VeTek Semiconductor specialiserar sig på produktion av ultrarena Silicon Carbide Coating-produkter, dessa beläggningar är designade för att appliceras på renad grafit, keramik och eldfasta metallkomponenter.
Våra beläggningar med hög renhet är främst avsedda för användning inom halvledar- och elektronikindustrin. De fungerar som ett skyddande lager för waferbärare, susceptorer och värmeelement, och skyddar dem från korrosiva och reaktiva miljöer som påträffas i processer som MOCVD och EPI. Dessa processer är integrerade i waferbearbetning och tillverkning av enheter. Dessutom är våra beläggningar väl lämpade för tillämpningar i vakuumugnar och provuppvärmning, där högvakuum, reaktiva och syremiljöer förekommer.
På VeTek Semiconductor erbjuder vi en heltäckande lösning med våra avancerade maskinverkstadsmöjligheter. Detta gör det möjligt för oss att tillverka baskomponenterna med grafit, keramik eller eldfasta metaller och applicera SiC- eller TaC-keramiska beläggningar internt. Vi tillhandahåller också beläggningstjänster för kundlevererade delar, vilket säkerställer flexibilitet för att möta olika behov.
Våra kiselkarbidbeläggningsprodukter används ofta i Si-epitaxi, SiC-epitaxi, MOCVD-system, RTP/RTA-process, etsningsprocess, ICP/PSS-etsningsprocess, process av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup UV LED mm, som är anpassad till utrustning från LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI och så vidare.
Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning | |
Egendom | Typiskt värde |
Kristallstruktur | FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad |
Densitet | 3,21 g/cm³ |
Hårdhet | 2500 Vickers hårdhet (500 g belastning) |
kornstorlek | 2~10μm |
Kemisk renhet | 99,99995 % |
Värmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
Böjningsstyrka | 415 MPa RT 4-punkts |
Youngs modul | 430 Gpa 4pt böj, 1300℃ |
Värmeledningsförmåga | 300W·m-1·K-1 |
Termisk expansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor, en ledande tillverkare av CVD SiC-beläggningar, erbjuder SiC Coating Set Disc i Aixtron MOCVD-reaktorer. Dessa SiC-beläggningsskivor är tillverkade av grafit med hög renhet och har en CVD SiC-beläggning med föroreningar under 5 ppm. Vi välkomnar förfrågningar om denna produkt.
Läs merSkicka förfråganVeTek Semiconductor, en ansedd CVD SiC-beläggningstillverkare, ger dig det banbrytande SiC Coating Collector Center i Aixtron G5 MOCVD-system. Dessa SiC Coating Collector Center är noggrant designade med grafit av hög renhet och har en avancerad CVD SiC-beläggning, som säkerställer hög temperaturstabilitet, korrosionsbeständighet, hög renhet. Ser fram emot att samarbeta med dig!
Läs merSkicka förfråganVälkommen till VeTek Semiconductor, din pålitliga tillverkare av CVD SiC-beläggningar. Vi är stolta över att erbjuda Aixtron SiC Coating Collector Top, som är sakkunnigt konstruerad med högren grafit och har en toppmodern CVD SiC-beläggning med föroreningar under 5 ppm. Tveka inte att kontakta oss med frågor eller funderingar
Läs merSkicka förfråganMed vår expertis inom CVD SiC-beläggningstillverkning, presenterar VeTek Semiconductor stolt Aixtron SiC Coating Collector Bottom. Denna SiC Coating Collector Botten är konstruerad med hög renhetsgrad grafit och är belagd med CVD SiC, vilket säkerställer föroreningar under 5 ppm. Välkommen att kontakta oss för mer information och förfrågningar.
Läs merSkicka förfråganPå VeTek Semiconductor är vi specialiserade på forskning, utveckling och industrialisering av CVD SiC-beläggning och CVD TaC-beläggning. En exemplifierande produkt är SiC Coating Cover Segments Inner, som genomgår omfattande bearbetning för att uppnå en mycket exakt och tätt belagd CVD SiC-yta. Denna beläggning uppvisar exceptionell motståndskraft mot höga temperaturer och ger ett robust korrosionsskydd. Kontakta oss gärna för eventuella förfrågningar.
Läs merSkicka förfråganVetek Semiconductor är dedikerade till utvecklingen och kommersialiseringen av CVD SiC-beläggning och CVD TaC-beläggning. Som en illustration genomgår våra SiC Coating Cover-segment noggrann bearbetning, vilket resulterar i en tät CVD SiC-beläggning med exceptionell precision. Den uppvisar enastående motståndskraft mot höga temperaturer och ger ett robust skydd mot korrosion. Vi välkomnar dina förfrågningar.
Läs merSkicka förfrågan