VeTek Semiconductor specialiserar sig på produktion av ultrarena Silicon Carbide Coating-produkter, dessa beläggningar är designade för att appliceras på renad grafit, keramik och eldfasta metallkomponenter.
Våra beläggningar med hög renhet är främst avsedda för användning inom halvledar- och elektronikindustrin. De fungerar som ett skyddande lager för waferbärare, susceptorer och värmeelement, och skyddar dem från korrosiva och reaktiva miljöer som påträffas i processer som MOCVD och EPI. Dessa processer är integrerade i waferbearbetning och tillverkning av enheter. Dessutom är våra beläggningar väl lämpade för tillämpningar i vakuumugnar och provuppvärmning, där högvakuum, reaktiva och syremiljöer förekommer.
På VeTek Semiconductor erbjuder vi en heltäckande lösning med våra avancerade maskinverkstadsmöjligheter. Detta gör det möjligt för oss att tillverka baskomponenterna med grafit, keramik eller eldfasta metaller och applicera SiC- eller TaC-keramiska beläggningar internt. Vi tillhandahåller också beläggningstjänster för kundlevererade delar, vilket säkerställer flexibilitet för att möta olika behov.
Våra kiselkarbidbeläggningsprodukter används ofta i Si-epitaxi, SiC-epitaxi, MOCVD-system, RTP/RTA-process, etsningsprocess, ICP/PSS-etsningsprocess, process av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup UV LED mm, som är anpassad till utrustning från LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI och så vidare.
Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning | |
Egendom | Typiskt värde |
Kristallstruktur | FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad |
Densitet | 3,21 g/cm³ |
Hårdhet | 2500 Vickers hårdhet (500 g belastning) |
kornstorlek | 2~10μm |
Kemisk renhet | 99,99995 % |
Värmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
Böjningsstyrka | 415 MPa RT 4-punkts |
Youngs modul | 430 Gpa 4pt böj, 1300℃ |
Värmeledningsförmåga | 300W·m-1·K-1 |
Termisk expansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare av Epi Wafer Holder och fabrik i Kina. Epi Wafer Holder är en waferhållare för epitaxiprocessen vid halvledarbearbetning. Det är ett nyckelverktyg för att stabilisera wafern och säkerställa enhetlig tillväxt av det epitaxiella lagret. Det används ofta i epitaxiutrustning som MOCVD och LPCVD. Det är en oersättlig enhet i epitaxiprocessen. Välkommen med din fortsatta konsultation.
Läs merSkicka förfråganSom en professionell Aixtron Satellite Wafer Carrier-produkttillverkare och innovatör i Kina, är VeTek Semiconductors Aixtron Satellite Wafer Carrier en wafer-bärare som används i AIXTRON-utrustning, främst används i MOCVD-processer i halvledarbearbetning, och är särskilt lämplig för hög temperatur och hög precision halvledarbearbetningsprocesser. Bäraren kan ge stabilt waferstöd och enhetlig filmavsättning under MOCVD epitaxiell tillväxt, vilket är väsentligt för skiktavsättningsprocessen. Välkommen med din fortsatta konsultation.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är en professionell LPE Halfmoon SiC EPI Reactor-produkttillverkare, innovatör och ledare i Kina. LPE Halfmoon SiC EPI Reactor är en enhet speciellt designad för att producera epitaxiella skikt av högkvalitativ kiselkarbid (SiC), huvudsakligen som används inom halvledarindustrin. VeTek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla ledande teknologi och produktlösningar för halvledarindustrin och välkomnar dina ytterligare förfrågningar.
Läs merSkicka förfråganSom en professionell tillverkare och leverantör av Aixtron MOCVD Susceptor i Kina används Vetek Semiconductors Aixtron MOCVD Susceptor i stor utsträckning i tunnfilmsavsättningsprocessen för halvledarproduktion, särskilt i samband med MOCVD-processen. Vetek Semiconductor fokuserar på att tillverka och leverera högpresterande Aixtron MOCVD Susceptor-produkter. Välkommen med din förfrågan.
Läs merSkicka förfråganSom en professionell tillverkare och leverantör av kiselkarbidkeramisk beläggning av grafitvärmare i Kina, är Silicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heater en högpresterande värmare gjord av grafitsubstrat och belagd med silikonkolkeramisk (SiC) beläggning på dess yta. Med sin kompositmaterialdesign ger denna produkt utmärkta värmelösningar vid halvledartillverkning. Välkommen med din förfrågan.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är en professionell tillverkare av kiselkarbidkeramisk beläggningsvärmare i Kina. Den keramiska beläggningsvärmaren av kiselkarbid är huvudsakligen utformad för den höga temperaturen och den hårda miljön vid tillverkning av halvledartillverkning. Dess ultrahöga smältpunkt, utmärkta korrosionsbeständighet och enastående värmeledningsförmåga avgör denna produkts oumbärlighet i halvledarproduktionsprocessen. Vi hoppas verkligen kunna etablera en långsiktig affärsrelation med dig.
Läs merSkicka förfrågan