Solid SiC gasduschhuvud

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare och innovatör av Solid SiC gasduschhuvud i Kina. Vi har varit specialiserade på halvledarmaterial i många år. VeTek Semiconductor Solid SiC Gas duschhuvuds design med flera porositeter säkerställer att värmen som genereras i CVD-processen kan spridas , vilket säkerställer att underlaget värms upp jämnt. Vi ser fram emot att etablera långsiktigt med dig i Kina.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Solid SiC gasduschhuvud

VeTek Semiconductor är ett integrerat företag dedikerat till forskning, produktion och försäljning. Med över 20 års erfarenhet är vårt team specialiserat på SiC, TaC-beläggningar och CVD Solid SiC. Välkommen att köpa från oss Solid SiC Gas Duschhuvud.

VeTek Semiconductor Solid SiC gasduschhuvud används vanligtvis för att jämnt fördela prekursorgaser på substratytan under halvledar-CVD-processer. Att använda CVD-SiC-material för duschmunstycken ger flera fördelar. Dess höga värmeledningsförmåga hjälper till att avleda värme som genereras i CVD-processen, vilket säkerställer enhetlig temperaturfördelning på substratet. Dessutom gör Solid SiC-gasduschhuvudets kemiska stabilitet det möjligt att motstå frätande gaser och hårda miljöer som vanligtvis förekommer i CVD-processer. Designen av CVD-SiC duschmunstycken kan skräddarsys för specifika CVD-system och processkrav. Emellertid består de vanligtvis av en platta eller skivformad komponent med en serie precisionsborrade hål eller slitsar. Hålmönstret och geometrin är noggrant utformade för att säkerställa enhetlig gasfördelning och flödeshastighet över substratytan.

Fysiska egenskaper hos fast SiC

Fysikaliska egenskaper hos fast SiC
Densitet	3.21	g/cm3
Elektricitetsresistivitet	102	Ω/cm
Böjhållfasthet	590	MPa	(6000 kgf/cm2)
Youngs modul	450	GPa	(6000 kgf/mm2)
Vickers hårdhet	26	GPa	(2650 kgf/mm2)
C.T.E. (RT-1000℃)	4.0	x10-6/K
Värmeledningsförmåga (RT)	250	W/mK