Kina Silikonkarbidbeläggning Tillverkare, leverantör, fabrik

VeTek Semiconductor specialiserar sig på produktion av ultrarena Silicon Carbide Coating-produkter, dessa beläggningar är designade för att appliceras på renad grafit, keramik och eldfasta metallkomponenter.

Våra beläggningar med hög renhet är främst avsedda för användning inom halvledar- och elektronikindustrin. De fungerar som ett skyddande lager för waferbärare, susceptorer och värmeelement, och skyddar dem från korrosiva och reaktiva miljöer som påträffas i processer som MOCVD och EPI. Dessa processer är integrerade i waferbearbetning och tillverkning av enheter. Dessutom är våra beläggningar väl lämpade för tillämpningar i vakuumugnar och provuppvärmning, där högvakuum, reaktiva och syremiljöer förekommer.

På VeTek Semiconductor erbjuder vi en heltäckande lösning med våra avancerade maskinverkstadsmöjligheter. Detta gör det möjligt för oss att tillverka baskomponenterna med grafit, keramik eller eldfasta metaller och applicera SiC- eller TaC-keramiska beläggningar internt. Vi tillhandahåller också beläggningstjänster för kundlevererade delar, vilket säkerställer flexibilitet för att möta olika behov.

Våra kiselkarbidbeläggningsprodukter används ofta i Si-epitaxi, SiC-epitaxi, MOCVD-system, RTP/RTA-process, etsningsprocess, ICP/PSS-etsningsprocess, process av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup UV LED mm, som är anpassad till utrustning från LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI och så vidare.

Reaktordelar vi kan göra:

Kiselkarbidbeläggning flera unika fördelar:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter:

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning
Egendom	Typiskt värde
Kristallstruktur	FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad
Densitet	3,21 g/cm³
Hårdhet	2500 Vickers hårdhet (500 g belastning)
kornstorlek	2~10μm
Kemisk renhet	99,99995 %
Värmekapacitet	640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Böjningsstyrka	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt böj, 1300℃
Värmeledningsförmåga	300W·m-1·K-1
Termisk expansion (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

Keramisk beläggning av kiselkarbid

Som en professionell tillverkare och leverantör av kiselkarbidkeramisk beläggning i Kina, används Vetek Semiconductors keramiska kiselkarbidbeläggning i stor utsträckning på nyckelkomponenter i tillverkningsutrustning för halvledartillverkning, särskilt när CVD- och PECVD-processer är inblandade. Välkommen med din förfrågan.

Läs mer Skicka förfrågan

EPI-mottagare

VeTek Semiconductors EPI-susceptor är designad för krävande epitaxiell utrustningstillämpningar. Dess högren kiselkarbid (SiC) belagda grafitstruktur ger utmärkt värmebeständighet, enhetlig termisk enhetlighet för konsekvent epitaxiell skikttjocklek och beständighet, och långvarig kemisk beständighet. Vi ser fram emot att samarbeta med dig.

Läs mer Skicka förfrågan

SiC Coating Wafer Carrier

Som en professionell tillverkare och leverantör av SiC-beläggningswaferbärare i Kina, används Vetek Semiconductors SiC-beläggningswaferbärare huvudsakligen för att förbättra tillväxtens enhetlighet hos epitaxialskiktet, vilket säkerställer deras stabilitet och integritet i hög temperatur och korrosiva miljöer. Ser fram emot din förfrågan.

Läs mer Skicka förfrågan

ALD-mottagare

VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare av ALD Susceptor, CVD SiC-beläggning, CVD TAC COATING grafitbas i Kina. Vetek Semiconductor utvecklade och producerade tillsammans med tillverkare av ALD-system SiC-belagda ALD-planetbaser för att möta de höga kraven i ALD-processen och jämnt fördela luftflödet på substratet. Vi ser fram emot ytterligare samarbete med dig.

Läs mer Skicka förfrågan

CVD SiC-belagt tak

Som en professionell CVD SiC-belagd taktillverkare och leverantör i Kina, har VeTek Semiconductors CVD SiC-belagda tak utmärkta egenskaper såsom hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, hög hårdhet och låg värmeutvidgningskoefficient, vilket gör det till ett idealiskt materialval i halvledartillverkning. Vi ser fram emot ytterligare samarbete med dig.

Läs mer Skicka förfrågan

MOCVD LED Epi Susceptor

VeTek Semiconductor är en professionell tillverkare av MOCVD LED Epi Susceptor, ALD Planetary Susceptor, TaC Coated Graphite Susceptor i Kina. VeTek Semiconductors MOCVD LED Epi Susceptor är designad för krävande epitaxiella utrustningstillämpningar. Dess höga värmeledningsförmåga, kemiska stabilitet och hållbarhet är nyckelfaktorer för att säkerställa en stabil epitaxiell tillväxtprocess och högkvalitativ halvledarfilmproduktion. Vi ser fram emot ytterligare samarbete med dig.

Läs mer Skicka förfrågan

<...4 5 6 7 8...15 >

Som en professionell Silikonkarbidbeläggning tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att möta de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerade och hållbara Silikonkarbidbeläggning tillverkade i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.