Kina Silikonkarbidbeläggning Tillverkare, leverantör, fabrik

VeTek Semiconductor specialiserar sig på produktion av ultrarena Silicon Carbide Coating-produkter, dessa beläggningar är designade för att appliceras på renad grafit, keramik och eldfasta metallkomponenter.

Våra beläggningar med hög renhet är främst avsedda för användning inom halvledar- och elektronikindustrin. De fungerar som ett skyddande lager för waferbärare, susceptorer och värmeelement, och skyddar dem från korrosiva och reaktiva miljöer som påträffas i processer som MOCVD och EPI. Dessa processer är integrerade i waferbearbetning och tillverkning av enheter. Dessutom är våra beläggningar väl lämpade för tillämpningar i vakuumugnar och provuppvärmning, där högvakuum, reaktiva och syremiljöer förekommer.

På VeTek Semiconductor erbjuder vi en heltäckande lösning med våra avancerade maskinverkstadsmöjligheter. Detta gör det möjligt för oss att tillverka baskomponenterna med grafit, keramik eller eldfasta metaller och applicera SiC- eller TaC-keramiska beläggningar internt. Vi tillhandahåller också beläggningstjänster för kundlevererade delar, vilket säkerställer flexibilitet för att möta olika behov.

Våra kiselkarbidbeläggningsprodukter används ofta i Si-epitaxi, SiC-epitaxi, MOCVD-system, RTP/RTA-process, etsningsprocess, ICP/PSS-etsningsprocess, process av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup UV LED mm, som är anpassad till utrustning från LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI och så vidare.

Reaktordelar vi kan göra:

Kiselkarbidbeläggning flera unika fördelar:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter:

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning
Egendom	Typiskt värde
Kristallstruktur	FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad
Densitet	3,21 g/cm³
Hårdhet	2500 Vickers hårdhet (500 g belastning)
kornstorlek	2~10μm
Kemisk renhet	99,99995 %
Värmekapacitet	640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Böjningsstyrka	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt böj, 1300℃
Värmeledningsförmåga	300W·m-1·K-1
Termisk expansion (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

MOCVD-acceptor

Vetek Semiconductor fokuserar på forskning och utveckling och industrialisering av CVD SiC-beläggning och CVD TaC-beläggning. Om man tar MOCVD Susceptor som ett exempel, är produkten mycket bearbetad med hög precision, tät CVD SIC-beläggning, hög temperaturbeständighet och stark korrosionsbeständighet. En förfrågan till oss är välkommen.

Läs mer Skicka förfrågan

Förvärmningsring

VeTek Semiconductor är en innovatör av SiC-beläggningstillverkaren i Kina. Pre-Heat Ring från VeTek Semiconductor är designad för epitaxiprocess. Den enhetliga kiselkarbidbeläggningen och högkvalitativa grafitmaterial som råmaterial säkerställer konsekvent avsättning och förbättrar kvaliteten och enhetligheten hos det epitaxiella lagret. Vi ser fram emot att etablera ett långsiktigt samarbete med dig.

Läs mer Skicka förfrågan

Wafer Lift Pin

VeTek Semiconductor är en ledande EPI Wafer Lift Pin-tillverkare och innovatör i Kina. Vi har varit specialiserade på SiC-beläggning på yta av grafit i många år. Vi erbjuder en EPI Wafer Lift Pin för Epi-processen. Med hög kvalitet och konkurrenskraftigt pris välkomnar vi dig att besöka vår fabrik i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

SiC Coated Barrel Susceptor

VeTek Semiconductor erbjuder en omfattande uppsättning komponentlösningar för LPE-kiselepitaxreaktionskammare, som ger lång livslängd, stabil kvalitet och förbättrat utbyte av epitaxiallager. Vår produkt som SiC Coated Barrel Susceptor fick positionsfeedback från kunder. Vi tillhandahåller även teknisk support för Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy och mer. Fråga gärna för prisinformation.

Läs mer Skicka förfrågan

Om EPI-mottagaren

VeTek Semiconductor är en fabrik som kombinerar precisionsbearbetning och halvledar SiC- och TaC-beläggningskapacitet. Si Epi-susceptorn av typen Si Epi-susceptor ger temperatur- och atmosfärskontroll, vilket förbättrar produktionseffektiviteten i epitaxiella halvledartillväxtprocesser. Ser fram emot att upprätta en samarbetsrelation med dig.

Läs mer Skicka förfrågan

SiC-belagd Epi-receptor

Som den främsta inhemska tillverkaren av beläggningar av kiselkarbid och tantalkarbid kan VeTek Semiconductor tillhandahålla precisionsbearbetning och enhetlig beläggning av SiC Coated Epi Susceptor, vilket effektivt kontrollerar renheten hos beläggningen och produkten under 5 ppm. Produktens livslängd är jämförbar med den för SGL. Välkommen att fråga oss.

Läs mer Skicka förfrågan

<...9 10 11 12 13...15 >

Som en professionell Silikonkarbidbeläggning tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att möta de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerade och hållbara Silikonkarbidbeläggning tillverkade i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.