VeTek Semiconductor specialiserar sig på produktion av ultrarena Silicon Carbide Coating-produkter, dessa beläggningar är designade för att appliceras på renad grafit, keramik och eldfasta metallkomponenter.
Våra beläggningar med hög renhet är främst avsedda för användning inom halvledar- och elektronikindustrin. De fungerar som ett skyddande lager för waferbärare, susceptorer och värmeelement, och skyddar dem från korrosiva och reaktiva miljöer som påträffas i processer som MOCVD och EPI. Dessa processer är integrerade i waferbearbetning och tillverkning av enheter. Dessutom är våra beläggningar väl lämpade för tillämpningar i vakuumugnar och provuppvärmning, där högvakuum, reaktiva och syremiljöer förekommer.
På VeTek Semiconductor erbjuder vi en heltäckande lösning med våra avancerade maskinverkstadsmöjligheter. Detta gör det möjligt för oss att tillverka baskomponenterna med grafit, keramik eller eldfasta metaller och applicera SiC- eller TaC-keramiska beläggningar internt. Vi tillhandahåller också beläggningstjänster för kundlevererade delar, vilket säkerställer flexibilitet för att möta olika behov.
Våra kiselkarbidbeläggningsprodukter används ofta i Si-epitaxi, SiC-epitaxi, MOCVD-system, RTP/RTA-process, etsningsprocess, ICP/PSS-etsningsprocess, process av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup UV LED mm, som är anpassad till utrustning från LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI och så vidare.
Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning | |
Egendom | Typiskt värde |
Kristallstruktur | FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad |
Densitet | 3,21 g/cm³ |
Hårdhet | 2500 Vickers hårdhet (500 g belastning) |
kornstorlek | 2~10μm |
Kemisk renhet | 99,99995 % |
Värmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
Böjningsstyrka | 415 MPa RT 4-punkts |
Youngs modul | 430 Gpa 4pt böj, 1300℃ |
Värmeledningsförmåga | 300W·m-1·K-1 |
Termisk expansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor är en ledande leverantör av skräddarsydd Upper Halfmoon Part SiC belagd i Kina, specialiserad på avancerade material i över 20 år. VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part SiC belagd är speciellt designad för SiC epitaxiell utrustning, som fungerar som en avgörande komponent i reaktionskammaren. Tillverkad av ultraren grafit av halvledarkvalitet säkerställer den utmärkt prestanda. Vi inbjuder dig att besöka vår fabrik i Kina.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är en ledande skräddarsydd Silicon Carbide Epitaxy Wafer Carrier-leverantör i Kina. Vi har varit specialiserade på avancerade material i mer än 20 år. Vi erbjuder en Silicon Carbide Epitaxy Wafer Carrier för att bära SiC-substrat, växande SiC-epitaxskikt i SiC-epitaxialreaktorn. Denna Silicon Carbide Epitaxy Wafer Carrier är en viktig SiC-belagd del av halvmånedelen, hög temperaturbeständighet, oxidationsbeständighet, slitstyrka. Vi välkomnar dig att besöka vår fabrik i Kina.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductors SiC Coated MOCVD Susceptor är en enhet med utmärkt process, hållbarhet och tillförlitlighet. De tål höga temperaturer och kemiska miljöer, bibehåller stabil prestanda och lång livslängd, vilket minskar frekvensen av utbyte och underhåll och förbättrar produktionseffektiviteten. Vår MOCVD Epitaxial Susceptor är känd för sin höga densitet, utmärkta planhet och utmärkta termiska kontroll, vilket gör den till den föredragna utrustningen i tuffa tillverkningsmiljöer. Ser fram emot att samarbeta med dig.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductors SiC Coated ICP Etching Carrier är designad för de mest krävande epitaxiutrustningstillämpningarna. Tillverkad av högkvalitativt ultrarent grafitmaterial, vår SiC Coated ICP Etching Carrier har en mycket plan yta och utmärkt korrosionsbeständighet för att motstå de tuffa förhållandena under hantering. Den höga värmeledningsförmågan hos den SiC-belagda bäraren säkerställer en jämn värmefördelning för utmärkta etsningsresultat. VeTek Semiconductor ser fram emot att bygga ett långsiktigt partnerskap med dig.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductors PSS Etching Carrier Plate for Semiconductor är en högkvalitativ, ultraren grafitbärare designad för waferhanteringsprocesser. Våra bärare har utmärkta prestanda och kan prestera bra i tuffa miljöer, höga temperaturer och tuffa kemiska rengöringsförhållanden. Våra produkter används i stor utsträckning på många europeiska och amerikanska marknader, och vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är en ledande tillverkare av snabb termisk glödgningssusceptor och innovatör i Kina. Vi har varit specialiserade på SiC-beläggningsmaterial i många år. Vi erbjuder snabb termisk glödgningssusceptor med hög kvalitet, hög temperaturbeständighet, supertunn. Vi välkomnar dig att besöka vår fabrik i Kina.
Läs merSkicka förfrågan