VeTek Semiconductor specialiserar sig på produktion av ultrarena Silicon Carbide Coating-produkter, dessa beläggningar är designade för att appliceras på renad grafit, keramik och eldfasta metallkomponenter.
Våra beläggningar med hög renhet är främst avsedda för användning inom halvledar- och elektronikindustrin. De fungerar som ett skyddande lager för waferbärare, susceptorer och värmeelement, och skyddar dem från korrosiva och reaktiva miljöer som påträffas i processer som MOCVD och EPI. Dessa processer är integrerade i waferbearbetning och tillverkning av enheter. Dessutom är våra beläggningar väl lämpade för tillämpningar i vakuumugnar och provuppvärmning, där högvakuum, reaktiva och syremiljöer förekommer.
På VeTek Semiconductor erbjuder vi en heltäckande lösning med våra avancerade maskinverkstadsmöjligheter. Detta gör det möjligt för oss att tillverka baskomponenterna med grafit, keramik eller eldfasta metaller och applicera SiC- eller TaC-keramiska beläggningar internt. Vi tillhandahåller också beläggningstjänster för kundlevererade delar, vilket säkerställer flexibilitet för att möta olika behov.
Våra kiselkarbidbeläggningsprodukter används ofta i Si-epitaxi, SiC-epitaxi, MOCVD-system, RTP/RTA-process, etsningsprocess, ICP/PSS-etsningsprocess, process av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup UV LED mm, som är anpassad till utrustning från LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI och så vidare.
Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning | |
Egendom | Typiskt värde |
Kristallstruktur | FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad |
Densitet | 3,21 g/cm³ |
Hårdhet | 2500 Vickers hårdhet (500 g belastning) |
kornstorlek | 2~10μm |
Kemisk renhet | 99,99995 % |
Värmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
Böjningsstyrka | 415 MPa RT 4-punkts |
Youngs modul | 430 Gpa 4pt böj, 1300℃ |
Värmeledningsförmåga | 300W·m-1·K-1 |
Termisk expansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare och leverantör, dedikerad till att tillhandahålla högkvalitativ kiselbaserad GaN Epitaxial Susceptor. Susceptorhalvledaren används i VEECO K465i GaN MOCVD-system, hög renhet, hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, välkommen att fråga och samarbeta med oss!
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är en ledande 8-tums Halfmoon Part för LPE-reaktortillverkare och innovatör i Kina. Vi har varit specialiserade på SiC-beläggningsmaterial i många år. Vi erbjuder en 8-tums Halfmoon Part för LPE-reaktor designad speciellt för LPE SiC-epitaxiereaktor. Denna halvmånedel är en mångsidig och effektiv lösning för halvledartillverkning med sin optimala storlek, kompatibilitet och höga produktivitet. Vi välkomnar dig att besöka vår fabrik i Kina.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är en ledande SiC-belagd pannkakssusceptor för LPE PE3061S 6-tums wafers tillverkare och innovatör i Kina. Vi har varit specialiserade på SiC-beläggningsmaterial i många år. Vi erbjuder en SiC-belagd pannkakssusceptor designad speciellt för LPE PE3061S 6-tums wafers . Denna epitaxiella susceptor har hög korrosionsbeständighet, bra värmeledningsprestanda, god enhetlighet. Vi välkomnar dig att besöka vår fabrik i Kina.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är en ledande SiC-belagd stöd för LPE PE2061S-tillverkare och innovatör i Kina. Vi har varit specialiserade på SiC-beläggningsmaterial i många år. Vi erbjuder ett SiC-belagt stöd för LPE PE2061S designat specifikt för LPE-kiselepitaxiereaktorer. Detta SiC-belagda stöd för LPE PE2061S är botten av trumman. Det tål 1600 grader Celsius hög temperatur, förlänger produktens livslängd för grafitreservdelar. Välkommen att skicka oss en förfrågan.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är en ledande SiC-belagd toppplatta för LPE PE2061S-tillverkare och innovatör i Kina. Vi har varit specialiserade på SiC-beläggningsmaterial i många år. Vi erbjuder en SiC-belagd toppplatta för LPE PE2061S designad speciellt för LPE-kiselepitaxiereaktorer. Denna SiC-belagda toppplatta för LPE PE2061S är toppen tillsammans med cylindersusceptor. Denna CVD SiC-belagda platta har hög renhet, utmärkt termisk stabilitet och enhetlighet, vilket gör den lämplig för odling av högkvalitativa epitaxiella skikt. Vi välkomnar dig att besöka vår fabrik i Kina.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor är en ledande SiC-belagd fatsusceptor för LPE PE2061S-tillverkare och innovatör i Kina. Vi har varit specialiserade på SiC-beläggningsmaterial i många år. Vi erbjuder en SiC-belagd cylindersusceptor designad speciellt för LPE PE2061S 4-tums wafers. Denna susceptor har en hållbar kiselkarbidbeläggning som förbättrar prestanda och hållbarhet under LPE-processen (Liquid Phase Epitaxy). Vi välkomnar dig att besöka vår fabrik i Kina.
Läs merSkicka förfrågan