Kina Silikonkarbidbeläggning Tillverkare, leverantör, fabrik

VeTek Semiconductor specialiserar sig på produktion av ultrarena Silicon Carbide Coating-produkter, dessa beläggningar är designade för att appliceras på renad grafit, keramik och eldfasta metallkomponenter.

Våra beläggningar med hög renhet är främst avsedda för användning inom halvledar- och elektronikindustrin. De fungerar som ett skyddande lager för waferbärare, susceptorer och värmeelement, och skyddar dem från korrosiva och reaktiva miljöer som påträffas i processer som MOCVD och EPI. Dessa processer är integrerade i waferbearbetning och tillverkning av enheter. Dessutom är våra beläggningar väl lämpade för tillämpningar i vakuumugnar och provuppvärmning, där högvakuum, reaktiva och syremiljöer förekommer.

På VeTek Semiconductor erbjuder vi en heltäckande lösning med våra avancerade maskinverkstadsmöjligheter. Detta gör det möjligt för oss att tillverka baskomponenterna med grafit, keramik eller eldfasta metaller och applicera SiC- eller TaC-keramiska beläggningar internt. Vi tillhandahåller också beläggningstjänster för kundlevererade delar, vilket säkerställer flexibilitet för att möta olika behov.

Våra kiselkarbidbeläggningsprodukter används ofta i Si-epitaxi, SiC-epitaxi, MOCVD-system, RTP/RTA-process, etsningsprocess, ICP/PSS-etsningsprocess, process av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup UV LED mm, som är anpassad till utrustning från LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI och så vidare.

Reaktordelar vi kan göra:

Kiselkarbidbeläggning flera unika fördelar:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter:

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning
Egendom	Typiskt värde
Kristallstruktur	FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad
Densitet	3,21 g/cm³
Hårdhet	2500 Vickers hårdhet (500 g belastning)
kornstorlek	2~10μm
Kemisk renhet	99,99995 %
Värmekapacitet	640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Böjningsstyrka	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt böj, 1300℃
Värmeledningsförmåga	300W·m-1·K-1
Termisk expansion (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

Solid SiC gasduschhuvud

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare och innovatör av Solid SiC gasduschhuvud i Kina. Vi har varit specialiserade på halvledarmaterial i många år. VeTek Semiconductor Solid SiC Gas duschhuvuds design med flera porositeter säkerställer att värmen som genereras i CVD-processen kan spridas , vilket säkerställer att underlaget värms upp jämnt. Vi ser fram emot att etablera långsiktigt med dig i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

Kemisk ångavsättningsprocess Solid SiC-kantring

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare och innovatör av solid SiC Edge Ring för kemisk ångavsättningsprocess i Kina. Vi har varit specialiserade på halvledarmaterial i många år. VeTek Semiconductor solid SiC-kantring erbjuder förbättrad etsningslikformighet och exakt positionering av skivan när den används med en elektrostatisk chuck , vilket säkerställer konsekventa och pålitliga etsningsresultat. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

Solid SiC Etsning Fokusring

VeTek Semiconductor är en ledande Solid SiC Etching Focusing Ring-tillverkare och innovatör i Kina. Vi har varit specialiserade på SiC-material i många år. Solid SiC har valts som ett fokuserande ringmaterial på grund av dess utmärkta termokemiska stabilitet, höga mekaniska hållfasthet och motståndskraft mot plasma erosion.Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Läs mer Skicka förfrågan

<...12 13 14 15 16 >

Som en professionell Silikonkarbidbeläggning tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att möta de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerade och hållbara Silikonkarbidbeläggning tillverkade i Kina kan du lämna ett meddelande till oss.