VeTek Semiconductor specialiserar sig på produktion av ultrarena Silicon Carbide Coating-produkter, dessa beläggningar är designade för att appliceras på renad grafit, keramik och eldfasta metallkomponenter.
Våra beläggningar med hög renhet är främst avsedda för användning inom halvledar- och elektronikindustrin. De fungerar som ett skyddande lager för waferbärare, susceptorer och värmeelement, och skyddar dem från korrosiva och reaktiva miljöer som påträffas i processer som MOCVD och EPI. Dessa processer är integrerade i waferbearbetning och tillverkning av enheter. Dessutom är våra beläggningar väl lämpade för tillämpningar i vakuumugnar och provuppvärmning, där högvakuum, reaktiva och syremiljöer förekommer.
På VeTek Semiconductor erbjuder vi en heltäckande lösning med våra avancerade maskinverkstadsmöjligheter. Detta gör det möjligt för oss att tillverka baskomponenterna med grafit, keramik eller eldfasta metaller och applicera SiC- eller TaC-keramiska beläggningar internt. Vi tillhandahåller också beläggningstjänster för kundlevererade delar, vilket säkerställer flexibilitet för att möta olika behov.
Våra kiselkarbidbeläggningsprodukter används ofta i Si-epitaxi, SiC-epitaxi, MOCVD-system, RTP/RTA-process, etsningsprocess, ICP/PSS-etsningsprocess, process av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup UV LED mm, som är anpassad till utrustning från LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI och så vidare.
Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning | |
Egendom | Typiskt värde |
Kristallstruktur | FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad |
Densitet | 3,21 g/cm³ |
Hårdhet | 2500 Vickers hårdhet (500 g belastning) |
kornstorlek | 2~10μm |
Kemisk renhet | 99,99995 % |
Värmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
Böjningsstyrka | 415 MPa RT 4-punkts |
Youngs modul | 430 Gpa 4pt böj, 1300℃ |
Värmeledningsförmåga | 300W·m-1·K-1 |
Termisk expansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare, leverantör och exportör av den SiC-belagda grafitcylindern för EPI. Med stöd av ett professionellt team och ledande teknologi kan VeTek Semiconductor ge dig hög kvalitet till rimliga priser. vi välkomnar dig att besöka vår fabrik för vidare diskussion.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor har många års erfarenhet av produktion av högkvalitativ SiC-belagd grafitdegeldeflektor. Vi har ett eget laboratorium för materialforskning och utveckling, kan stödja dina anpassade konstruktioner med överlägsen kvalitet. vi välkomnar dig att besöka vår fabrik för mer diskussion.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är en professionell tillverkare och leverantör, som är dedikerad till att tillhandahålla högkvalitativ MOCVD Epitaxial Susceptor för 4" Wafer. med rik branscherfarenhet och ett professionellt team kan vi leverera experter och effektiva lösningar till våra kunder.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är en professionell tillverkare och leverantör, dedikerad till att tillhandahålla högkvalitativ GaN Epitaxial Graphite susceptor för G5. vi har etablerat långsiktiga och stabila partnerskap med många välkända företag hemma och utomlands, vilket förtjänar våra kunders förtroende och respekt.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductors Semiconductor susceptorblock SiC-belagd är en mycket pålitlig och hållbar enhet. Den är designad för att tåla höga temperaturer och hårda kemiska miljöer samtidigt som den bibehåller stabil prestanda och lång livslängd. Med sina utmärkta processmöjligheter minskar Semiconductor Susceptor Block SiC Coated frekvensen av utbyte och underhåll, vilket förbättrar produktionseffektiviteten. Vi ser fram emot möjligheten att samarbeta med dig.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är en ledande leverantör av skräddarsydd Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon i Kina, specialiserad på avancerade material i många år. Vår Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon är speciellt designad för SiC epitaxiell utrustning, vilket säkerställer utmärkt prestanda. Tillverkad av ultraren importerad grafit, den erbjuder tillförlitlighet och hållbarhet. Besök vår fabrik i Kina för att utforska vår högkvalitativa Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon i första hand.
Läs merSkicka förfrågan