EPI-mottagare

VeTek Semiconductors EPI-susceptor är designad för de krävande epitaxiella utrustningstillämpningarna. Dess högren kiselkarbid (SiC) belagda grafitstruktur ger utmärkt värmebeständighet, enhetlig termisk enhetlighet för konsekvent epitaxiell skikttjocklek och beständighet, och långvarig kemisk beständighet. Vi ser fram emot att samarbeta med dig.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

VeTek Semiconductor är en professionell ledande Kina EPI-mottagare, ALD Planetary Receiver, TaC Coated Graphite Receiver-tillverkare.

VeTek Semiconductors EPI-susceptor är en viktig komponent i epitaxiell tillväxt i halvledartillverkningsprocessen. Dess huvudsakliga funktion är att stödja och värma wafern så att ett högkvalitativt epitaxiellt lager kan odlas jämnt på waferns yta.

VeTek Semiconductors EPI-susceptorer är vanligtvis gjorda av högren grafit och belagda med ett lager av kiselkarbid (SiC). Denna design har följande viktiga fördelar:

Hög temperaturstabilitet: EPI-susceptorn kan förbli stabil i en miljö med hög temperatur, vilket säkerställer en enhetlig tillväxt av det epitaxiella lagret.

Korrosionsbeständighet: SiC-beläggningen har utmärkt korrosionsbeständighet och kan motstå erosion av kemiska gaser, vilket förlänger brickans livslängd.

Värmeledningsförmåga: Den höga värmeledningsförmågan hos SiC-material säkerställer enhetlig temperaturfördelning av skivan under uppvärmning, vilket förbättrar kvaliteten på det epitaxiella lagret.

Termisk expansionskoefficient matchning: Den termiska expansionskoefficienten för SiC liknar den för grafit, vilket undviker problemet med beläggningsavfall på grund av termisk expansion och sammandragning.

Grundläggande fysikaliska egenskaper hosEPI-mottagare: