> Produkter > Tantalkarbidbeläggning

Nya produkter

Kina Tantalkarbidbeläggning Tillverkare, leverantör, fabrik

VeTek semiconductor är en ledande tillverkare av tantalkarbidbeläggningsmaterial för halvledarindustrin. Våra huvudsakliga produkterbjudanden inkluderar CVD-tantalkarbidbeläggningsdelar, sintrade TaC-beläggningsdelar för SiC-kristalltillväxt eller halvledarepitaxiprocess. Godkänt ISO9001, VeTek Semiconductor har bra kontroll på kvaliteten. VeTek Semiconductor är dedikerade till att bli innovatör inom tantalkarbidbeläggningsindustrin genom pågående forskning och utveckling av iterativ teknologi.

Huvudprodukterna ärTantalkarbidbeläggningsdefektring, TaC-belagd avledningsring, TaC-belagda halvmånedelar, Tantalkarbidbelagd planetrotationsskiva (Aixtron G10), TaC-belagd degel; TaC-belagda ringar; TaC-belagd porös grafit; Tantalkarbidbeläggning grafitsusceptor; TaC-belagd styrring; TaC Tantalkarbidbelagd platta; TaC-belagd wafer-susceptor; TaC beläggningsring; TaC Coating Grafit Cover; TaC Coated Chunketc., renheten är under 5 ppm, kan uppfylla kundernas krav.

TaC-beläggningsgrafit skapas genom att belägga ytan på ett högrent grafitsubstrat med ett fint lager av tantalkarbid genom en patenterad process för kemisk ångavsättning (CVD). Fördelen visas på bilden nedan:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Tantalkarbidbeläggningen (TaC) har fått uppmärksamhet på grund av sin höga smältpunkt på upp till 3880°C, utmärkta mekaniska hållfasthet, hårdhet och motståndskraft mot termiska stötar, vilket gör den till ett attraktivt alternativ till sammansatta halvledarepitaxiprocesser med högre temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system och LPE SiC epitaxiprocess. Den har också en bred tillämpning i PVT-metoden SiC kristalltillväxtprocess.

Nyckelfunktioner:

Temperaturstabilitet

Ultrahög renhet

Motstånd mot H2, NH3, SiH4,Si

Motstånd mot termiskt material

Stark vidhäftning till grafit

Konform beläggningstäckning

Storlek upp till 750 mm diameter (den enda tillverkaren i Kina når denna storlek)

Ansökningar:

Waferbärare

Induktiv värmemottagare

Resistivt värmeelement

Satellitskiva

Duschhuvud

Styrring

LED Epi-mottagare

Insprutningsmunstycke

Maskeringsring

Värmesköld

Tantalkarbid (TaC) beläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parameter för VeTek Semiconductor Tantalkarbidbeläggning:

Fysiska egenskaper hos TaC-beläggning
Densitet	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsförmåga	0.3
Termisk expansionskoefficient	6,3 10^-6/K
Hårdhet (HK)	2000 HK
Motstånd	1×10^-5Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstorleken ändras	-10~-20um
Beläggningens tjocklek	≥20um typiskt värde (35um±10um)

TaC-beläggning EDX-data：

TaC coating EDX data

TaC beläggning kristallstruktur data

Element	Atomprocent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Genomsnitt
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk TaC belagd platta TaC Beläggning Rotationsplatta TaC-beläggningssusceptor CVD TaC-beläggningsskydd CVD TaC beläggningsring TaC beläggningsplatta

View as

TaC Coating Reservdel

VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare av TaC Coating Plate och andra TaC Coating reservdelar i Kina. TaC Coating används för närvarande främst i processer som kiselkarbid enkristalltillväxt (PVT-metoden), epitaxialskiva (inklusive kiselkarbidepitaxi, LED-epitaxi) etc. Kombinerat med den goda långtidsstabiliteten hos TaC Coating Plate, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate har blivit riktmärket för TaC Coating reservdelar. Vi ser fram emot att du blir vår långsiktiga partner.

Läs mer Skicka förfrågan

GaN på SiC epi-acceptor

VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare av GaN på SiC epi susceptor, CVD SiC beläggning och CVD TAC COATING grafit susceptor i Kina. Bland dem spelar GaN på SiC epi-susceptor en viktig roll i halvledarbearbetning. Genom sin utmärkta värmeledningsförmåga, högtemperaturbearbetningsförmåga och kemiska stabilitet säkerställer den den höga effektiviteten och materialkvaliteten hos GaN epitaxial tillväxtprocess. Vi ser verkligen fram emot din fortsatta konsultation.

Läs mer Skicka förfrågan

CVD TaC Coating Carrier

VeTek Semiconductors CVD TaC Coating-bärare är huvudsakligen designad för den epitaxiella processen vid halvledartillverkning. CVD TaC Coating-bärarens ultrahöga smältpunkt, utmärkta korrosionsbeständighet och enastående termisk stabilitet avgör denna produkts oumbärlighet i halvledarepitaxialprocesser. Vi hoppas verkligen kunna bygga en långsiktig affärsrelation med dig.

Läs mer Skicka förfrågan

TaC Coating Guide Ring

VeTek Semiconductors TaC Coating Guide Ring skapas genom att applicera tantalkarbidbeläggning på grafitdelar med hjälp av en mycket avancerad teknik som kallas kemisk ångavsättning (CVD). Denna metod är väletablerad och erbjuder exceptionella beläggningsegenskaper. Genom att använda TaC Coating Guide Ring kan livslängden för grafitkomponenter avsevärt förlängas, rörelsen av grafitföroreningar kan undertryckas och SiC- och AIN-enkristallkvaliteten kan bibehållas tillförlitligt. Välkommen att fråga oss.

Läs mer Skicka förfrågan

TaC-belagd grafitsusceptor

VeTek Semiconductors TaC Coated Graphite Susceptor använder kemisk ångavsättningsmetod (CVD) för att förbereda tantalkarbidbeläggning på ytan av grafitdelar. Denna process är den mest mogna och har de bästa beläggningsegenskaperna. TaC Coated Graphite Susceptor kan förlänga livslängden för grafitkomponenter, hämma migreringen av grafitföroreningar och säkerställa kvaliteten på epitaxi. VeTek Semiconductor ser fram emot din förfrågan.

Läs mer Skicka förfrågan

TaC Coating Susceptor

VeTek Semiconductor presenterar TaC Coating Susceptor, Med sin exceptionella TaC-beläggning erbjuder denna susceptor en mängd fördelar som skiljer den från konventionella lösningar. TaC Coating Susceptor från VeTek Semiconductor är sömlöst integrerad i befintliga system och garanterar kompatibilitet och effektiv drift. Dess pålitliga prestanda och högkvalitativa TaC-beläggning levererar konsekvent exceptionella resultat i SiC-epitaxprocesser. Vi är fast beslutna att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser och ser fram emot att vara din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

<1 2 3 4 5...7 >

Som en professionell Tantalkarbidbeläggning tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att möta de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerade och hållbara Tantalkarbidbeläggning tillverkade i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.