VeTek Semiconductor specialiserar sig på produktion av ultrarena Silicon Carbide Coating-produkter, dessa beläggningar är designade för att appliceras på renad grafit, keramik och eldfasta metallkomponenter.
Våra beläggningar med hög renhet är främst avsedda för användning inom halvledar- och elektronikindustrin. De fungerar som ett skyddande lager för waferbärare, susceptorer och värmeelement, och skyddar dem från korrosiva och reaktiva miljöer som påträffas i processer som MOCVD och EPI. Dessa processer är integrerade i waferbearbetning och tillverkning av enheter. Dessutom är våra beläggningar väl lämpade för tillämpningar i vakuumugnar och provuppvärmning, där högvakuum, reaktiva och syremiljöer förekommer.
På VeTek Semiconductor erbjuder vi en heltäckande lösning med våra avancerade maskinverkstadsmöjligheter. Detta gör det möjligt för oss att tillverka baskomponenterna med grafit, keramik eller eldfasta metaller och applicera SiC- eller TaC-keramiska beläggningar internt. Vi tillhandahåller också beläggningstjänster för kundlevererade delar, vilket säkerställer flexibilitet för att möta olika behov.
Våra kiselkarbidbeläggningsprodukter används ofta i Si-epitaxi, SiC-epitaxi, MOCVD-system, RTP/RTA-process, etsningsprocess, ICP/PSS-etsningsprocess, process av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup UV LED mm, som är anpassad till utrustning från LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI och så vidare.
Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning | |
Egendom | Typiskt värde |
Kristallstruktur | FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad |
Densitet | 3,21 g/cm³ |
Hårdhet | 2500 Vickers hårdhet (500 g belastning) |
kornstorlek | 2~10μm |
Kemisk renhet | 99,99995 % |
Värmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
Böjningsstyrka | 415 MPa RT 4-punkts |
Youngs modul | 430 Gpa 4pt böj, 1300℃ |
Värmeledningsförmåga | 300W·m-1·K-1 |
Termisk expansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
CVD SiC-beläggningsringen är en av de viktiga delarna av halvmånedelarna. Tillsammans med andra delar bildar den SiC epitaxial tillväxtreaktionskammare. VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare och leverantör av CVD SiC-beläggningsringar. Enligt kundens designkrav kan vi tillhandahålla motsvarande CVD SiC-beläggningsring till det mest konkurrenskraftiga priset. VeTek Semiconductor ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är en ledande tillverkare och innovatör av CVD SiC Coated Barrel Susceptor i Kina. Vår CVD SiC Coated Barrel Susceptor spelar en nyckelroll för att främja den epitaxiella tillväxten av halvledarmaterial på wafers med dess utmärkta produktegenskaper. Välkommen till din vidare konsultation.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är en ledande tillverkare och leverantör av MOCVD SiC-beläggningssusceptorer i Kina, med fokus på FoU och produktion av SiC-beläggningsprodukter under många år. Våra MOCVD SiC-beläggningssusceptorer har utmärkt hög temperaturtolerans, god värmeledningsförmåga och låg värmeutvidgningskoefficient, vilket spelar en nyckelroll för att stödja och värma kisel- eller kiselkarbidskivor (SiC) och enhetlig gasavsättning. Välkommen att konsultera vidare.
Läs merSkicka förfråganSom en professionell halvledartillverkare och leverantör kan VeTek Semiconductor tillhandahålla en mängd olika grafitkomponenter som krävs för SiC epitaxiella tillväxtsystem. Dessa SiC-beläggningshalvmånegrafitdelar är designade för gasinloppssektionen av epitaxialreaktorn och spelar en viktig roll för att optimera halvledartillverkningsprocessen. VeTek Semiconductor strävar alltid efter att ge kunderna de bästa kvalitetsprodukterna till de mest konkurrenskraftiga priserna. VeTek Semiconductor ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor Hot Zone grafitvärmare är designad för att hantera extrema förhållanden i högtemperaturugnar och bibehålla utmärkt prestanda och stabilitet i komplexa processer som kemisk ångavsättning (CVD), epitaxiell tillväxt och högtemperaturglödgning. VeTekSemi fokuserar alltid på att producera och tillhandahålla högkvalitativa Hot Zone-grafitvärmare för att säkerställa bästa kostnadseffektivitet för kunderna. Vi inbjuder dig verkligen att kontakta oss.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är en ledande tillverkare och leverantör av VEECO MOCVD värmeprodukter i Kina. MOCVD-värmare har utmärkt kemisk renhet, termisk stabilitet och korrosionsbeständighet. Det är en oumbärlig produkt i processen för metallorganisk kemisk ångavsättning (MOCVD). Välkommen till dina ytterligare förfrågningar.
Läs merSkicka förfrågan