TaC Coating Reservdel

VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare av TaC Coating Plate och andra TaC Coating reservdelar i Kina. TaC Coating används för närvarande främst i processer som kiselkarbid enkristalltillväxt (PVT-metoden), epitaxialskiva (inklusive kiselkarbidepitaxi, LED-epitaxi) etc. Kombinerat med den goda långtidsstabiliteten hos TaC Coating Plate, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate har blivit riktmärket för TaC Coating reservdelar. Vi ser fram emot att du blir vår långsiktiga partner.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

VeTek SemiconductorTaC beläggningsplattaär ett speciellt material som ofta används ihalvledaretillverkningsprocessen. I kombination med dess höga hårdhet och slitstyrka, hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, låga friktionskoefficient och goda värmeledningsförmåga, spelar TaC Coating Plate en oersättlig roll i många länkar av halvledarbearbetning.

Generellt gäller tillämpningar avTaC-belagda plattori halvledarbearbetning är följande:

CVD/ALD-tillväxtsubstrat: Den höga temperaturbeständigheten, den kemiska stabiliteten och den låga friktionskoefficienten hos TaC-belagda plattor gör dem till idealiska CVD/ALD-tillväxtsubstrat. Det kan ge en stabil tillväxtmiljö för att säkerställa filmens enhetlighet och densitet.

Etsande maskplatta: Den höga hårdheten och korrosionsbeständigheten hos TaC-belagda plattor gör att de kan motstå högenergiprocesser som plasmaetsning, som etsmaskplattor, vilket skyddar den underliggande filmen.

CMP polerplatta: Slitstyrkan och den låga friktionskoefficienten hos TaC-belagda plattor gör dem till idealiska material för CMP-polerkuddar, som effektivt kan ta bort partiklar och defekter på filmens yta.

Högtemperaturugnsrör: Den höga temperaturbeständigheten och korrosionsbeständigheten hos TaC-belagda plattor gör att de kan användas som ugnsrör i högtemperaturugnar för högtemperaturglödgning, diffusion och andra processer.

Kombinerat med produktens egenskaperTaC beläggningsplatta, fastställer det att denna produkt spelar en oersättlig nyckelroll för att förbättra enhetens prestanda, förlänga utrustningens livslängd och förbättra produktionseffektiviteten.

Som en professionell tillverkare avGaN på SiC epi-acceptor, Porös grafitochTaC beläggningsplattai Kina insisterar VeTek Semiconductor alltid på att tillhandahålla skräddarsydda produkttjänster och har åtagit sig att förse branschen med toppteknologi och produktlösningar. Vi ser verkligen fram emot din fortsatta konsultation.

CVD TAC COATING Tekniska parametrar：