VeTek Semiconductor specialiserar sig på produktion av ultrarena Silicon Carbide Coating-produkter, dessa beläggningar är designade för att appliceras på renad grafit, keramik och eldfasta metallkomponenter.
Våra beläggningar med hög renhet är främst avsedda för användning inom halvledar- och elektronikindustrin. De fungerar som ett skyddande lager för waferbärare, susceptorer och värmeelement, och skyddar dem från korrosiva och reaktiva miljöer som påträffas i processer som MOCVD och EPI. Dessa processer är integrerade i waferbearbetning och tillverkning av enheter. Dessutom är våra beläggningar väl lämpade för tillämpningar i vakuumugnar och provuppvärmning, där högvakuum, reaktiva och syremiljöer förekommer.
På VeTek Semiconductor erbjuder vi en heltäckande lösning med våra avancerade maskinverkstadsmöjligheter. Detta gör det möjligt för oss att tillverka baskomponenterna med grafit, keramik eller eldfasta metaller och applicera SiC- eller TaC-keramiska beläggningar internt. Vi tillhandahåller också beläggningstjänster för kundlevererade delar, vilket säkerställer flexibilitet för att möta olika behov.
Våra kiselkarbidbeläggningsprodukter används ofta i Si-epitaxi, SiC-epitaxi, MOCVD-system, RTP/RTA-process, etsningsprocess, ICP/PSS-etsningsprocess, process av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup UV LED mm, som är anpassad till utrustning från LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI och så vidare.
Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning | |
Egendom | Typiskt värde |
Kristallstruktur | FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad |
Densitet | 3,21 g/cm³ |
Hårdhet | 2500 Vickers hårdhet (500 g belastning) |
kornstorlek | 2~10μm |
Kemisk renhet | 99,99995 % |
Värmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
Böjningsstyrka | 415 MPa RT 4-punkts |
Youngs modul | 430 Gpa 4pt böj, 1300℃ |
Värmeledningsförmåga | 300W·m-1·K-1 |
Termisk expansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
ALD-process, betyder Atomic Layer Epitaxi-process. Vetek Semiconductor- och ALD-systemtillverkare har utvecklat och producerat SiC-belagda ALD Planetary Susceptorer som uppfyller de höga kraven i ALD-processen för att jämnt fördela luftflödet över substratet. Samtidigt säkerställer Vetek Semiconductors högrenhet CVD SiC-beläggning renhet i processen. Välkommen att diskutera samarbete med oss.
Läs merSkicka förfråganVetek Semiconductor fokuserar på forskning och utveckling och industrialisering av CVD SiC-beläggning och CVD TaC-beläggning. Om man tar SiC-beläggningssusceptor som ett exempel, är produkten mycket bearbetad med hög precision, tät CVD SIC-beläggning, hög temperaturbeständighet och stark korrosionsbeständighet. En förfrågan till oss är välkommen.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor fokuserar på forskning och utveckling och industrialisering av CVD-SiC-bulkkällor, CVD SiC-beläggningar och CVD TaC-beläggningar. Om man tar CVD SiC-block för SiC Crystal Growth som ett exempel, är produktbearbetningstekniken avancerad, tillväxthastigheten är snabb, hög temperaturbeständighet och korrosionsbeständigheten är stark. Välkommen att höra av dig.
Läs merSkicka förfråganVetek Semiconductors kiselkarbid med ultrahög renhet (SiC) som bildas genom kemisk ångavsättning (CVD) kan användas som källmaterial för att odla kiselkarbidkristaller genom fysisk ångtransport (PVT). I SiC Crystal Growth New Technology laddas källmaterialet i en degel och sublimeras på en frökristall. Använd de kasserade CVD-SiC-blocken för att återvinna materialet som en källa för att växa SiC-kristaller. Välkommen att etablera ett samarbete med oss.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är en ledande CVD SiC-duschhuvudtillverkare och innovatör i Kina. Vi har varit specialiserade på SiC-material i många år.CVD SiC-duschhuvud är valt som ett fokuseringsmaterial på grund av dess utmärkta termokemiska stabilitet, höga mekaniska hållfasthet och motståndskraft mot plasmaerosion.Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är en ledande tillverkare och innovatör av SiC-duschhuvuden i Kina. Vi har varit specialiserade på SiC-material i många år. SiC-duschhuvudet är valt som ett fokuseringsmaterial på grund av dess utmärkta termokemiska stabilitet, höga mekaniska hållfasthet och motståndskraft mot plasmaerosion .Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfrågan