SiC Coating Susceptor

Du kan vara säker på att köpa SiC-beläggningssusceptor från vår fabrik.

Som tillverkare av CVD SiC-beläggning vill VeTek Semiconductor ge dig SiC-beläggningssusceptorer som är gjorda av grafit med hög renhet och SiC-beläggningssusceptor (under 5 ppm). Välkommen att fråga oss.

På Vetek Semiconductor är vi specialiserade på teknisk forskning, utveckling och tillverkning och erbjuder en rad avancerade produkter för industrin. Vår huvudproduktlinje inkluderar CVD SiC-beläggning + högrenhetsgrafit, SiC-beläggningssusceptor, halvledarkvarts, CVD TaC-beläggning + högrenhetsgrafit, styv filt och andra material.

En av våra flaggskeppsprodukter är SiC Coating Susceptor, utvecklad med innovativ teknologi för att möta de stränga kraven för produktion av epitaxial wafer. Epitaxiella wafers måste uppvisa snäv våglängdsfördelning och låga nivåer av ytdefekter, vilket gör vår SiC-beläggningssusceptor till en viktig komponent för att uppnå dessa avgörande parametrar.

Fördelar med vår SiC Coating Susceptor:

Skydd av basmaterial: CVD SiC-beläggningen fungerar som ett skyddande lager under den epitaxiella processen och skyddar effektivt basmaterialet från erosion och skador orsakade av den yttre miljön. Denna skyddsåtgärd förlänger utrustningens livslängd avsevärt.

Utmärkt värmeledningsförmåga: Vår CVD SiC-beläggning har enastående värmeledningsförmåga, som effektivt överför värme från basmaterialet till beläggningsytan. Detta förbättrar värmehanteringseffektiviteten under epitaxi, vilket säkerställer optimala driftstemperaturer för utrustningen.

Förbättrad filmkvalitet: CVD SiC-beläggningen ger en platt och enhetlig yta, vilket skapar en idealisk grund för filmtillväxt. Det minskar defekter som är ett resultat av gallerfel, förbättrar kristalliniteten och kvaliteten på den epitaxiella filmen och förbättrar slutligen dess prestanda och tillförlitlighet.

Välj vår SiC Coating Susceptor för dina behov av epitaxial waferproduktion och dra nytta av förbättrat skydd, överlägsen värmeledningsförmåga och förbättrad filmkvalitet. Lita på VeTek Semiconductors innovativa lösningar för att driva din framgång inom halvledarindustrin.

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning:

Produktionsbutiker:

Översikt över halvledarchipets epitaxiindustrikedja: