> Produkter > Silikonkarbidbeläggning > Silikonepitaxi > SiC-belagd pannkakssusceptor för LPE PE3061S 6'' wafers

Nya produkter

SiC-belagd pannkakssusceptor för LPE PE3061S 6'' wafers

VeTek Semiconductor är en ledande SiC-belagd pannkakssusceptor för LPE PE3061S 6-tums wafers tillverkare och innovatör i Kina. Vi har varit specialiserade på SiC-beläggningsmaterial i många år. Vi erbjuder en SiC-belagd pannkakssusceptor designad speciellt för LPE PE3061S 6-tums wafers . Denna epitaxiella susceptor har hög korrosionsbeständighet, bra värmeledningsprestanda, god enhetlighet. Vi välkomnar dig att besöka vår fabrik i Kina.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Som den professionella tillverkaren vill VeTek Semiconductor ge dig högkvalitativ SiC-belagd pannkakssusceptor för LPE PE3061S 6'' wafers.

VeTeK Semiconductor SiC Coated Pancake Susceptor för LPE PE3061S 6" wafers är en kritisk utrustning som används i halvledartillverkningsprocesser.

SiC-belagd pannkakssusceptor för LPE PE3061S 6" wafers Produktegenskaper:

Högtemperaturstabilitet: SiC uppvisar utmärkt högtemperaturstabilitet och bibehåller sin struktur och prestanda i högtemperaturmiljöer.

Enastående värmeledningsförmåga: SiC har exceptionell värmeledningsförmåga, vilket möjliggör snabb och jämn värmeöverföring för snabb och jämn uppvärmning.

Korrosionsbeständighet: SiC har utmärkt kemisk stabilitet, motstår korrosion och oxidation i olika uppvärmningsmiljöer.

Jämn värmefördelning: SiC-belagd waferbärare ger jämn värmefördelning, vilket säkerställer jämn temperatur över skivans yta under uppvärmning.

Lämplig för halvledarproduktion: Si-epitaxi-waferbärare används i stor utsträckning i halvledartillverkningsprocesser, särskilt för Si-epitaxväxt och andra högtemperaturuppvärmningsprocesser.

Produktfördelar:

Förbättrad produktionseffektivitet: SiC-belagd pannkakssusceptor möjliggör snabb och enhetlig uppvärmning, minskar uppvärmningstiden och förbättrar produktionseffektiviteten.

Säkerställd produktkvalitet: Enhetlig värmefördelning säkerställer konsistens under bearbetning av wafer, vilket leder till förbättrad produktkvalitet.

Förlängd utrustningslivslängd: SiC-material erbjuder utmärkt värmebeständighet och kemisk stabilitet, vilket bidrar till en längre livslängd för pannkaksupptagaren.

Skräddarsydda lösningar: SiC-belagd susceptor, Si-epitaxi-waferbärare kan skräddarsys till olika storlekar och specifikationer baserat på kundens krav.

SEM data and structure of CVD SIC films

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning:

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning
Egendom	Typiskt värde
Kristallstruktur	FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad
Densitet	3,21 g/cm³
Hårdhet	2500 Vickers hårdhet（500g belastning）
kornstorlek	2~10μm
Kemisk renhet	99,99995 %
Värmekapacitet	640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Böjningsstyrka	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt böj, 1300℃
Värmeledningsförmåga	300W·m-1·K-1
Termisk expansion (CTE)	4,5×10-6K-1

VeTek Semiconductor Production Shop

Översikt över halvledarchipets epitaxiindustrikedja:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

Hot Tags: SiC-belagd pannkakssusceptor för LPE PE3061S 6'' wafers, Kina, tillverkare, leverantör, fabrik, anpassad, köp, avancerad, hållbar, tillverkad i Kina

Produkttagg

Relaterad kategori