SiC-belagd ICP Etsningsbärare

VeTek Semiconductors SiC Coated ICP Etching Carrier är designad för de mest krävande epitaxiutrustningstillämpningarna. Tillverkad av högkvalitativt ultrarent grafitmaterial, vår SiC Coated ICP Etching Carrier har en mycket plan yta och utmärkt korrosionsbeständighet för att motstå de tuffa förhållandena under hantering. Den höga värmeledningsförmågan hos den SiC-belagda bäraren säkerställer en jämn värmefördelning för utmärkta etsningsresultat. VeTek Semiconductor ser fram emot att bygga ett långsiktigt partnerskap med dig.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Med många års erfarenhet av tillverkning av SiC Coated ICP Etching Carrier, kan VeTek Semiconductor leverera ett brett utbud av SiC-belagda eller TaC-belagda reservdelar för halvledarindustrin. Utöver produktlistan nedan kan du också skräddarsy dina egna unika SiC-belagda eller TaC-belagda delar efter dina specifika behov. Välkommen att fråga oss.

VeTek Semiconductors SiC Coated ICP Etching Carrier, även känd som ICP-bärare, PSS-bärare, RTP-bärare eller RTP-bärare, är viktiga komponenter som används i en mängd olika applikationer inom halvledarindustrin. Kiselkarbidbelagd grafit är det primära materialet som används för att tillverka dessa nuvarande bärare. Den har hög värmeledningsförmåga, mer än 10 gånger värmeledningsförmågan hos safirsubstrat. Denna egenskap, i kombination med dess höga elektriska fältstyrka på rullar och maximal strömtäthet, har föranlett utforskningen av kiselkarbid som en potentiell ersättning för kisel i en mängd olika applikationer, särskilt i halvledarkomponenter med hög effekt. SiC-strömbärarplattor har hög värmeledningsförmåga, vilket gör dem idealiska för LED-tillverkningsprocesser. De säkerställer effektiv värmeavledning och ger utmärkt elektrisk ledningsförmåga, vilket bidrar till produktionen av lysdioder med hög effekt. Dessutom har dessa bärarplattor utmärkt plasmaresistens och lång livslängd, vilket säkerställer tillförlitlig prestanda och livslängd i den krävande halvledartillverkningsmiljön.

Produktparameter för SiC Coated ICP Etching Carrier:

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning
Fast egendom	Typiskt värde
Kristallstruktur	FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad
Densitet	3,21 g/cm³
Hårdhet	2500 Vickers hårdhet（500g belastning）
Kornstorlek	2~10μm
Kemisk renhet	99,99995 %
Värmekapacitet	640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Böjhållfasthet	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt böj, 1300℃
Värmeledningsförmåga	300W·m-1·K-1
Termisk expansion (CTE)	4,5×10-6K-1