CVD TaC Coating Carrier

VeTek Semiconductor är en professionell ledande Kina CVD TaC Coating bärare, EPITAXY SUSCEPTOR, TaC Coated Graphite Susceptor tillverkare.

Genom kontinuerlig process- och materialinnovationsforskning spelar Vetek Semiconductors CVD TaC-beläggningsbärare en mycket kritisk roll i den epitaxiella processen, huvudsakligen inklusive följande aspekter:

Underlagsskydd: CVD TaC-beläggningsbärare ger utmärkt kemisk stabilitet och termisk stabilitet, vilket effektivt förhindrar höga temperaturer och korrosiva gaser från att erodera substratet och reaktorns innervägg, vilket säkerställer renheten och stabiliteten i processmiljön.

Termisk enhetlighet: I kombination med den höga värmeledningsförmågan hos CVD TaC-beläggningsbäraren säkerställer den enhetligheten i temperaturfördelningen i reaktorn, optimerar kristallkvaliteten och tjocklekslikformigheten hos det epitaxiella lagret och förbättrar prestandakonsistensen hos slutprodukten.

Kontroll av partikelkontamination: Eftersom CVD TaC-belagda bärare har extremt låga partikelgenereringshastigheter, minskar de släta ytegenskaperna avsevärt risken för partikelkontamination, vilket förbättrar renheten och utbytet under epitaxiell tillväxt.

Utrustningens livslängd förlängs: I kombination med den utmärkta slitstyrkan och korrosionsbeständigheten hos CVD TaC-beläggningsbäraren, förlänger den avsevärt livslängden för reaktionskammarkomponenterna, minskar utrustningens stilleståndstid och underhållskostnader och förbättrar produktionseffektiviteten.

Genom att kombinera ovanstående egenskaper, förbättrar VeTek Semiconductors CVD TaC Coating-bärare inte bara tillförlitligheten i processen och kvaliteten på produkten i den epitaxiella tillväxtprocessen, utan ger också en kostnadseffektiv lösning för halvledartillverkning.

Fysiska egenskaper hos CVD TaC Coating Carrier:

CVD SiC Coating Production Shop:

Översikt över halvledarchipets epitaxiindustrikedja: