CVD TaC beläggningsdegel

TaC beläggning Rotation Susceptor spelar en nyckelroll i högtemperaturavsättningsprocesser som CVD och MBE, och är en viktig komponent för waferbearbetning vid halvledartillverkning. Bland dem,TaC beläggninghar utmärkt hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet och kemisk stabilitet, vilket säkerställer hög precision och hög kvalitet under waferbearbetning.

CVD TaC Coating Crucible består vanligtvis av TaC Coating ochgrafitsubstrat. Bland dem är TaC ett keramiskt material med hög smältpunkt med en smältpunkt på upp till 3880°C. Den har extremt hög hårdhet (Vickers hårdhet upp till 2000 HV), kemisk korrosionsbeständighet och stark oxidationsbeständighet. Därför är TaC Coating ett utmärkt högtemperaturbeständigt material inom halvledarprocessteknik.

Grafitsubstratet har god värmeledningsförmåga (värmeledningsförmåga är ca 21 W/m·K) och utmärkt mekanisk stabilitet. Denna egenskap avgör att grafit blir en idealisk beläggningsubstrat.

CVD TaC Coating Crucible används huvudsakligen i följande halvledarbearbetningsteknologier:

Wafer tillverkning: VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Crucible har utmärkt högtemperaturbeständighet (smältpunkt upp till 3880°C) och korrosionsbeständighet, så den används ofta i viktiga wafertillverkningsprocesser såsom högtemperaturångavsättning (CVD) och epitaxiell tillväxt. Kombinerat med produktens utmärkta strukturella stabilitet i miljöer med ultrahöga temperaturer säkerställer det att utrustningen kan fungera stabilt under lång tid under extremt tuffa förhållanden, vilket effektivt förbättrar produktionseffektiviteten och kvaliteten på wafers.

Epitaxiell tillväxtprocess: I epitaxiella processer som t.exkemisk ångavsättning (CVD)och molekylär strålepitaxi (MBE), CVD TaC Coating Crucible spelar en nyckelroll i bärandet. Dess TaC-beläggning kan inte bara bibehålla materialets höga renhet under extrem temperatur och korrosiv atmosfär, utan också effektivt förhindra kontaminering av reaktanterna på materialet och korrosion av reaktorn, vilket säkerställer noggrannheten i produktionsprocessen och produktkonsistens.

Som Kinas ledande CVD TaC Coating Crucible-tillverkare och ledare kan VeTek Semiconductor tillhandahålla skräddarsydda produkter och tekniska tjänster enligt dina utrustnings- och processkrav. Vi hoppas verkligen att bli din långsiktiga partner i Kina.

Tantalkarbid (TaC) beläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt：

Fysiska egenskaper hos TaC-beläggning：

VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Crucible butiker: