TaC Coating Piedestal Stödplatta

VeTek Semiconductor är en kinesisk tillverkare och leverantör som huvudsakligen producerar CVD TaC-beläggningssusceptorer, inloppsring, Wafer Chunck, TaC-belagd hållare, TaC Coating Pedestal Support Plate med många års erfarenhet. Hoppas att bygga affärsrelationer med dig.

TaC-keramik har en smältpunkt på upp till 3880 ℃, hög hårdhet (Mohs hårdhet 9 ~ 10), stor värmeledningsförmåga (22W·m-1·K−1), stor böjhållfasthet (340 ~ 400MPa) och liten värmeutvidgning koefficient (6,6×10−6K−1), och visar utmärkt termokemisk stabilitet och utmärkta fysikaliska egenskaper. Den har god kemisk och mekanisk kompatibilitet med grafit- och C/C-kompositmaterial, så TaC-beläggning används i stor utsträckning inom flyg- och rymdvärmeskydd, enkristalltillväxt och epitaxiella reaktorer som Aixtron, LPE EPI-reaktor i halvledarindustrin. TaC-belagd grafit har bättre kemisk korrosionsbeständighet än nakna stenbläck eller SiC-belagd grafit, kan användas stabilt vid 2200° hög temperatur, reagerar inte med många metallelement, är den tredje generationen av halvledarenkristalltillväxt, epitaxi och waferetsningsscen av den bästa prestandabeläggningen, kan avsevärt förbättra processen för temperatur- och föroreningskontroll, Beredning av högkvalitativa kiselkarbidskivor och relaterade epitaxiella wafers. Den är särskilt lämplig för att odla GaN eller AlN enkristall i MOCVD-utrustning och SiC-enkristall i PVT-utrustning, och kvaliteten på den odlade enkristallen är uppenbarligen förbättrad.

TaC-beläggning och SiC-beläggning Reservdelar vi kan göra:

Parameter för TaC-beläggning:

Industriell kedja:

Produktionsbutik