SiC Coating Collector Top

Välkommen till VeTek Semiconductor, din pålitliga tillverkare av CVD SiC-beläggningar. Vi är stolta över att erbjuda Aixtron SiC Coating Collector Top, som är sakkunnigt konstruerad med högren grafit och har en toppmodern CVD SiC-beläggning med föroreningar under 5 ppm. Tveka inte att kontakta oss med frågor eller funderingar

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Med många års erfarenhet av produktion av TaC-beläggning och SiC-beläggning kan VeTek Semiconductor leverera ett brett utbud av SiC Coating Collector Top, kollektorcenter, kollektorbotten för Aixtron-systemet. Högkvalitativ SiC Coating Collector Top kan möta många applikationer, om du behöver, vänligen få vår online-tjänst om SiC Coating Collector Top. Utöver produktlistan nedan kan du även skräddarsy din egen unika SiC Coating Collector Top efter dina specifika behov.

SiC-beläggningsuppsamlare, SiC-beläggningskollektorcenter och SiC-beläggningskollektorbotten är de tre grundläggande komponenterna som används i halvledartillverkningsprocessen. Låt oss diskutera varje produkt separat:

VeTek Semiconductor SiC Coating Collector Top spelar en avgörande roll i halvledaravsättningsprocessen. Det fungerar som en stödstruktur för det deponerade materialet, vilket hjälper till att upprätthålla enhetlighet och stabilitet under deponering. Det AIDS också vid värmehantering, vilket effektivt leder bort värmen som genereras under processen. Uppsamlarens övre del säkerställer korrekt arrangemang och fördelning av det avsatta materialet, vilket resulterar i högkvalitativ och konsekvent filmtillväxt.

SiC-beläggningen på collector Top, collector center, collector botten förbättrar avsevärt deras prestanda och hållbarhet. SiC (kiselkarbid) beläggning är känd för sin utmärkta värmeledningsförmåga, kemiska tröghet och korrosionsbeständighet. SiC-beläggningen på toppen, mitten och botten av kollektorn ger utmärkta värmehanteringsmöjligheter, vilket säkerställer effektiv värmeavledning och bibehåller optimala processtemperaturer. Den har också utmärkt kemikalieresistens, skyddar komponenter från korrosiva miljöer och förlänger deras livslängd. Egenskaperna hos SiC-beläggningar hjälper till att förbättra stabiliteten i tillverkningsprocesser för halvledare, minska defekter och förbättra filmkvaliteten.

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning:

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning
Fast egendom	Typiskt värde
Kristallstruktur	FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad
Densitet	3,21 g/cm³
Hårdhet	2500 Vickers hårdhet（500g belastning）
Kornstorlek	2~10μm
Kemisk renhet	99,99995 %
Värmekapacitet	640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Böjhållfasthet	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt böj, 1300℃
Värmeledningsförmåga	300W·m-1·K-1
Termisk expansion (CTE)	4,5×10-6K-1