sammansatta halvledarepitaxiprocesser med högre temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system och LPE SiC epitaxiprocess. Den har också en bred tillämpning i PVT-metoden SiC kristalltillväxtprocess.

Nyckelfunktioner:

Temperaturstabilitet

Ultrahög renhet

Motstånd mot H2, NH3, SiH4,Si

Motstånd mot termiskt material

Stark vidhäftning till grafit

Konform beläggningstäckning

Storlek upp till 750 mm diameter (den enda tillverkaren i Kina når denna storlek)

Ansökningar:

Waferbärare

Induktiv värmemottagare

Resistivt värmeelement

Satellitskiva

Duschhuvud

Styrring

LED Epi-mottagare

Insprutningsmunstycke

Maskeringsring

Värmesköld

Tantalkarbid (TaC) beläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parameter för VeTek Semiconductor Tantalkarbidbeläggning:

Fysiska egenskaper hos TaC-beläggning
Densitet	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsförmåga	0.3
Termisk expansionskoefficient	6,3 10^-6/K
Hårdhet (HK)	2000 HK
Motstånd	1×10^-5Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstorleken ändras	-10~-20um
Beläggningens tjocklek	≥20um typiskt värde (35um±10um)

TaC-beläggning EDX-data：

TaC coating EDX data

TaC beläggning kristallstruktur data

Element	Atomprocent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Genomsnitt
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk TaC belagd platta TaC Beläggning Rotationsplatta TaC-beläggningssusceptor CVD TaC-beläggningsskydd CVD TaC beläggningsring TaC beläggningsplatta

View as

CVD TaC beläggningsring

VeTek Semiconductors CVD TaC-beläggningsring är en mycket fördelaktig komponent utformad för att möta de krävande kraven för kiselkarbid (SiC) kristalltillväxtprocesser. CVD TaC-beläggningsringen ger enastående motståndskraft mot hög temperatur och kemisk tröghet, vilket gör den till ett idealiskt val för miljöer som kännetecknas av förhöjda temperaturer och korrosiva förhållanden. Vi är fast beslutna att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser och ser fram emot att vara din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

LPE SiC EPI Halfmoon

LPE SiC Epi Halfmoon av VeTek Semiconductor, en revolutionerande produkt designad för att höja LPE-reaktorns SiC-epitaxiprocesser. Denna banbrytande lösning har flera nyckelfunktioner som säkerställer överlägsen prestanda och effektivitet genom hela din tillverkningsverksamhet. Ser fram emot att etablera ett långsiktigt samarbete med dig.

Läs mer Skicka förfrågan

LED EPI-mottagare

VeTek Semiconductor är en ledande leverantör av TaC-beläggningar och SiC-beläggningsgrafitdelar. Vi är specialiserade på produktion av banbrytande LED EPI-susceptorer, väsentliga för LED-epitaxiprocesser. Med stort fokus på innovation och kvalitet erbjuder vi tillförlitliga lösningar som möter LED-industrins högt ställda krav. Kontakta oss idag för att diskutera dina frågor och upptäcka hur våra produkter kan förbättra dina tillverkningsprocesser.

Läs mer Skicka förfrågan

MOCVD-susceptor med TaC-beläggning

VeTek Semiconductor är en heltäckande leverantör involverad i forskning, utveckling, produktion, design och försäljning av TaC-beläggningar och SiC-beläggningsdelar. Vår expertis ligger i produktionen av toppmodern MOCVD-susceptor med TaC-beläggning, som spelar en viktig roll i LED-epitaxiprocessen. Välkommen att diskutera med oss frågor och ytterligare information.

Läs mer Skicka förfrågan

TaC-belagd djup UV LED-susceptor

VeTek Semiconductor är en integrerad leverantör som är engagerad i forskning och utveckling, produktion, design och försäljning av TaC-beläggningar. Vi är specialiserade på tillverkning av kantskärande TaC-belagda UV LED-susceptorer, som är avgörande komponenter i LED-epitaxiprocessen. Vår TaC Coated Deep UV LED Susceptor erbjuder hög värmeledningsförmåga, hög mekanisk hållfasthet, förbättrad produktionseffektivitet och epitaxiellt waferskydd. Välkommen att fråga oss.

Läs mer Skicka förfrågan

Tantalkarbid TaC-belagd Halfmoon

VeTek Semiconductor är den ledande tillverkaren och leverantören i Kina för Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, vi specialiserade oss på FoU och produktion, kan kontrollera kvaliteten väl och erbjuda ett konkurrenskraftigt pris. Du är välkommen att besöka vår fabrik för vidare diskussion om ett långsiktigt samarbete.

Läs mer Skicka förfrågan

<...3 4 5 6 7 >

Som en professionell Tantalkarbidbeläggning tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att möta de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerade och hållbara Tantalkarbidbeläggning tillverkade i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.