> Produkter > Tantalkarbidbeläggning

Nya produkter

Kina Tantalkarbidbeläggning Tillverkare, leverantör, fabrik

VeTek semiconductor är en ledande tillverkare av tantalkarbidbeläggningsmaterial för halvledarindustrin. Våra huvudsakliga produkterbjudanden inkluderar CVD-tantalkarbidbeläggningsdelar, sintrade TaC-beläggningsdelar för SiC-kristalltillväxt eller halvledarepitaxiprocess. Godkänt ISO9001, VeTek Semiconductor har bra kontroll på kvaliteten. VeTek Semiconductor är dedikerade till att bli innovatör inom tantalkarbidbeläggningsindustrin genom pågående forskning och utveckling av iterativ teknologi.

Huvudprodukterna ärTantalkarbidbeläggningsdefektring, TaC-belagd avledningsring, TaC-belagda halvmånedelar, Tantalkarbidbelagd planetrotationsskiva (Aixtron G10), TaC-belagd degel; TaC-belagda ringar; TaC-belagd porös grafit; Tantalkarbidbeläggning grafitsusceptor; TaC-belagd styrring; TaC Tantalkarbidbelagd platta; TaC-belagd wafer-susceptor; TaC beläggningsring; TaC Coating Grafit Cover; TaC Coated Chunketc., renheten är under 5 ppm, kan uppfylla kundernas krav.

TaC-beläggningsgrafit skapas genom att belägga ytan på ett högrent grafitsubstrat med ett fint lager av tantalkarbid genom en patenterad process för kemisk ångavsättning (CVD). Fördelen visas på bilden nedan:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Tantalkarbidbeläggningen (TaC) har fått uppmärksamhet på grund av sin höga smältpunkt på upp till 3880°C, utmärkta mekaniska hållfasthet, hårdhet och motståndskraft mot termiska stötar, vilket gör den till ett attraktivt alternativ till sammansatta halvledarepitaxiprocesser med högre temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system och LPE SiC epitaxiprocess. Den har också en bred tillämpning i PVT-metoden SiC kristalltillväxtprocess.

Nyckelfunktioner:

Temperaturstabilitet

Ultrahög renhet

Motstånd mot H2, NH3, SiH4,Si

Motstånd mot termiskt material

Stark vidhäftning till grafit

Konform beläggningstäckning

Storlek upp till 750 mm diameter (den enda tillverkaren i Kina når denna storlek)

Ansökningar:

Waferbärare

Induktiv värmemottagare

Resistivt värmeelement

Satellitskiva

Duschhuvud

Styrring

LED Epi-mottagare

Insprutningsmunstycke

Maskeringsring

Värmesköld

Tantalkarbid (TaC) beläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parameter för VeTek Semiconductor Tantalkarbidbeläggning:

Fysiska egenskaper hos TaC-beläggning
Densitet	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsförmåga	0.3
Termisk expansionskoefficient	6,3 10^-6/K
Hårdhet (HK)	2000 HK
Motstånd	1×10^-5Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstorleken ändras	-10~-20um
Beläggningens tjocklek	≥20um typiskt värde (35um±10um)

TaC-beläggning EDX-data：

TaC coating EDX data

TaC beläggning kristallstruktur data

Element	Atomprocent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Genomsnitt
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk TaC belagd platta TaC Beläggning Rotationsplatta TaC-beläggningssusceptor CVD TaC-beläggningsskydd CVD TaC beläggningsring TaC beläggningsplatta

View as

CVD TaC beläggningsdegel

VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare och ledare av CVD TaC Coating Crucible-produkter i Kina. CVD TaC Coating Crucible är baserad på tantalkol (TaC) beläggning. Tantalkolbeläggningen täcks jämnt på ytan av degeln genom process för kemisk ångavsättning (CVD) för att förbättra dess värmebeständighet och korrosionsbeständighet. Det är ett materialverktyg speciellt använt i extrema miljöer med hög temperatur. Välkommen med din fortsatta konsultation.

Läs mer Skicka förfrågan

CVD TaC Coating Wafer Carrier

Som en professionell CVD TaC Coating Wafer Carrier-produkttillverkare och fabrik i Kina, är VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier ett waferbärande verktyg speciellt designat för högtemperatur- och korrosiva miljöer inom halvledartillverkning. Denna produkt har hög mekanisk styrka, utmärkt korrosionsbeständighet och termisk stabilitet, vilket ger den nödvändiga garantin för tillverkning av högkvalitativa halvledarenheter. Dina ytterligare förfrågningar är välkomna.

Läs mer Skicka förfrågan

TaC beläggningsvärmare

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare och innovatör av TaC Coating Heater i Kina. Denna produkt har en extremt hög smältpunkt (ca 3880°C). Den höga smältpunkten för TaC Coating Heater gör att den kan arbeta vid extremt höga temperaturer, särskilt vid tillväxten av galliumnitrid (GaN) epitaxiella skikt i processen för metallorganisk kemisk ångavsättning (MOCVD). VeTek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla avancerad teknologi och produktlösningar för halvledarindustrin. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

TaC-belagd chuck

Som en professionell tillverkare och leverantör av TaC Coated Chuck i Kina är VeTek Semiconductors TaC Coating Chuck speciellt utformad för halvledarugnar. Med sin höga temperaturbeständighet, kemiska tröghet och utmärkta prestanda ger Vetek Semiconductors innovativa teknologi en pålitlig lösning för halvledartillverkningsindustrin för att säkerställa högkvalitativa produktionsstandarder. Vi tror att våra produkter kan ge dig avancerad teknik och högkvalitativa produktlösningar.

Läs mer Skicka förfrågan

TaC beläggningsrör

Som en professionell tillverkare och leverantör av TaC Coating Tube i Kina är VeTek Semiconductors TaC-beläggningsrör en nyckelkomponent för den framgångsrika tillväxten av enkristaller av kiselkarbid. Med sin höga temperaturbeständighet, kemiska tröghet och utmärkta prestanda säkerställer den produktionen av högkvalitativa kristaller med konsekventa resultat. Lita på våra innovativa lösningar för att förbättra din PVT-metod SiC-kristalltillväxtprocess och uppnå utmärkta resultat. Välkommen att fråga oss.

Läs mer Skicka förfrågan

CVD TAC beläggning

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare, innovatör och ledare för CVD TAC Coating i Kina. Under många år har vi fokuserat på olika CVD TAC Coating-produkter såsom CVD TaC-beläggningsskydd, CVD TaC-beläggningsring, CVD TaC Coating-bärare, etc. VeTek Semiconductor stödjer kundanpassade produkttjänster och tillfredsställande produktpriser, och ser fram emot din fortsatta samråd.

Läs mer Skicka förfrågan

<1 2 3 4 5...7 >

Som en professionell Tantalkarbidbeläggning tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att möta de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerade och hållbara Tantalkarbidbeläggning tillverkade i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.