Hem > Produkter > Silikonkarbidbeläggning

Kina Silikonkarbidbeläggning Tillverkare, leverantör, fabrik

VeTek Semiconductor specialiserar sig på produktion av ultrarena Silicon Carbide Coating-produkter, dessa beläggningar är designade för att appliceras på renad grafit, keramik och eldfasta metallkomponenter.

Våra beläggningar med hög renhet är främst avsedda för användning inom halvledar- och elektronikindustrin. De fungerar som ett skyddande lager för waferbärare, susceptorer och värmeelement, och skyddar dem från korrosiva och reaktiva miljöer som påträffas i processer som MOCVD och EPI. Dessa processer är integrerade i waferbearbetning och tillverkning av enheter. Dessutom är våra beläggningar väl lämpade för tillämpningar i vakuumugnar och provuppvärmning, där högvakuum, reaktiva och syremiljöer förekommer.

På VeTek Semiconductor erbjuder vi en heltäckande lösning med våra avancerade maskinverkstadsmöjligheter. Detta gör det möjligt för oss att tillverka baskomponenterna med grafit, keramik eller eldfasta metaller och applicera SiC- eller TaC-keramiska beläggningar internt. Vi tillhandahåller också beläggningstjänster för kundlevererade delar, vilket säkerställer flexibilitet för att möta olika behov.

Våra kiselkarbidbeläggningsprodukter används ofta i Si-epitaxi, SiC-epitaxi, MOCVD-system, RTP/RTA-process, etsningsprocess, ICP/PSS-etsningsprocess, process av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup UV LED mm, som är anpassad till utrustning från LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI och så vidare.


Reaktordelar vi kan göra:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Kiselkarbidbeläggning flera unika fördelar:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter:

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning
Egendom Typiskt värde
Kristallstruktur FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad
Densitet 3,21 g/cm³
Hårdhet 2500 Vickers hårdhet (500 g belastning)
kornstorlek 2~10μm
Kemisk renhet 99,99995 %
Värmekapacitet 640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur 2700 ℃
Böjningsstyrka 415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul 430 Gpa 4pt böj, 1300℃
Värmeledningsförmåga 300W·m-1·K-1
Termisk expansion (CTE) 4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
SiC-beläggning ALD-susceptor

SiC-beläggning ALD-susceptor

Som en professionell tillverkare och leverantör av ALD-susceptorer för SiC-beläggning i Kina, är VeTek Semiconductors ALD-susceptor för SiC-beläggning en stödkomponent som specifikt används i processen för atomskiktsavsättning (ALD). Den spelar en nyckelroll i ALD-utrustningen och säkerställer enhetlighet och precision i deponeringsprocessen. Vi tror att våra ALD Planetary Susceptor-produkter kan ge dig högkvalitativa produktlösningar.

Läs merSkicka förfrågan
SiC Coating Epi-mottagare

SiC Coating Epi-mottagare

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare, innovatör och ledare av SiC Coating Epi Susceptor-produkter i Kina. Under många år har vi fokuserat på olika SiC Coating produkter såsom SiC Coating Epi Susceptor, SiC Coating Wafer Carrier, SiC Coating Susceptor, SiC coating ALD susceptor, etc. VeTek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla avancerad teknologi och produktlösningar för halvledaren industri. Välkommen med din fortsatta konsultation.

Läs merSkicka förfrågan
CVD SiC-belagd kjol

CVD SiC-belagd kjol

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare, innovatör och ledare av CVD SiC Coating och TAC Coating i Kina. Under många år har vi fokuserat på olika CVD SiC-beläggningsprodukter såsom CVD SiC-belagd kjol, CVD SiC-beläggningsring, CVD SiC-beläggningsbärare, etc. VeTek Semiconductor stödjer kundanpassade produkttjänster och tillfredsställande produktpriser, och ser fram emot din fortsatta samråd.

Läs merSkicka förfrågan
UV LED Epi Susceptor

UV LED Epi Susceptor

Som en ledande kinesisk tillverkare och ledare av halvledarprodukter har VeTek Semiconductor fokuserat på olika typer av suceptorprodukter såsom UV LED Epi Susceptor, Deep-UV LED Epitaxial Susceptor, SiC Coating Susceptor, MOCVD Susceptor, etc. i många år. VeTek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla avancerad teknologi och produktlösningar för halvledarindustrin, och vi ser verkligen fram emot att bli din partner i Kina.

Läs merSkicka förfrågan
CVD SiC Coating Baffel

CVD SiC Coating Baffel

Vetek Semiconductors CVD SiC Coating Baffle används huvudsakligen i Si Epitaxi. Det används vanligtvis med kiselförlängningsfat. Den kombinerar den unika höga temperaturen och stabiliteten hos CVD SiC Coating Baffle, vilket avsevärt förbättrar den enhetliga fördelningen av luftflödet vid halvledartillverkning. Vi tror att våra produkter kan ge dig avancerad teknologi och högkvalitativa produktlösningar.

Läs merSkicka förfrågan
CVD SiC grafitcylinder

CVD SiC grafitcylinder

Vetek Semiconductors CVD SiC grafitcylinder är central i halvledarutrustning och fungerar som en skyddande sköld i reaktorer för att skydda interna komponenter i hög temperatur och tryck. Det skyddar effektivt mot kemikalier och extrem värme och bevarar utrustningens integritet. Med exceptionell slitage- och korrosionsbeständighet säkerställer den lång livslängd och stabilitet i utmanande miljöer. Att använda dessa höljen förbättrar halvledarenhetens prestanda, förlänger livslängden och minskar underhållskrav och skaderisker. Välkommen att fråga oss.

Läs merSkicka förfrågan
<...56789...15>
Som en professionell Silikonkarbidbeläggning tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att möta de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerade och hållbara Silikonkarbidbeläggning tillverkade i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept